X射线显微镜扫描样品台的制作方法

文档序号:24093333发布日期:2021-02-26 22:57阅读:43来源:国知局
X射线显微镜扫描样品台的制作方法
x射线显微镜扫描样品台
技术领域
[0001]
本实用新型涉及显微镜装置技术领域,具体涉及一种x射线显微镜扫描样品台。


背景技术:

[0002]
x射线显微镜的原理为,x射线源发出的x射线穿透样品后进入成像系统,通过成像系统处理后即可获得扫描图像。但传统的扫描样品台设置较为单一,结构固定,扫描样品台不能进行调节,当要从不同角度或不同方向对样品进行扫描时,则难以实现。


技术实现要素:

[0003]
为了解决上述技术问题,本实用新型的主要目的在于提供一种x射线显微镜扫描样品台,旨在解决传统的扫描样品台不能进行调节,以不方便用户使用的技术问题。
[0004]
为了实现上述目的,本实用新型提出的一种x射线显微镜扫描样品台,包括:
[0005]
底座;
[0006]
样品支撑机构,包括活动设于所述底座上的样品支撑台、以及与所述样品支撑台连接的支撑台驱动结构,所述支撑台驱动结构用以驱动所述样品支撑台活动、以调节放置于所述样品支撑台上的样品的放置角度;以及,
[0007]
样品放置机构,包括活动设于所述样品支撑台上的样品固持结构,所述样品固持结构用于固持样品。
[0008]
可选地,所述支撑台驱动结构包括突出设于所述底座顶部的至少一个升降支撑组件和至少一个固定支撑架,所述固定支撑架和所述升降支撑组件分别支撑连接于所述样品支撑台的底部周侧。
[0009]
可选地,所述升降支撑组件包括设于所述底座上、且与所述样品支撑台的底部连接的升降驱动气缸。
[0010]
可选地,所述样品放置机构还包括转动设于所述样品支撑台上的样品转动盘,所述样品固持结构设于所述样品转动盘上。
[0011]
可选地,所述样品固持结构包括设于所述样品转动盘上的第一夹持板,活动设于所述样品转动盘上的第二夹持板,以及与所述第二夹持板相连接、用以调节所述第二夹持板的夹板调节组件。
[0012]
可选地,所述样品转动盘上设有自所述第一夹持板向所述样品转动盘的径向延伸设置的滑轨,所述第二夹持板滑动设于所述滑轨上、且具有沿所述滑轨的延伸方向的活动行程。
[0013]
可选地,所述夹板调节组件包括与所述第二夹持板连接的丝杆螺母结构;
[0014]
所述丝杆螺母结构包括设于所述第二夹持板上的从动螺母、与所述从动螺母相配合的驱动丝杆、以及与所述驱动丝杆连接的丝杆驱动电机。
[0015]
可选地,所述第二夹持板的底部凸设有与所述滑轨相配合的滑块结构,所述从动螺母设于所述滑块结构上,所述驱动丝杆与所述从动螺母螺纹连接、且位于所述滑轨内。
[0016]
可选地,所述样品放置机构还包括连接所述第一夹持板和所述第二夹持板设置的样品紧固结构;
[0017]
所述样品紧固结构包括连接所述第一夹持板和所述第二夹持板的连接件,以及连接所述连接件和所述第一夹持板、连接所述连接件和所述第二夹持板的锁紧件。
[0018]
可选地,所述连接件包括连接所述第一夹持板和所述第二夹持板、且位于所述第一夹持板和所述第二夹持板的顶部的连接板,沿所述连接板的长度方向贯设有多个第一连接孔,所述第一夹持板上设有与所述第一连接孔相对应的第二连接孔,所述第二夹持板上设有与所述第一连接孔相对应的第三连接孔;
[0019]
所述锁紧件包括多个紧固螺栓,其中一个所述紧固螺栓穿设于一个所述第一连接孔和一个所述第二连接孔中以连接所述连接板和所述第一夹持板,其中另一个所述紧固螺栓穿设于另一个所述第一连接孔和一个所述第三连接孔中以连接所述连接板和所述第二夹持板。
[0020]
本实用新型提供的技术方案中,通过设置有样品支撑机构,以进行支撑样品放置,且设置有样品放置机构,以将待扫描样品固定于所述样品支撑台上,以便于进行扫描;且所述样品支撑台可在所述支撑台驱动结构的驱动下沿所述底座活动,以调节放置于所述样品支撑台上的样品的放置角度,从而可从不同角度对样品进行扫描,扫描效果更好。
附图说明
[0021]
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0022]
图1为本实用新型提供的一种x射线显微镜扫描样品台的一实施例的结构示意图。
[0023]
附图标号说明:
[0024]
标号名称标号名称100x射线显微镜扫描样品台311滑轨1底座32样品固持结构2样品支撑机构321第一夹持板21样品支撑台322第二夹持板22支撑台驱动结构323夹板调节组件221升降支撑组件3231驱动丝杆222固定支撑架33样品紧固结构3样品放置机构331连接板31样品转动盘332紧固螺栓
[0025]
本实用新型目的的实现、功能特点及优异效果,下面将结合具体实施例以及附图做进一步的说明。
具体实施方式
[0026]
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0027]
需要说明,若本实用新型实施例中有涉及方向性指示,则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
[0028]
另外,若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述,则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,全文中出现的“和/或”的含义,包括三个并列的方案,以“a和/或b”为例,包括a方案、或b方案、或a和b同时满足的方案。另外,各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本实用新型要求的保护范围之内。
[0029]
x射线显微镜的原理为,x射线源发出的x射线穿透样品后进入成像系统,通过成像系统处理后即可获得扫描图像。但传统的扫描样品台设置较为单一,结构固定,扫描样品台不能进行调节,当要从不同角度或不同方向对样品进行扫描时,则难以实现。鉴于此,本实用新型提供一种x射线显微镜扫描样品台,旨在解决传统扫描样品台的缺陷,图1为本实用新型提供的所述x射线显微镜扫描样品台的一实施例。
[0030]
请参阅图1,在本实施例中,所述x射线显微镜扫描样品台100包括底座1、样品支撑机构2以及样品放置机构3;所述底座1可设置为地面、机架或平板等,在本实施例中,所述底座1可设置为平板,以便于整个所述x射线显微镜扫描样品台100移动;所述样品支撑机构2包括活动设于所述底座1上的样品支撑台21、以及与所述样品支撑台21连接的支撑台驱动结构22,所述支撑台驱动结构22用以驱动所述样品支撑台21活动以调节放置于所述样品支撑台21上的样品的放置角度;所述样品放置机构3包括活动设于所述样品支撑台21上的样品固持结构32,所述样品固持结构32用于固持样品。
[0031]
本实用新型提供的技术方案中,通过设置有样品支撑机构2,以进行支撑样品放置,且设置有样品放置机构3,以将待扫描样品固定于所述样品支撑台21上,以便于进行扫描;且所述样品支撑台21可在所述支撑台驱动结构22的驱动下沿所述底座1活动,以调节放置于所述样品支撑台21上的样品的放置角度,从而可从不同角度对样品进行扫描,扫描效果更好。
[0032]
所述支撑台驱动结构22调节所述样品支撑台21的调节方式有多种,在本实施例中,主要用于调节所述样品支撑台21倾斜,以使样品从不同角度进行扫描。在一实施例中,所述支撑台驱动结构22包括突出设于所述底座1顶部的至少一个升降支撑组件221和至少一个固定支撑架222,所述固定支撑架222和所述升降支撑组件221支撑连接于所述样品支撑台21的底部周侧,以使所述样品支撑台21的一端在所述升降支撑组件221的带动下沿所述底座1上下移动,而所述样品支撑台21的另一端固定,从而使所述样品支撑台21呈倾斜设置,以使放置于所述样品支撑台21上的样品的放置角度发生变化。
[0033]
进一步地,所述升降支撑组件221包括设于所述底座1上、且与所述样品支撑台21
的底部连接的升降驱动气缸,当然也可为升降驱动油缸,以通过所述升降驱动气缸或所述升降驱动油缸以驱动所述样品支撑台21移动。具体地,所述升降驱动气缸可设置有两个,以位于所述样品支撑台21的一端;所述固定支撑架222也可设置有两个,以位于所述样品支撑台21的另一端,使得所述样品支撑台21的升降更稳定,避免发生晃动,以影响样品扫描效果。
[0034]
而且为了便于扫描样品的不同侧面,在另一实施例中,所述样品放置机构3还包括转动设于所述样品支撑台21上的样品转动盘31,所述样品固持结构32设于所述样品转动盘31上,当所述样品转动盘31转盘转动时,则可改变样品相对于x射线源的放置角度,以从样品的不同侧进行扫描。所述样品转动盘31可通过人工手动调节转动,当然所述样品转动盘31也可通过转盘驱动电机以带动所述样品转动盘31转动,在通过所述转盘驱动电机带动所述样品转动盘31转动时,可通过控制结构控制所述转盘驱动电机的转动角度,以控制所述样品转动盘31的转动角度,使得所述样品转动盘31的转动量更精准。
[0035]
进一步地,所述样品固持结构32包括第一夹持板321、第二夹持板322及夹板调节组件323;所述第一夹持板321设于所述样品转动盘31上;所述第二夹持板322活动设于所述样品转动盘31上;所述夹板调节组件323与所述第二夹持板322相连接,用以调节所述第二夹持板322;以使所述第二夹持板322具有靠近所述第一夹持板321以夹持样品的夹持位置、以及具有远离所述第一夹持板321的分离位置,所述第二夹持板322可相对于所述第一夹持板321移动,可用于夹持固定不同大小的样品,使得适用范围更广。
[0036]
具体地,所述样品转动盘31上设有自所述第一夹持板321向所述样品转动盘31的径向延伸设置的滑轨311,所述第二夹持板322滑动设于所述滑轨311上、且具有沿所述滑轨311的延伸方向的活动行程,以使所述第二夹持板322可沿所述滑轨311滑动,以调节所述第二夹持板322与所述第一夹持板321之间的距离。
[0037]
更进一步地,上述夹板调节组件323可包括与所述第二夹持板322连接的丝杆螺母结构,以通过所述丝杆螺母来对所述第二夹持板322进行调节,可使得所述第二夹持板322的移动更稳定且更精确;具体地,所述丝杆螺母结构包括设于所述第二夹持板322上的从动螺母、与所述从动螺母相配合的驱动丝杆3231、以及与所述驱动丝杆3231连接的丝杆驱动电机(未在附图中示出),所述丝杆驱动电机驱动所述驱动丝杆3231转动,从而带动所述从动螺母沿所述驱动丝杆3231移动,使得所述第二夹持板322沿所述驱动丝杆3231移动。
[0038]
当然,所述夹板调节组件323的设置方式不限于上述一种,在另一实施例中,所述夹板调节组件323也可设置为伸缩驱动气缸,以直接驱动所述第二夹持板322沿所述滑轨311往复移动。
[0039]
具体地,所述第二夹持板322的底部凸设有与所述滑轨311相配合的滑块结构,所述从动螺母设于所述滑块结构上,所述驱动丝杆3231与所述从动螺母螺纹连接、且位于所述滑轨311内。且在本实施例中,所述滑块结构设置有两个,以布设于所述第二夹持板322的两端,使得所述第二夹持板322的移动更稳定。
[0040]
此外,为了使样品的固定更牢靠,所述样品放置机构3还可包括连接所述第一夹持板321和所述第二夹持板322设置的样品紧固结构33,所述样品紧固结构33包括连接件和多个锁紧件;所述连接件连接所述第一夹持板321和所述第二夹持板322,以锁定所述第一夹持板321和所述第二夹持板322之间的距离;多个所述锁紧件分别连接所述连接件和所述第
一夹持板321、以及连接所述连接件和所述第二夹持板322,所述连接件与多个所述锁紧件配合以将处于所述夹持位置的样品进一步锁紧。
[0041]
具体地,所述连接件包括连接所述第一夹持板321和所述第二夹持板322、且位于所述第一夹持板321和所述第二夹持板322的顶部的连接板331,沿所述连接板331的长度方向贯设有多个第一连接孔,所述第一夹持板321上设有与所述第一连接孔相对应的第二连接孔,所述第二夹持板322上设有与所述第一连接孔相对应的第三连接孔;所述锁紧件包括多个紧固螺栓332,其中一个所述紧固螺栓332穿设于一个所述第一连接孔和一个所述第二连接孔中以连接所述连接板331和所述第一夹持板321,其中另一个所述紧固螺栓332穿设于另一个所述第一连接孔和一个所述第三连接孔中以连接所述连接板331和所述第二夹持板322。当所述第二夹持板322与所述第一夹持板321之间的距离变化时,则通过使所述第二连接孔和所述第三连接孔分别与不同的所述第一连接孔相对应,以通过所述紧固螺栓332连接,以使所述第一夹持板321和所述第二夹持板322的夹持更牢靠。
[0042]
以上所述仅为本实用新型的优选实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
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