对应的误差(固有周期误差)，并将所述固有周期及与所述固有周期对应的误差数据(补正数据)存储于存储机构。
[0166]详细而言，固有周期误差成分抽取部42g从由FFT分析部42f进行的FFT分析结果，抽取与电磁感应式位置检测器(直线式标尺或旋转式标尺)42的误差变动的固有周期对应的误差(固有周期误差)。
[0167]在此，电磁感应式位置检测器(直线式标尺或旋转式标尺)42中的二次侧线圈(标尺线圈或转子线圈)的线圈间距P设定为2_或2度，电磁感应式位置检测器(直线式标尺或旋转式标尺)22中的一次侧线圈(第I及第2滑块线圈或第I及第2定子线圈)的区段尺寸s设定为2/3mm或15/16度，线圈间隔d设定为1.5mm或7.5度。
[0168]因此，如上所述，电磁感应式位置检测器(直线式标尺或旋转式标尺)42的误差变动的固有周期为0.5mm或0.5度、2/3mm或15/16度、Imm或I度、2mm或2度、0.75mm或3.75 度、1.5mm 或 7.5 度等。
[0169]因此，固有周期误差成分抽取部42g从FFT分析结果抽取与误差变动的固有周期0.5mm 或 0.5 度、2/3mm 或 15/16 度、Imm 或 I 度、2mm 或 2 度、0.75mm 或 3.75 度、1.5mm 或
7.5度对应的误差(固有周期误差)。
[0170]虽然在线圈间距P为2mm或2度时，还产生其1/8 (0.25mm或0.25度)等周期的误差，但因1/8以下的周期的误差较小，因此在此忽略不计。
[0171]另外，在此抽取的固有周期误差更具体而言是sin成分的振幅的大小、及cos成分的振幅的大小。
[0172]并且，将固有周期0.5mm或0.5度、2/3_或15/16度、Imm或I度、2mm或2度、0.75mm或3.75度、1.5mm或7.5度、及与该等固有周期对应的误差数据(补正数据)存储于设置在电磁感应式位置检测器42的检测部(在直线式标尺中为滑块或标尺，在旋转式标尺中为定子或转子)42A的ROM42i (存储机构)。
[0173]另外，这些补正数据并不限于存储于检测部42A的ROM42i，还可存储于位置检测控制器42B的ROM42h (存储机构)。然而，如先前所述，使补正数据存储于检测部42A的ROM42i时，由于仅更换检测部42A即可，因此在成本及作业性等方面较为有利。
[0174]如上所述的第I步骤?第6步骤的步骤例如在电磁感应式位置检测器的制造工厂内，在电磁感应式位置检测器42出货前实施。并且，出货检测部42A的ROM42i或位置检测控制器42B的ROM42h中存储有补正数据的电磁感应式位置检测器42。
[0175]其次，实施补正电磁感应式位置检测器42的检测位置X(m)为止的步骤，但由于该步骤与上述实施方式例I中的第7步骤?第9步骤相同，因此在此省略说明。
[0176]另外，本实施方式例2中，也将利用电磁感应式位置检测器42的移动体及位置检测控制器、与用于获取电磁感应式位置检测器42的补正数据的移动体41及移动体控制器43设为不同，但并不限于此，这些还可以相同。
[0177]如上所述，根据本实施方式例2所涉及的电磁感应式位置检测器的检测位置补正方法，由于以具有上述第I步骤?第9步骤(第7步骤?第9步骤与上述实施方式例I相同)作为特征，来补正电磁感应式位置检测器42固有的误差，因此不会因补正而对电磁感应式位置检测器42自身的位置检测精确度造成不良影响，并能够提高电磁感应式位置检测器42自身的位置检测精确度。
[0178]并且，不仅能够补正线圈间距周期的误差，还能够补正其1/N周期的误差、区段尺寸周期的误差、线圈间隔周期的误差、及其1/N周期的误差。
[0179]并且，由于从FFT分析结果抽取与电磁感应式位置检测器42的误差变动的固有周期对应的误差，并将所述固有周期及与所述固有周期对应的误差数据存储于存储机构(ROM42i或ROM42h)，因此与存储全部所获取的检测位置误差与电磁感应式位置检测器的检测位置的数据的情况相比，能够减少存储机构(ROM42i或ROM42h)的存储容量。
[0180]并且，因不必使用主位置检测器，因此能够减少补正作业的工时及成本。
[0181]产业上的可利用性
[0182]本发明涉及电磁感应式位置检测器的检测位置补正方法，与电磁感应式位置检测器的安装状态等无关，应用于提高电磁感应式位置检测器自身的位置检测精确度的情况下较为有用。
[0183]符号说明
[0184]21-移动体，22-电磁感应式位置检测器，22A-检测部，22B-位置检测控制器，22a-位置检测部，22b-误差运算部，22c-开关部，22d-采样数据获取部，22e-FFT分析部，22f-固有周期误差成分抽取部，22g、22h-ROM，221-数据读入部，22j-电源接通判定部，22k-逆FFT分析部，22m-补正表，22η-补正运算部，23-主位置检测器，24-移动体控制器，31-移动体，32-移动体控制器，41-移动体，42-电磁感应式位置检测器，42Α-检测部，42Β-位置检测控制器，42a-位置检测部，42b-误差运算部，42c-移动体位置计算部，42d-开关部，42e-采样数据获取部，42f-FFT分析部，42g-固有周期误差成分抽取部，42h、 421-R0M，43-移动体控制器。
【主权项】
1.一种电磁感应式位置检测器的检测位置补正方法，其特征在于具有: 第I步骤，将检测绝对位置的电磁感应式位置检测器、及具有比该电磁感应式位置检测器高的位置检测精确度的主位置检测器安装于移动体； 第2步骤，通过移动体控制器使所述移动体移动并定位，以使所述电磁感应式位置检测器的检测位置成为O位置； 第3步骤，将所述主位置检测器的检测位置重设为O位置； 第4步骤，通过所述移动体控制器使所述移动体移动，运算所述电磁感应式位置检测器的检测位置与所述主位置检测器的检测位置之差，即检测位置误差，并在每个恒定间隔位置获取该检测位置误差与所述电磁感应式位置检测器的检测位置； 第5步骤，对该获取的所述检测位置误差与所述电磁感应式位置检测器的检测位置数据进行FFT分析；第6步骤，从所述FFT分析结果抽取与所述电磁感应式位置检测器的误差变动的固有周期对应的误差，并将所述固有周期及与所述固有周期对应的误差数据存储于存储机构；第7步骤，从所述存储机构读入所述固有周期及与所述固有周期对应的误差数据； 第8步骤，通过对从所述存储机构中读入的所述固有周期及与所述固有周期对应的误差数据进行逆FFT分析，来求出与所述电磁感应式位置检测器的检测位置对应的误差补正量;及 第9步骤，基于所述误差补正量来补正所述电磁感应式位置检测器的检测位置。2.一种电磁感应式位置检测器的检测位置补正方法，其特征在于具有: 第I步骤，将检测绝对位置的电磁感应式位置检测器，安装于移动体； 第2步骤，通过移动体控制器使所述移动体移动并定位，以使所述电磁感应式位置检测器的检测位置成为O位置； 第3步骤，将移动体位置计算机构中用于位置计算的移动时间重设为O ; 第4步骤，通过所述移动体控制器使所述移动体以恒定速度移动，运算所述电磁感应式位置检测器的检测位置、与所述移动体位置计算机构中通过对所述移动体的所述恒定速度与所述移动体的移动时间进行乘法运算来算出所述移动体的位置之差，即检测位置误差，并在每个恒定间隔位置获取该检测位置误差与所述电磁感应式位置检测器的检测位置； 第5步骤，对该获取的所述检测位置误差与所述电磁感应式位置检测器的检测位置数据进行FFT分析；第6步骤，从所述FFT分析结果抽取与所述电磁感应式位置检测器的误差变动的固有周期对应的误差，并将所述固有周期及与所述固有周期对应的误差数据存储于存储机构；第7步骤，从所述存储机构读入所述固有周期及与所述固有周期对应的误差数据； 第8步骤，通过对从所述存储机构中读入的所述固有周期及与所述固有周期对应的误差数据进行逆FFT分析，来求出与所述电磁感应式位置检测器的检测位置对应的误差补正量;及 第9步骤，基于所述误差补正量来补正所述电磁感应式位置检测器的检测位置。
【专利摘要】本发明实施以下等步骤：第1步骤，将电磁感应式位置检测器(22)与主位置检测器(23)安装于移动体(21)；第2步骤，对移动体进行定位,以使电磁感应式位置检测器的检测位置成为0位置；第3步骤，将主位置检测器的检测位置重设为0位置；第4步骤，使移动体移动，运算电磁感应式位置检测器的检测位置与主位置检测器的检测位置之差，即检测位置误差，并在每个恒定间隔位置获取该检测位置误差与电磁感应式位置检测器的检测位置；第5步骤，对该获取数据进行FFT分析；及第6步骤，从FFT分析结果抽取与误差变动的固有周期对应的误差，并将这些误差存储于存储机构；且对该存储数据进行逆FFT分析，来补正电磁感应式位置检测器的检测位置。
【IPC分类】G01D5/20, G01B7/00, G01D5/244, G01B7/30
【公开号】CN104884904
【申请号】CN201480003645
【发明人】竹内克佳
【申请人】三菱重工业株式会社
【公开日】2015年9月2日
【申请日】2014年1月20日
【公告号】WO2014125873A1