推板及LD芯片定位装置的制作方法

文档序号:31426146发布日期:2022-09-06 20:36阅读:35来源:国知局
推板及LD芯片定位装置的制作方法
推板及ld芯片定位装置
技术领域
1.本实用新型涉及ld芯片测试技术领域,尤其涉及一种推板及ld芯片定位装置。


背景技术:

2.半导体激光器(laser diode,简称ld),是以半导体材料为工作物质的一类激光器,除了具有激光器的一般特点外,还具有体积小、重量轻、驱动功率和电流较低、效率高、工作寿命长、光束质量好、可全固化、可直接电调制等优点。由于这些优点,半导体激光器的应用几乎覆盖了整个光电子学领域,尤其在光纤通信系统的应用极大推动了光通信技术的发展。
3.半导体激光器的制备通常采用共晶贴片工艺,半导体激光器包括ld芯片(即发光芯片)和基板,ld芯片通过共晶技术焊接在基板上。ld芯片大多数采用蓝膜移载(ld芯片粘附在蓝膜上),若要将ld芯片从蓝膜上取下,就需要用到芯片取料装置。芯片取料装置将ld芯片从蓝膜上取下后,会放置在载台上,在相机辅助定位下,载台通过绕z轴旋转、沿x轴移动和沿y轴移动来实现芯片的定位。
4.相关技术中,难以快速地调节载台与ld芯片之间的相对位置,且调节时容易损坏ld芯片的发光条,导致无法满足生产需求。


技术实现要素:

5.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型提出一种推板,有利于实现载台与ld芯片之间的相对位置的快速调节,且不容易损伤ld芯片的发光条。
6.本实用新型还提出一种具有上述推板的ld芯片定位装置。
7.根据本实用新型的第一方面实施例的推板,用于定位具有发光条的ld芯片,所述推板设有定位孔,所述定位孔为通孔,所述定位孔的内表面包括两个相对的第一定位面和两个相对的第二定位面,各所述第一定位面与各所述第二定位面垂直,所述第一定位面形成有避让槽,所述避让槽用于避让所述ld芯片的所述发光条。
8.根据本实用新型实施例的推板,至少具有如下有益效果:ld芯片置于载台上,且位于定位孔中时,第一定位面和第二定位面分别与ld芯片抵持,可快速实现ld芯片在载台上的定位,且第一定位面与ld芯片接触时,由于第一定位面形成有避让槽,从而可有效降低ld芯片的发光条与推板碰撞的概率,ld芯片的发光条不容易损坏。
9.根据本实用新型的一些实施例,所述推板还设有引导孔,所述引导孔为通孔,所述引导孔的一端的孔口与所述定位孔的一端的孔口连通,沿所述引导孔靠近所述定位孔的方向,所述引导孔的内表面的最大宽度逐渐缩小。
10.根据本实用新型的一些实施例,所述引导孔为四棱锥孔。
11.根据本实用新型的第二方面实施例的ld芯片定位装置,包括:
12.底座:
13.上述的推板,所述推板相对所述底座处于设定的初始位置;
14.第一驱动组件,设垂直所述第二定位面的方向为第一方向,所述第一驱动组件用于驱使所述推板沿所述第一方向往复运动,以使所述推板离开所述初始位置后再返回所述初始位置;
15.第二驱动组件,设垂直所述第一定位面的方向为第二方向,所述第二驱动组件用于驱使所述推板沿所述第二方向往复运动,以使所述推板离开所述初始位置后再返回所述初始位置。
16.根据本实用新型实施例的ld芯片定位装置,至少具有如下有益效果:通过第一驱动组件使推板沿第一方向运动,可使第二定位面与ld芯片抵持,进而使ld芯片在第一方向满足处于设定的初始位置的需求,类似的,通过第二驱动组件使推板沿第二方向运动,可使ld芯片在第二方向满足处于设定的初始位置的需求,进而完全实现ld芯片在载台上的定位,定位速度快,且不容易损伤ld芯片的发光条。
17.根据本实用新型的一些实施例,还包括第三驱动组件,设垂直于所述第一方向和所述第二方向的方向为第三方向,所述第三驱动组件用于驱使所述推板沿所述第三方向往复运动。
18.根据本实用新型的一些实施例,所述第一驱动组件包括第一驱动元件、第一凸轮、第一定位件、第一滑动板和第一弹性元件,所述推板安装于所述第一滑动板,所述第一滑动板与所述底座滑动连接,所述第一驱动元件安装于所述第一滑动板,所述第一定位件固定于所述底座,所述第一凸轮的周向轮廓面与所述第一定位件抵持,所述第一驱动元件用于驱使所述第一凸轮旋转,以使所述推板离开所述初始位置,所述第一弹性元件用于驱使所述推板返回所述初始位置。
19.根据本实用新型的一些实施例,所述第二驱动组件包括第二驱动元件、第二凸轮、第二定位件、第二滑动板和第二弹性元件,所述推板安装于所述第二滑动板,所述第二滑动板与所述第一滑动板滑动连接,所述第二驱动元件安装于所述第二滑动板,所述第二定位件固定于所述第一滑动板,所述第二凸轮的周向轮廓面与所述第二定位件抵持,所述第二驱动元件用于驱使所述第二凸轮旋转,以使所述推板离开所述初始位置,所述第二弹性元件用于驱使所述推板返回所述初始位置。
20.根据本实用新型的一些实施例,还包括第一调节组件和第二调节组件,所述第一调节组件用于调节所述推板相对所述底座沿第一方向的初始位置,所述第二调节组件用于调节所述推板相对所述底座沿第二方向的初始位置。
21.根据本实用新型的一些实施例,所述第二调节组件包括第一滑块、第二滑块、锁紧螺钉和第一螺旋测微器,所述第一滑块和所述第二滑块滑动连接,所述第一滑块与所述底座连接,所述第二滑块与所述推板连接,所述第一螺旋测微器包括第一测微螺杆和第一螺母套管,所述第一测微螺杆与所述第一螺母套管螺纹连接,所述第一测微螺杆相对所述第一螺母套管的伸缩方向沿所述第二方向设置,所述第一螺母套管与所述第一滑块固定连接,所述第一测微螺杆与所述第二滑块抵持,所述锁紧螺钉用于固定或松开所述第一滑块和所述第二滑块。
22.根据本实用新型的一些实施例,所述第一调节组件包括固定块、调节块和调节螺钉,所述固定块固定于所述第二滑块,所述推板固定于所述调节块,所述调节块设有第一腰
型孔,所述第一腰型孔的长度方向沿所述第一方向设置,所述调节螺钉穿设在所述第一腰型孔中,且所述调节螺钉与所述固定块螺纹连接。
23.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
24.下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明,其中:
25.图1为本实用新型的实施例的推板的立体图;
26.图2为图1中推板的俯视图;
27.图3为图2中推板沿a-a截面的剖视图;
28.图4为图3中ⅰ区域的局部放大图;
29.图5为本实用新型的实施例的ld芯片定位装置的立体图;
30.图6为图5中ld芯片定位装置的驱动装置的爆炸图;
31.图7为图5中ld芯片定位装置的调节装置的爆炸图;
32.图8为图5中ld芯片定位装置的第一调节组件的仰视图。
33.附图标记:推板100、定位孔110、第一定位面111、第二定位面112、避让槽113、引导孔120、第一内侧面121、第二内侧面122;
34.调节装置200、第一调节组件210、固定块211、调节块212、第一腰型孔213、第二调节组件220、第一滑块221、第二滑块222、锁紧螺钉224、第一螺旋测微器225、第三调节组件230;
35.驱动装置300、第一驱动组件310、第一驱动元件311、第一滑动板312、第一弹性元件313、第一凸轮314、第一滑动组件315、第一定位件316、第二驱动组件320、第二驱动元件321、第二滑动板322、第二弹性元件323、第二凸轮324、第二定位件325、第二滑动组件326、第三驱动组件330、第三驱动元件331、第三定位件332、第三凸轮333、第三弹性元件335、第三滑动板336;
36.底座400。
具体实施方式
37.下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
38.在本实用新型的描述中,需要理解的是,涉及到方位描述,例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
39.在本实用新型的描述中,若干的含义是一个以上,多个的含义是两个以上,大于、小于、超过等理解为不包括本数,以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所
指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
40.本实用新型的描述中,除非另有明确的限定,设置、安装、连接等词语应做广义理解,所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
41.本实用新型的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
42.参照图1至图4,根据本实用新型的第一方面实施例的推板100,用于定位具有发光条的ld芯片。推板100设有定位孔110,定位孔110为通孔,定位孔110的内表面包括两个相对的第一定位面111和两个相对的第二定位面112,各第一定位面111与各第二定位面112垂直。第一定位面111形成有避让槽113,避让槽113用于避让ld芯片的发光条。
43.根据本实用新型实施例的推板100,至少具有如下有益效果:ld芯片置于载台上,且位于定位孔110中时,第一定位面111和第二定位面112分别与ld芯片抵持,可快速实现ld芯片在载台上的定位,且第一定位面111与ld芯片接触时,由于第一定位面111形成有避让槽113,从而可有效降低ld芯片的发光条与推板100碰撞的概率,ld芯片的发光条不容易损坏。
44.此外,定位孔110为通孔,芯片取料装置将ld芯片放至载台时,或者芯片取料装置将载台上的ld芯片取走时,推板100无需避让,芯片取料装置可直接将ld芯片放置在定位孔110中,或者直接将定位孔110中的ld芯片取走,也即通过将定位孔110设置为通孔,有利于芯片取料装置方便地取放ld芯片。
45.需要说明的是,各第一定位面111与各第二定位面112垂直,由于在实际加工中,推板100存在制造误差,因此实际测量中第一定位面111与第二定位面112可能不是标准的垂直状态,例如第一定位面111与第二定位面112之间的夹角可能为88
°
、89
°
、91
°
、92
°
或其它角度。可以理解的是,只要第一定位面111与第二定位面112之间的夹角处于公差范围内,应认为各第一定位面111与各第二定位面112垂直。
46.参照图1至图4,在本实用新型的一些实施例中,推板100还设有引导孔120,引导孔120为通孔,引导孔120的一端(例如下端)的孔口与定位孔110的一端(例如上端)的孔口连通,沿引导孔120靠近定位孔110的方向,引导孔的内表面的最大宽度逐渐缩小。
47.当芯片取料装置将芯片放入至定位孔110中时,或者芯片取料装置将定位孔110中的ld芯片取走时,推板100可有效避让芯片取料装置(例如避让芯片取料装置的吸嘴),减小碰撞概率,由此有利于减少推板100的损伤,延长推板100的使用寿命。
48.参照图1至图4,在本实用新型的进一步实施例中,引导孔120为四棱锥孔。四棱锥孔的四个内侧面可与定位孔110的两个第一定位面111、两个第二定位面112良好衔接,推板100加工方便,有利于降低推板100的加工成本。
49.具体的,四棱锥孔的内表面包括两个相对的第一内侧面121和两个相对的第二内侧面122,第一内侧面121和第二内侧面122相间隔设置。两个第一内侧面121分别与两个第一定位面111相交,两个第二内侧面122分别与两个第二定位面112相交。沿向下的方向,两
个第一内侧面121之间的距离逐渐缩小,两个第二内侧面122之间的距离逐渐缩小。
50.此外,引导孔120还可以是圆锥孔,圆锥孔上大下小,圆锥孔的下端的孔口与定位孔110的上端的孔口衔接。
51.参照图5和图6,根据本实用新型的第二方面实施例的ld芯片定位装置,包括推板100、第一驱动组件310、第二驱动组件320和底座400。推板100相对底座400处于设定的初始位置。设垂直第二定位面112的方向为第一方向(参照图5,例如左右方向),第一驱动组件310用于驱使推板100沿第一方向往复运动,以使推板100离开初始位置后再返回初始位置。设垂直第一定位面111的方向为第二方向(参照图5,例如前后方向),第二驱动组件320用于驱使推板100沿第二方向往复运动,以使推板100离开初始位置后再返回初始位置。
52.根据本实用新型实施例的ld芯片定位装置,至少具有如下有益效果:通过第一驱动组件310使推板100沿第一方向运动,可使第二定位面112与ld芯片抵持,进而使ld芯片在第一方向满足处于设定的初始位置的需求,类似的,通过第二驱动组件320使推板100沿第二方向运动,可使ld芯片在第二方向满足处于设定的初始位置的需求,进而完全实现ld芯片在载台上的定位,定位速度快,且不容易损伤ld芯片的发光条。
53.需要说明的是,推板100的初始位置是指定位孔110在第一方向和第二方向完成ld芯片的定位时的位置。
54.参照图5和图6,在本实用新型的进一步实施例中,ld芯片定位装置还包括第三驱动组件330,设垂直于第一方向和第二方向的方向为第三方向(参照图5,例如上下方向),第三驱动组件330用于驱使推板100沿第三方向往复运动。
55.由此,当ld芯片放置载台上时,推板100处于靠近载台的位置,此时可调整ld芯片在载台上的位置。当ld芯片在载台上的位置调整完成后,第三驱动组件330驱使推板100沿第三方向运动,使推板100远离载台,从而方便调节载台的位置,此时可减小推板100与载台碰撞的概率。当载台再次放置ld芯片时,第三驱动组件330驱使推板100沿第三方向运动,使推板100靠近载台,继而可再次调整ld芯片在载台上的位置。
56.参照图5和图6,在本实用新型的进一步实施例中,第一驱动组件310包括第一驱动元件311、第一滑动板312、第一弹性元件313、第一凸轮314和第一定位件316。推板100安装于第一滑动板312,第一滑动板312与底座400滑动连接,第一驱动元件311安装于第一滑动板312。第一定位件316固定于底座400,第一凸轮314的周向轮廓面与第一定位件316抵持,第一驱动元件311用于驱使第一凸轮314旋转,以使推板100离开初始位置。第一弹性元件313用于驱使推板100返回初始位置。
57.由此,当第一定位件316由第一凸轮314的周向轮廓面的较底点滑向较高点时,第一凸轮314可推动推板100沿第一方向运动,使推板100离开初始位置,从而使一个第二定位面112与ld芯片的一侧抵持;在此过程中,第一弹性元件313储存了弹性势能。当第一定位件316由第一凸轮314的周向轮廓面的较高点滑向较低点时,在第一弹性元件313的作用下,推板100往初始位置运动,另一个第二定位面112会与ld芯片的另一侧抵持,推板100回至初始位置时,实现ld芯片在载台上沿第一方向的定位。
58.具体的,第一定位件316包括第一定位柱,第一定位柱的下端与底座400通过螺纹连接实现固定。
59.具体的,第一驱动组件310还包括第一滑动组件315,第一滑动组件315包括第一滑
轨和第一滑块,第一滑轨和第一滑块滑动连接,第一滑轨通过螺钉固定于底座400的上表面,第一滑块通过螺钉固定于第一滑动板312的下表面,由此实现第一滑动板312与底座400的滑动连接。
60.具体的,第一弹性元件313包括第一弹簧,第一弹簧的两端的挂钩分别挂设在第一滑动板312、底座400上。此外,第一弹性元件313也可包括波纹管。
61.参照图5和图6,在本实用新型的进一步实施例中,第二驱动组件320包括第二驱动元件321、第二滑动板322、第二弹性元件323、第二凸轮324和第二定位件325。推板100安装于第二滑动板322,第二滑动板322与第一滑动板312滑动连接,第二驱动元件321安装于第二滑动板322。第二定位件325固定于第一滑动板312,第二凸轮324的周向轮廓面与第二定位件325抵持,第二驱动元件321用于驱使第二凸轮324旋转,以使推板100离开初始位置。第二弹性元件323用于驱使推板100返回初始位置。
62.由此,当第二定位件325由第二凸轮324的周向轮廓面的较低点滑向较高点时,第二凸轮324可推动推板100沿第二方向运动,使推板100离开初始位置,从而使一个第一定位面111与ld芯片的一侧抵持;在此过程中,第二弹性元件323储存了弹性势能。当第二定位件325由第二凸轮324的周向轮廓面的较高点滑向较底点时,在第二弹性元件323的作用下,推板100往初始位置运动,另一个第一定位面111会与ld芯片的另一侧抵持,推板100回至初始位置时,实现ld芯片在载台上沿第二方向的定位。
63.具体的,第二定位件325包括第二定位柱,第二定位柱的下端与第一滑动板312通过螺纹连接实现固定。
64.具体的,第二驱动组件320还包括第二滑动组件326,第二滑动组件326包括第二滑轨和第二滑块,第二滑轨和第二滑块滑动连接,第二滑轨通过螺钉固定于第一滑动板312的上表面,第二滑块通过螺钉固定于第二滑动板322的下表面,由此实现第二滑动板322与第一滑动板312的滑动连接。
65.具体的,第二弹性元件323包括第二弹簧,第二弹簧的两端的挂钩分别挂设在第二滑动板322、第一滑动板312上。此外,第二弹性元件323也可包括波纹管。
66.类似的,参照图5和图6,在本实用新型的进一步实施例中,第三驱动组件330包括第三驱动元件331、第三定位件332、第三凸轮333、第三弹性元件335和第三滑动板336。推板100安装于第三滑动板336,第三滑动板336与第二滑动板322滑动连接,第三驱动元件331安装于第三滑动板336。第三定位件332固定于第二滑动板322,第三凸轮333的周向轮廓面与第三定位件332抵持,第三驱动元件331用于驱使第三凸轮333旋转,以使推板100离开初始位置。第三弹性元件335用于驱使推板100返回初始位置。
67.由此,当第三定位件332由第三凸轮333的周向轮廓面的较低点滑向较高点时,第三凸轮333可推动推板100沿第三方向运动,使推板100离开初始位置,推板100远离载台,从而避让载台,载台在调整位置过程中不容易碰撞推板100;在此过程中,第三弹性元件335储存了弹性势能。当第三定位件332由第三凸轮333的周向轮廓面的较高点滑向较底点时,在第三弹性元件335的作用下,推板100往初始位置运动,推板100靠近载台,从而为定位载台上的ld芯片作准备。
68.具体的,第三定位件332包括第三定位柱,第三定位柱的下端与第三滑动板336通过螺纹连接实现固定。
69.具体的,第三驱动组件330还包括第三滑动组件334,第三滑动组件334包括第三滑轨和第三滑块,第三滑轨和第三滑块滑动连接,第三滑轨通过螺钉固定于第三滑动板336的上表面,第三滑块通过螺钉固定于第二滑动板322的左侧面,由此实现第二滑动板322与第三滑动板336的滑动连接。
70.具体的,第三弹性元件335包括第三弹簧,第三弹簧的两端的挂钩分别挂设在第二滑动板322、第三滑动板336上。此外,第三弹性元件335也可包括波纹管。
71.参照图7和图8,在本实用新型的一些实施例中,ld芯片定位装置还包括第一调节组件210和第二调节组件220,第一调节组件210用于调节推板100相对底座400沿第一方向的初始位置,第二调节组件220用于调节推板100相对底座400沿第二方向的初始位置。
72.由此,通过第一调节组件210和第二调节组件220,可调节推板100相对底座400的初始位置,从而校正ld芯片在载台上的位置,由此有利于提高ld芯片在载台上的位置精度。
73.参照图7和图8,在本实用新型的一些实施例中,第二调节组件220包括第一滑块221、第二滑块222、锁紧螺钉224和第一螺旋测微器225,第一滑块221和第二滑块222滑动连接,第一滑块221与底座400连接,第二滑块222与推板100连接,第一螺旋测微器225包括第一测微螺杆227和第一螺母套管226,第一测微螺杆227与第一螺母套管226螺纹连接,第一测微螺杆227相对第一螺母套管226的伸缩方向沿第二方向设置,第一螺母套管226与第一滑块221固定连接,第一测微螺杆227与第二滑块222抵持,锁紧螺钉224用于固定或松开第一滑块221和第二滑块222。
74.第一螺旋测微器225的精度可达0.01mm,由此推板100相对底座400沿第二方向的位置的调节精度可达0.01mm,推板100的位置精度更高,ld芯片在载台上的位置精度也更高。
75.具体的,第二调节组件220还包括连接片223,连接片223的右端通过螺钉固定于第一滑块221,连接片223的左端设有第二腰型孔,锁紧螺钉224穿过第二腰型孔后与第二滑块222螺纹连接。
76.当锁紧螺钉224从第二滑块222中旋出时,锁紧螺钉224可沿第二腰型孔滑动,第二滑块222可相对第一滑块221滑动,此时,旋转第一测微螺杆227,即可调节推板100在第二方向的位置。当推板100的位置调节完成后,锁紧螺钉224旋入至第二滑块222中,锁紧螺钉224的头部和第二滑块222夹紧连接片223,第一滑块221和第二滑块222相对固定,完成推板100的位置调节。
77.参照图7和图8,在本实用新型的一些实施例中,第一调节组件210包括固定块211、调节块212和调节螺钉,固定块211固定于第二滑块222,推板100固定于调节块212,调节块212设有第一腰型孔213,第一腰型孔213的长度方向沿第一方向设置,调节螺钉穿设在第一腰型孔213中,且调节螺钉与固定块211螺纹连接。
78.由此,通过松开调节螺钉,即可使调节块212相对固定块211沿第一方向滑动,从而调节推板100的位置。调节螺钉旋紧后,即可使调节块212和固定块211相对固定,完成推板100的位置调节。第一调节组件210的结构简单,推板100沿第一方向的位置调节简单方便。
79.上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明,但是本实用新型不限于上述实施例,在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外,在不冲突的情况下,本实用新型的实施例及实施例中的特
征可以相互组合。
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