物理量传感器、电子设备以及移动体的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种物理量传感器、电子设备以及移动体。
【背景技术】
[0002]例如，在专利文献1中记载了一种物理量传感器，其具有:可动电极，所述可动电极具有具备较大的可动电极部与较小的可动电极部的可动电极部，并且可动电极以该可动电极部可进行杠杆式摆动的方式而被支承在绝缘基板上；被设置为与较大的可动电极部对置、并在与较大的可动电极部之间形成静电电容的固定电极；被设置为与较小的可动电极部对置、并在与较小的可动电极部之间形成静电电容的固定电极。在这种物理量传感器中，当在厚度方向上施加加速度时，可动电极会根据所施加的加速度的大小而进行摆动，并且由于所述静电电容会对应于该摆动而产生变化，因此能够根据该静电电容的变化而对加速度进行检测。
[0003]但是，当与各固定电极连接的配线(与可动电极不同电位的配线)被配置于可动电极部的周围时，由于在该配线与可动电极部之间所产生的静电力，从而施加了加速度时的可动电极部的位移会被阻碍。即，对应于所施加的加速度的可动电极的摆动会被阻碍。因此，会存在物理量检测性能降低的问题。
[0004]专利文献1:日本特开2007-298405号公报
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于，提供一种具有优异的物理量检测性能的物理量传感器、电子设备以及移动体。
[0006]本发明为至少解决上述的课题的一部分而被完成，并能够作为以下的应用例而实现。
[0007]应用例一
[0008]本应用例的物理量传感器的特征在于，具有:可动电极，其具备可动部，所述可动部具有设置于其一方侧的第一可动部、和设置于其另一方侧并在施加了加速度时所产生的转矩与所述第一可动部不同的第二可动部，并且所述可动部以能够绕位于所述第一可动部以及所述第二可动部之间的轴进行摆动的方式而被支承；第一电极，其以与所述第一可动部对置的方式而被配置；第二电极，其以与所述第二可动部对置的方式而被配置；周围配置部，其在对所述可动部进行俯视观察时，以包围所述可动部的周围的至少一部分的方式而被配置，并与所述可动电极等电位。
[0009]以此方式，通过在可动部的周围设置与可动部等电位的周围配置部，从而对可动部的摆动产生影响的不必要的静电力的产生会减少。因此，能够根据所承收的物理量而使可动部进行适宜的摆动(位移)，从而能够发挥优异的物理量检测性能。
[0010]应用例二
[0011]在本应用例的物理量传感器中优选为，所述周围配置部与所述可动电极电连接。
[0012]由此，能够简单地将周围配置部设为与可动电极等电位。
[0013]应用例三
[0014]在本应用例的物理量传感器中优选为，在对所述可动部进行俯视观察时，所述周围配置部呈将所述可动部的全周包围的框状。
[0015]由此，能够进一步减少对可动电极的摆动造成影响的静电力的产生。
[0016]应用例四
[0017]在本应用例的物理量传感器中优选为，在所述周围配置部上设置有对所述可动部朝向与所述摆动不同的方向的位移进行限制的限制部。
[0018]由此，能够减少可动部向非本意方向的位移，从而能够减少物理量传感器的破损。
[0019]应用例五
[0020]在本应用例的物理量传感器中优选为，所述限制部具有从所述周围配置部朝向所述可动部突出的突起部。
[0021]由此，使限制部的结构较简单。此外，使限制部与可动部的接触面积较小。
[0022]应用例六
[0023]在本应用例的物理量传感器中优选为，具有第三电极，所述第三电极在对所述可动部进行俯视观察时以与所述可动部对置且与所述第一电极以及所述第二电极不重叠的方式而被配置，并且与所述可动电极等电位。
[0024]由此，能够进一步减少对可动电极的摆动造成影响的静电力的产生。此外，能够减少阳极接合时(制造时)的粘连。
[0025]应用例七
[0026]在本应用例的物理量传感器中优选为，所述第三电极与所述可动电极电连接。
[0027]由此，能够简单地将第三电极设为与可动电极等电势。
[0028]应用例八
[0029]在本应用例的物理量传感器中优选为，所述第三电极被设置于所述第一电极与所述第二电极之间、所述第一电极的与所述第二电极相反一侧、所述第二电极的与所述第一电极相反一侧。
[0030]由此，能够将第三电极的范围配置较广。
[0031]应用例九
[0032]本应用例的电子设备的特征在于，具有上述任意一个应用例中的物理量传感器。
[0033]由此，会获得可靠性较高的电子设备。
[0034]应用例十
[0035]本应用例的移动体的特征在于，具有上述任意一个应用例中的物理量传感器。
[0036]由此，会获得可靠性较高的移动体。
【附图说明】
[0037]图1为适用于本发明的实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图(上表面图)。
[0038]图2为图1中的A-A线截面图。
[0039]图3为用于对图1所示的物理量传感器的驱动进行说明的概要图。
[0040]图4为表示应用了本发明的电子设备的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。
[0041 ] 图5为表不应用了本发明的电子设备的移动电话机(也包括PHS:PersonalHandy-phone System，个人手持电话系统)的结构的立体图。
[0042]图6为表示应用了本发明的电子设备的数码照相机的结构的立体图。
[0043]图7为概要地表示作为本发明的移动体的一个示例的汽车的立体图。
【具体实施方式】
[0044]以下，根据附图所示的实施方式来对本发明的物理量传感器、电子设备以及移动体进行详细说明。
[0045]图1为本发明优选的实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图(上表面图)。图2为图1中的A-A线剖视图。图3为用于对图1所示的物理量传感器的驱动进行说明的概要图。另外，在下文中，为了便于说明，将图1中的纸面外侧(+Z轴一侧)称为“上”，将纸面内侧(-Z轴一侧)称为“下”。此外，在各图中作为互相正交的三个轴而图示有X轴、Y轴以及Z轴。此外，在下文中，将与X轴平行的方向称为“X轴方向”，将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”，将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。
[0046]图1以及图2所示的物理量传感器1可作为用于对Z轴方向(铅直方向)的加速度进行测定的加速度传感器来使用。此种物理量传感器1具有具备底基板(基板)2以及盖体3的封装件10、和被配置于封装件10内的内部空间S的元件片(可动电极)4、以及框状部(周围配置部)6。
[0047]底基板
[0048]如图1以及图2所示那样，在底基板2上形成有在上表面开口的凹部21。该凹部21作为用于防止元件片4与底基板2的接触的回避部而发挥作用。此外，在凹部21的中央部上设置有从凹部21的底面突出着