1.一种等离激元增强荧光免疫检测芯片,包括衬底,其特征在于:衬底上制备有周期性纳米坑结构,周期性纳米坑结构中的纳米坑呈矩阵分布,纳米坑呈倒金字塔状,在周期性纳米坑结构上沉积有金属粘附层,在金属粘附层上沉积有金属增强层,在金属增强层上修饰有高分子层。
2.根据权利要求1所述的等离激元增强荧光免疫检测芯片,其特征在于:所述的纳米坑的顶面呈正方形,侧面呈等腰三角形,纳米坑顶面边长为300-1400nm,纳米坑顶面边长与纳米坑深度的比例为1:1.3-1.5,纳米坑结构的周期为500-2000nm。
3.根据权利要求1所述的等离激元增强荧光免疫检测芯片,其特征在于:所述的金属粘附层所选用的金属为铬或钛,其厚度为5-30nm。
4.根据权利要求1所述的等离激元增强荧光免疫检测芯片,其特征在于:所述的金属增强层所选用的金属为金或银,其厚度为200-300nm。
5.根据权利要求1所述的等离激元增强荧光免疫检测芯片,其特征在于:所述的高分子层的厚度为10-100nm。