陶瓷厚膜应变式压力传感器的制作方法

文档序号:6135645阅读:219来源:国知局
专利名称:陶瓷厚膜应变式压力传感器的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种压力传感器,特别是一种陶瓷厚膜应变式压力传感器。
中国实用新型专利“陶瓷厚膜应变式压力传感器”(专利号ZL95202728.3)公开了一种应变式压力传感器。它包括由弹性平膜片和圆环形周边固支体构成的陶瓷弹性体,以及弹性平膜片上印制的厚膜应变计测量电阻、调零电阻、和连接导带,该陶恣2弹性体上开有环形槽。其不足之处是未设有单独的引压管,仅靠环形槽不足以消除外壳、接头与陶瓷弹体性之间由安装及受热产生应力对传感器的影响,使其在高温情况下的稳定性不够好、精度不够高。
本实用新型的目的是就针对上述不足之处而提供一种既保持其耐高温、耐腐蚀、成本低、适合大批量生产的特点,又使其稳定性和精度大大提高的陶瓷厚膜应变式压力传感器。
本实用新型的技术解决方案是一种陶瓷厚膜应变式压力传感器,包括陶瓷弹性体及其上印制的厚膜电路,其特征是所述的陶瓷弹性体的圆环形周边固支体固定在与其相配合的陶瓷支撑体上。该陶瓷支撑体的下部设有引压管。该引压管的下部设有带连接螺纹的固定座。
本实用新型技术解决方案中所述的陶瓷支撑体、引压管及固定座可以是采用压铸工艺一次成型的整体。
本实用新型由于仍采用陶瓷弹性体及其上印制的厚膜电路,又设有陶瓷支撑体、引压管和固定座,因而,仍保持有耐高温、耐腐蚀、成本低、适合大批量生产的特点。由于在陶瓷支撑体和连接螺纹之间设有引压管,可消除外壳、接头与陶瓷弹生体之间由安装及受热产生应力对传感器精度的影响,使其在高温情况下仍然具有稳定性和精确都极高的特点。
附图
为本实用新型的结构示意图。
以下结合附图对本实用新型作进一步详述如图所示,陶瓷弹性体1包括一个圆形弹性平膜片和其下周边延伸的圆环形周边固支体,该周边固支体的底面设有凸台。陶瓷弹性体1上印制有厚膜电路。陶瓷支撑体3为中空的圆盘形,其直径与陶瓷弹性体1相同,上表面设有与陶瓷弹性体1的凸台对应的凹槽。陶瓷弹性体1和陶瓷支撑体3用玻璃2粘接成整体。引压管4的内径与陶瓷支撑体3的内径相等。引压管4的外径应小于陶瓷弹性体1周边固支体的内径。引压管4的长度应大于其外径。固定座的内径与引压管4的内径相等。固定座的外部设有连接螺纹5,便于固定安装。陶瓷支撑体3、引压管4和固定座是采用压铸工艺一次成型的。
权利要求1.一种陶瓷厚膜应变式压力传感器,包括陶瓷弹性体(1)及其上印制的厚膜电路,其特征是所述的陶瓷弹性体(1)的圆环形周边固支体固定在与其相配合的陶瓷支撑体(3)上;该陶瓷支撑体(3)的下部设有引压管(4);该引压管(4)的下部设有带连接螺纹(5)的固定座。
2.根据权利要求1所述的陶瓷厚膜应变式压力传感器,其特征是所述的陶瓷支撑体(3)、引压管(4)及固定座是采用压铸工艺一次成型的整体。
专利摘要本实用新型属于一种厚膜电阻压力传感器。主要是解决现有厚膜电阻压力传感器在高温状况下稳定性不够好、精度不够高的问题。它的主要特征是包括陶瓷弹性体及其上印制的厚膜电路;该陶瓷弹性体的圆环形周边固支体固定在与其相配合的陶瓷支撑体上;该陶瓷支撑体的下部设有引压管;该引压管的下部设有带连接螺纹的固定座。除仍保持有耐高温、耐腐蚀、成本低、适合大批量生产的特点外,还具有在高温时稳定性和精度都极高的特点。
文档编号G01L1/20GK2309567SQ9724106
公开日1999年3月3日 申请日期1997年7月15日 优先权日1997年7月15日
发明者徐忠民 申请人:襄樊市信城电器有限责任公司
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