基于多点离焦探测的平板倾斜测量装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及平板倾斜测量装置，更具体地说是一种基于多点离焦探测的平板倾斜测量装置。
【背景技术】
[0002]在大型TFT-1XD玻璃基板与彩色滤光片缺陷检测中，需要采用显微成像来实现对液晶基板的成像检测。检测过程中，显微镜采用高分辨率成像，景深范围小，被测基板的振动、定位高度的变化，使得平板在高度方向上很小的位移就会造成失焦现象。虽然采用了自动聚焦镜头系统，可以实现对被测平板面的聚焦成像，但都是针对平板某个点聚焦的。如果被测平板发生倾斜，就会造成显微成像面部分聚焦，部分失焦的现象，严重影响平板的成像质量。因此需要测量被测平板的倾斜状态，并提供信号给调整机构，实现对被测平板面的倾斜调整。
[0003]目前常用的对于平板倾斜程度的检测是采用反射光探测的方式，一种是采用面阵探测器件，如CCD相机，检测反射光点在像面的位置进而判定倾斜方向，这种方式需要进行图像处理，并对数字信号进行转换后才能提供给调整机构实现倾斜度的调整，存在的问题是信号处理有一时间过程，进而带来调整滞后，也可能因成像的清晰程度致使测量过程不能顺利进行；另一种是采用线阵探测器，如线阵CCD，检测反射光点位置，这种方法虽然速度快，只能探测单方向倾斜，对于X和Y的不同方向上的检测需要两套检测装置才能实现；也有采用反射光斑在多象限探测器上的位置变化来判定倾斜，但是这种方式受到探测器的敏感面积的限制，并因此限制了检测范围。
【发明内容】
[0004]本发明是为避免上述现有技术所存在的不足之处，提供一种基于多点离焦探测的平板倾斜测量装置，以期能够利用检测信号直接进行判断并实现快速调整，同时能够实现多方向的倾斜测量，使检测范围不受探测器的面积的限制，并简化结构。
[0005]本发明实现发明目的采用如下技术方案:
[0006]本发明基于多点离焦探测的平板倾斜测量装置的结构特点是:
[0007]设置检测光路，是以点光源作为照明光源，所述点光源经半透半反镜和物镜照射在被测平板的待测点上，并在所述被测平板的待测点的表面形成反射光；所述反射光经物镜反射至半透半反镜，在所述半透半反镜中按5: 5进行分束，形成光轴互成90°的第一光束和第二光束；所述第二光束经反射镜后通过针孔板中针孔投照在四象限探测器的某一象限的中心位置上；
[0008]设置所述检测光路共有四路，四路检测光路具有相同的结构形式，并且是以四象限探测器的中心呈旋转对称，使四路检测光路形成的四个待测点呈“十”字分布在被测平板上；同样呈“十”分布的四只针孔共处在同一针孔板上，所述呈“十”字分布的四只针孔与四象限探测器中四个象限的中心在位置上一一对应，针孔板与四象限探测器紧贴放置，构成针孔探测单元，使得在所述四象限探测器中分别获得与所述四个待测点位置信息一一对应的检测信号 IXl、Ix2、IyjP Iy2;
[0009]其中，1&和Ix 2是共处在X轴线上的两个输出检测信号；IyJP Iy 2是共处在Y轴线上的两个输出检测信号；
[0010]若IXl# Ix 2则判断为被测平板在X方向存在有倾斜；
[0011]若Iy1* Iy 2则判断为被测平板在Y方向存在有倾斜。
[0012]本发明基于多点离焦探测的平板倾斜测量装置的结构特点也在于:将所述针孔板和四象限探测器置于像面的离焦平面上，则有:
[0013]依据Ix1-1x2的值为正值或为负值判断被测平板在X方向上的倾斜方向；
[0014]依据Iy1-1yj^值为正值或为负值判断被测平板在Y方向上的倾斜方向。
[0015]本发明基于多点离焦探测的平板倾斜测量装置的结构特点也在于:将所述测量装置以过四象限探测器的中轴线为转动中心线进行转动，实现对所述被测平板在不同方位上的倾斜状况的检测。
[0016]与已有技术相比，本发明有益效果体现在:
[0017]1、本发明利用四象限探测器获得检测信号，通过比较输出的电信号，可直接对被测平板提供调整信号，调整过程快速及时；同时采用单个四象限探测器实现了四路光信号同步检测，简化了结构；
[0018]2、本发明将针孔板和四象限探测器构成的针孔探测单元置于聚焦像面的离焦平面上，可以直接检测并判断被测平板的倾斜方向；
[0019]3、本发明将测量装置进行转动，可以实现对被测平板在不同方向上的倾斜测量；
[0020]4、本发明利用针孔板和四象限探测器构成的针孔探测单元进行光强信号的检测，检测范围不受探测器的面积的限制，极大地提高了测量装置的实用程度。
【附图说明】
[0021]图1为本发明中同处在X轴线上的一对检测光路原理示意图；
[0022]图2为本发明整体结构示意图；
[0023]图3为本发明中针孔板上针孔分布示意图；
[0024]图4为本发明中四象限探测器探测原理示意图；
[0025]图中标号:1点光源，2半透半反镜，3物镜，4被测平板，5反射镜，6针孔板，7四象限探测器，
【具体实施方式】
[0026]参见图1，本实施例中设置检测光路为:以点光源I作为照明光源，所述点光源I经半透半反镜2和物镜3照射在被测平板4的待测点上，并在所述被测平板4的待测点的表面形成反射光；所述反射光经物镜3反射至半透半反镜2，在所述半透半反镜2中按5: 5进行分束，形成光轴互成90°的第一光束和第二光束；所述第二光束经反射镜5后通过针孔板6中针孔投照在四象限探测器7的某一象限的中心位置上；
[0027]参见图2、图3和图4，本实施例中基于多点离焦探测的平板倾斜测量装置设置检测光路共有四路，四路检测光路具有相同的结构形式，并且是以四象限探测器7的中心呈旋转对称，使四路检测光路形成的四个待测点呈“十”字分布在被测平板4上；同样呈“十”字分布的四只针孔共处在同一针孔板6上，所述呈“十