一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台的制作方法

1.本发明涉及探针台领域，特别涉及一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，在晶圆加工的过程中，需要使用到高性能高效率的晶圆测试探针台，通过该结构对晶圆进行检测，但是传统的测试探针台在使用的过程中，由于两侧的侧面安装台结构是固定的，不能调节，使用不便，当将晶圆切片放置于中部工作台上进行检测，由于晶圆呈现片形，容易和中部的工作台贴合，导致需要将晶圆取出时，比较麻烦，如果向侧面推动晶圆，容易导致晶圆和工作台发生摩擦划伤。


技术实现要素：

3.本发明的主要目的在于提供一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，可以有效解决背景技术中的问题。
4.为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
5.一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，包括一号安装台，所述一号安装台上设置有横向纵向调节台，所述横向纵向调节台上设置有工作台，所述工作台的后侧位置设置有后部支架，所述后部支架上设置有观察镜筒，所述一号安装台上在位于工作台的两侧位置设置有侧面下部安装管，所述侧面下部安装管内设置有内部活动杆，所述内部活动杆上端位置设置有侧面上部安装柱，所述侧面下部安装管之间设置有下部安装板，所述下部安装板上设置有一号螺杆，所述一号螺杆上活动安装有一号移动体，所述侧面上部安装柱之间设置有上部安装板，所述上部安装板的中部位置设置有二号转动杆，所述上部安装板和下部安装板之间设置有斜向支撑板，所述侧面上部安装柱之间在位于上部安装板的上方位置设置有两个上部滑杆，所述上部滑杆上设置有活动安装有中部活动块，所述中部活动块的上端位置设置有侧面安装台，所述侧面安装台的底面在位于中部活动块的两侧设置有v形滑条，所述工作台的侧面位置设置有侧面收纳槽，所述工作台上在位于侧面收纳槽的侧面位置设置有侧面收纳盒，所述侧面收纳盒内设置有折型托起杆，所述折型托起杆之间设置有上部连接杆，所述折型托起杆之间在位于上部连接杆的下方位置设置有下部连接杆，所述侧面收纳盒内在位于上部连接杆的上方位置设置有偏心杆，所述偏心杆上设置有偏心轮。
6.优选的，所述侧面安装台底面设置的侧面上部安装柱的数量均为两个，所述侧面上部安装柱的上端位置设置有上部滑槽，所述侧面安装台通过v形滑条与侧面上部安装柱的上部滑槽活动安装。
7.优选的，所述二号螺杆位于上部滑杆之间位置，所述二号螺杆上设置有两个侧面转动板，所述侧面转动板位于侧面上部安装柱的内侧位置，所述二号螺杆的外端位置设置有上部调节头。
8.优选的，所述下部安装板上设置有两个一号侧面支撑板，所述一号螺杆上设置有连个一号轴承，所述一号螺杆通过一号侧面支撑板与一号侧面支撑板活动安装，所述一号螺杆的外端位置设置有下部调节头。
9.优选的，所述中部活动块上对应二号螺杆的位置设置有螺孔，所述一号移动体上对应一号螺杆的位置同样设置有螺孔，所述中部活动块上对应上部滑杆的位置设置有设置有通孔。
10.优选的，所述斜向支撑板的上下端位置设置有转动管体，所述斜向支撑板通过转动管体分别于一号转动杆、二号转动杆活动安装。
11.优选的，所述二号转动杆的两端位置设置有二号侧面支撑板，且通过二号侧面支撑板与上部安装板固定安装。
12.优选的，所述折型托起杆的数量为两个，且活动安装在侧面收纳槽内，所述侧面收纳盒两侧对应偏心杆的位置设置有通孔，所述偏心杆活动安装在侧面收纳盒的通过内，所述偏心杆的外端位置设置有侧面调节头。
13.优选的，所述下部连接杆位于侧面收纳盒的下方位置，所述折型托起杆上在位于上部连接杆的下方位置设置有内部弹簧，所述内部弹簧位于侧面收纳盒内。
14.与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：通过设置的一号螺杆等结构，通过一号螺杆的转动，从而使得下部移动体能够活动移动，从而推动斜向支撑板的下端进行移动，使得斜向支撑板的上端推动上部安装板向上移动，从而将侧面安装台上下调节，便于竖向调节侧面安装台的高度；
15.通过设置的二号螺杆等结构，从而使得中部移动块能够水平移动，从而使得侧面安装台22能够被中部移动块带动水平移动，从而便于调节侧面安装台的水平位置；
16.通过设置的折型托起杆等结构，当晶圆片放置于工作台上检测完成后，通过转动偏心轮，使得折型托起杆向上移动，从而将晶圆片的一侧托起，便于工作人员取出晶圆片。
附图说明
17.图1为本发明一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台的整体结构示意图；
18.图2为本发明一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台的侧面下部安装管和侧面上部安装柱的结构示意图；
19.图3为本发明一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台的上部安装板的结构示意图；
20.图4为本发明一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台的侧面安装台的结构示意图；
21.图5为本发明一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台的侧面收纳盒的结构示意图；
22.图6为本发明一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台的折型托起杆的结构示意图。
23.图中：1、一号安装台；2、横向纵向调节台；3、工作台；4、后部支架；5、观察镜筒；6、侧面下部安装管；7、侧面上部安装柱；8、内部活动杆；9、上部滑槽；10、上部滑杆；11、下部安装板；12、一号侧面支撑板；13、一号轴承；14、一号螺杆；15、一号移动体；16、一号转动杆；17、上部安装板；18、二号侧面支撑板；19、二号转动杆；20、斜向支撑板；21、转动管体；22、侧面安装台；23、v形滑条；24、中部活动块；25、二号螺杆；26、侧面转动板；27、上部调节头；28、侧面收纳槽；29、侧面收纳盒；30、折型托起杆；31、上部连接杆；32、下部连接杆；33、内部弹簧；34、偏心杆；35、侧面调节头；36、偏心轮；37、下部调节头。
具体实施方式
24.为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
25.如图1-6所示，一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，包括一号安装台1，一号安装台1上设置有横向纵向调节台2，横向纵向调节台2上设置有工作台3，工作台3的后侧位置设置有后部支架4，后部支架4上设置有观察镜筒5，一号安装台1上在位于工作台3的两侧位置设置有侧面下部安装管6，侧面下部安装管6内设置有内部活动杆8，内部活动杆8上端位置设置有侧面上部安装柱7，侧面下部安装管6之间设置有下部安装板11，下部安装板11上设置有一号螺杆14，一号螺杆14上活动安装有一号移动体15，侧面上部安装柱7之间设置有上部安装板17，上部安装板17的中部位置设置有二号转动杆19，上部安装板17和下部安装板11之间设置有斜向支撑板20，侧面上部安装柱7之间在位于上部安装板17的上方位置设置有两个上部滑杆10，上部滑杆10上设置有活动安装有中部活动块24，中部活动块24的上端位置设置有侧面安装台22，侧面安装台22的底面在位于中部活动块24的两侧设置有v形滑条23，工作台3的侧面位置设置有侧面收纳槽28，工作台3上在位于侧面收纳槽28的侧面位置设置有侧面收纳盒29，侧面收纳盒29内设置有折型托起杆30，折型托起杆30之间设置有上部连接杆31，折型托起杆30之间在位于上部连接杆31的下方位置设置有下部连接杆32，侧面收纳盒29内在位于上部连接杆31的上方位置设置有偏心杆34，偏心杆34上设置有偏心轮36。
26.在本发明中，为了便于前后位置支撑侧面安装台22和通过v形滑条23防止侧面安装台22发生偏转，侧面安装台22底面设置的侧面上部安装柱7的数量均为两个，侧面上部安装柱7的上端位置设置有上部滑槽9，侧面安装台22通过v形滑条23与侧面上部安装柱7的上部滑槽9活动安装。
27.在本发明中，为了便于操作二号螺杆25和防止二号螺杆25脱落，二号螺杆25位于上部滑杆10之间位置，二号螺杆25上设置有两个侧面转动板26，侧面转动板26位于侧面上部安装柱7的内侧位置，二号螺杆25的外端位置设置有上部调节头27。
28.在本发明中，为了便于安装一号螺杆14，下部安装板11上设置有两个一号侧面支撑板12，一号螺杆14上设置有连个一号轴承13，一号螺杆14通过一号侧面支撑板12与一号侧面支撑板12活动安装，一号螺杆14的外端位置设置有下部调节头37。
29.在本发明中，为了便于中部活动块24和一号移动体15能够移动，中部活动块24上对应二号螺杆25的位置设置有螺孔，一号移动体15上对应一号螺杆14的位置同样设置有螺孔，中部活动块24上对应上部滑杆10的位置设置有设置有通孔。
30.在本发明中，为了便于支撑连接上部安装板17和下部安装板11，斜向支撑板20的上下端位置设置有转动管体21，斜向支撑板20通过转动管体21分别于一号转动杆16、二号转动杆19活动安装。
31.在本发明中，为了便于安装二号转动杆19，二号转动杆19的两端位置设置有二号侧面支撑板18，且通过二号侧面支撑板18与上部安装板17固定安装。
32.在本发明中，为了便于收纳折型托起杆30，折型托起杆30的数量为两个，且活动安装在侧面收纳槽28内，侧面收纳盒29两侧对应偏心杆34的位置设置有通孔，偏心杆34活动安装在侧面收纳盒29的通过内，偏心杆34的外端位置设置有侧面调节头35。
33.此外，下部连接杆32位于侧面收纳盒29的下方位置，折型托起杆30上在位于上部连接杆31的下方位置设置有内部弹簧33，内部弹簧33位于侧面收纳盒29内，为了便于将折型托起杆30向上托起。
34.需要说明的是，本发明为一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，当用户需要调节侧面安装台22的高度时，转动下部调节头37，使得下部调节头37进行转动，使得一号螺杆14被下部调节头37带动进行转动，使得一号螺杆14通过一号轴承13在一号侧面支撑板12内进行转动，使得一号移动体15被一号螺杆14影响，能够带动一号移动体15进行移动，当一号移动体15移动时，一号转动杆16被同步带动，随着一号转动杆16的移动，使得斜向支撑板20的下端能够水平移动，当斜向支撑板20的下端向中部位置移动时，斜向支撑板20的上端向上升高，当斜向支撑板20的下端向侧面位置移动时，斜向支撑板20的上端向下移动，从而使得二号转动杆19能够上下移动，从而带动上部安装板17能够上下移动，随着上部安装板17的上下移动，侧面上部安装柱7带动内部活动杆8在侧面下部安装管6内上下移动，从而调节侧面安装台22的高度，当需要将侧面安装台22水平调节位置时，转动上部调节头27，二号螺杆25的上设置有两个侧面转动板26，安装在侧面上部安装柱7的内侧位置，防止二号螺杆25脱离侧面上部安装柱7，当二号螺杆25能够活动转动，使得中部活动块24受到二号螺杆25的影响，使得中部活动块24能够在二号螺杆25上前后移动，侧面安装台22通过v形滑条23在侧面上部安装柱7的上部滑槽9内进行移动，从而便于调节侧面安装台22的水平位置，当用户将晶圆切成片，放置于中部的工作台3上，由于片形的晶圆片和工作台3容易相互贴合，导致检测结束后，取下或者取出比较麻烦，通过设置的折型托起杆30等结构，能够在放置晶圆片时，通过转动侧面调节头35，使得偏心杆34能够转动，随着偏心杆34的转动，使得偏心轮36开始向下转动，从而渐渐向下挤压上部连接杆31，使得上部连接杆31两端的折型托起杆30向下移动，从而渐渐挤压内部弹簧33，使得折型托起杆30的上端向下移动，活动安装在侧面收纳槽28内，此事可以将晶圆片放置工作台3进行检测，由于折型托起杆30位于侧面收纳槽28内，因此晶圆片能够水平放置于工作台3上，当检测结束后，将侧面调节头35反向转动，使得偏心杆34能够反向转动，从而带动偏心轮36反向转动，从而使得偏心轮36反向转动，使得偏心轮36渐渐向上转动，使得内部弹簧33能够随着偏心轮36的转动，渐渐恢复张开，使得推动上部连接杆31向上移动，从而使得折型托起杆30能够从侧面收纳槽28中渐渐升高，从而将晶圆片的一侧掀开，便于工作人员将晶圆片取下，避免推动晶圆片，从而避免晶圆片和工作台3之间发生摩擦划伤，从而使得取下或者取出晶圆片更为方便。
35.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本
发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。