一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡的制作方法

文档序号:31107271发布日期:2022-08-12 20:25阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡,包括基座(1)以及保护罩(3),其特征在于,所述基座(1)的顶部设置有印刷电路板(2),且印刷电路板(2)上设置有卡接组件(4),所述卡接组件(4)包括开设在印刷电路板(2)上的卡接槽(6)以及设置在基座(1)顶部并与卡接槽(6)相配合的支柱(5),所述支柱(5)包括顶板部和直杆部,且顶板部的直径大于直杆部的直径,所述卡接槽(6)的包括直槽部(601)和曲槽部(602),其中,所述直槽部(601)的槽宽与直杆部的直径长度相同,所述曲槽部(602)的槽宽大于顶板部的直径长度,所述基座(1)顶部位于印刷电路板(2)的外部开设有凹槽(9),且凹槽(9)与保护罩(3)相配合。2.根据权利要求1所述的带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡,其特征在于:所述凹槽(9)的内底部连接有第一弹片(11),且第一弹片(11)的顶部设置有下压板(10)。3.根据权利要求2所述的带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡,其特征在于:所述下压板(10)朝向印刷电路板(2)中心的一侧上开设有卡槽(13),所述凹槽(9)内部朝向印刷电路板(2)中心的侧壁上设置有与卡槽(13)相配合的卡头(12)。4.根据权利要求3所述的带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡,其特征在于:所述凹槽(9)的内部设置有保护组件(14),且保护组件(14)包括设置在基座(1)内部的凹陷槽,且凹陷槽的内部滑动设置有移动块(15),所述移动块(15)的另一侧设置有延伸至凹槽(9)内部的固定块(17),所述移动块(15)的另一侧设置有保护块(19),所述固定块(17)上设置有倾斜面。5.根据权利要求1所述的带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡,其特征在于:所述保护罩(3)的内顶端设置有卡接块(8),且卡接块(8)与卡接槽(6)相配合,所述卡接块(8)的材质为弹性橡胶。6.根据权利要求1所述的带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡,其特征在于:所述直槽部(601)的内部设置有凸起(7),且凸起(7)的材质为弹性橡胶。7.根据权利要求1所述的带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡,其特征在于:所述保护罩(3)顶部的中心位置处设置有防尘网(20)。8.根据权利要求4所述的带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡,其特征在于:所述移动块(15)的内侧壁上连接有第二弹片(16),且第二弹片(16)的另一端连接有活动块(18),所述活动块(18)的一侧与保护块(19)连接。

技术总结
本实用新型公开了一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡,属于测试探针卡技术领域,其包括基座以及保护罩,所述基座的顶部设置有印刷电路板,且印刷电路板上设置有卡接组件,所述卡接组件包括开设在印刷电路板上的卡接槽以及设置在基座顶部并与卡接槽相配合的支柱,所述支柱包括顶板部和直杆部,所述顶板部的直径大于直杆部的直径,所述卡接槽的包括直槽部和曲槽部,其中,所述直槽部的槽宽与直杆部的直径长度相同。本实用新型通过支柱与卡接槽之间的配合,能够便于印刷电路板定位在基座上,同时当保护罩与基座固定后,卡接块能够卡到卡接槽的内部,进而对支柱进行限位,使得印刷电路板更稳定,使用更方便。使用更方便。使用更方便。


技术研发人员:余新文 陈洪良 张福生
受保护的技术使用者:苏州速腾电子科技有限公司
技术研发日:2021.12.30
技术公布日:2022/8/11
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