一种亚像素单元线宽的测量方法及装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其是涉及一种亚像素单元线宽的测量方法及装置。
【背景技术】
[0002]彩膜基板的像素中，每一个亚像素单元(红色亚像素单元R、绿色亚像素单元G、蓝色亚像素单元B)的线宽(CD)是一项需要重点监控的特性值，传统测量亚像素单元线宽的方法为:扫描彩膜基板上待测亚像素单元区域的图像，根据图像的灰度值变化情况得到待测亚像素单元的边缘位置，然后通过对获得的边缘位置进一步进行计算得到待测亚像素单元的线宽;上述方法中，由于扫描区域内往往存在多个亚像素单元，且每一个亚像素单元的边缘位置处的灰度值变化较相似，因此，在寻找待测亚像素的边缘位置时，很容易出现错误，且一般会将与待测亚像素相邻的其它亚像素单元的边缘位置确定为待测亚像素的边缘位置，所依，根据待测亚像素单元区域内的灰度值变化情况得出的待测亚像素单元的边缘位置往往不正确，进而，导致最终得到的待测亚像素单元的线宽(CD)不正确。
【发明内容】
[0003]本发明提供了一种亚像素单元线宽的测量方法及装置，用以提高亚像素单元线宽测量的准确性。
[0004]为达到上述目的，本发明提供以下技术方案:
[0005]—种亚像素单元线宽的测量方法，包括:
[0006]扫描显示基板的图像，获取所述图像的灰度信息；
[0007]根据所述图像的灰度信息获取待测亚像素单元的边缘位置；
[0008]获取所述待测亚像素单元的边缘位置处的色度值，且根据所述待测亚像素单元的边缘位置处的色度值判断所述待测亚像素单元的边缘位置是否正确；
[0009]若所述待测亚像素单元的边缘位置正确，则根据所述待测亚像素单元的边缘位置得到待测亚像素单元的线宽；
[0010]若所述待测亚像素单元的边缘位置不正确，则根据所述图像的灰度信息重新获取待测亚像素单元的边缘位置，直至对获取的待测亚像素单元的边缘位置的判断结果为正确;其中，重新获取的待测亚像素单元的边缘位置与在此之前获取的待测亚像素单元的边缘位置不相同。
[0011]本发明的彩膜基板的像素单元线宽测量方法中，首先通过显示基板中待测亚像素单元区域内的图像的灰度信息来获得待测亚像素单元的边缘位置，然后通过分析该待测亚像素单元的边缘位置处的色度值以判断该待测亚像素单元的边缘位置是否正确，即判断该边缘位置是否为原测量目标的像素单元的边缘位置；当判断结果为该边缘位置即为原测量目标的像素单元的边缘位置后，再根据该边缘位置计算待测亚像素单元的线宽；如果判断结果为该边缘位置不是原测量目标的像素单元的边缘位置，则需根据上述图像的灰度信息在此次获取的边缘位置的基础上重新确定待测亚像素单元的边缘位置。
[0012]相比于传统根据灰度信息得到待测亚像素单元的边缘位置后直接采用该边缘位置计算待测亚像素单元的线宽的方法，本发明的彩膜基板的像素单元线宽测量方法中增加了对获得的边缘位置进行判断的步骤，并只有在判断结果正确时才利用该边缘位置进行计算待测亚像素单元的线宽，所以，利用本发明的彩膜基板的像素单元线宽测量方法得到的待测亚像素单元的线宽会更加准确。因此，本发明的线宽测量方法可以提高像素单元线宽测量的准确性。
[0013]优选地，根据所述图像的灰度信息重新获取待测亚像素单元的边缘位置，包括:根据所述图像的灰度信息在前一次获取的待测亚像素单元的边缘位置与待测亚像素单元之间的区域重新获取待测亚像素单元的边缘位置。
[0014]优选地，根据所述待测亚像素单元的边缘位置处的色度值判断所述待测亚像素单元的边缘位置是否正确，包括:将所述待测亚像素单元的边缘位置处的色度值与预设范围值进行比较;若所述待测亚像素单元的边缘位置处的色度值处于预设范围值以内，则所述待测亚像素单元的边缘位置正确;若所述待测亚像素单元的边缘位置处的色度值处于预设范围值以外，则所述待测亚像素单元的边缘位置不正确。
[0015]优选地，所述预设范围值包括待测亚像素单元的色度值。
[0016]优选地，所述图像的灰度信息为该图像的灰度值与位置坐标之间的对应关系。
[0017]优选地，根据所述待测亚像素单元的边缘位置得到待测亚像素单元的线宽，包括:计算所述待测亚像素单元相对的两个边缘的边缘位置之间的距离，该距离的长度即为待测亚像素单元的线宽。
[0018]一种亚像素单元线宽的测量装置，包括:图像扫描单元，用于扫描显示基板的图像;信息处理单元，用于:根据所述图像的灰度信息获取待测亚像素单元的边缘位置;获取所述待测亚像素单元的边缘位置处的色度值，且根据所述待测亚像素单元的边缘位置处的色度值判断所述待测亚像素单元的边缘位置是否正确;若所述待测亚像素单元的边缘位置正确，则根据所述待测亚像素单元的边缘位置得到待测亚像素单元的线宽;若所述待测亚像素单元的边缘位置不正确，则根据所述图像的灰度信息重新获取待测亚像素单元的边缘位置，直至对获取的待测亚像素单元的边缘位置的判断结果为正确;其中，重新获取的待测亚像素单元的边缘位置与在此之前获取的待测亚像素单元的边缘位置不相同。
[0019]优选地，所述信息处理单元，用于:若所述待测亚像素单元的边缘位置不正确，根据所述图像的灰度信息在所述待测亚像素单元的边缘位置与待测亚像素单元之间的区域重新获取待测亚像素单元的边缘位置，直至对获取的待测亚像素单元的边缘位置的判断结果为正确。
[0020]优选地，所述信息处理单元，用于:将所述待测亚像素单元的边缘位置处的色度值与预设范围值进行比较;若所述待测亚像素单元的边缘位置处的色度值处于预设范围值以内，则根据所述待测亚像素单元的边缘位置得到待测亚像素单元的线宽;若所述待测亚像素单元的边缘位置处的色度值处于预设范围值以外，则根据所述图像的灰度信息重新获取待测亚像素单元的边缘位置。
[0021 ]优选地，所述预设值包括待测亚像素单元的色度值。
[0022]优选地，所述信息处理单元，用于:根据所述图像的灰度值与位置坐标之间的对应关系获取待测亚像素单元的边缘位置。
[0023]优选地，所述信息处理单元，用于:计算所述待测亚像素单元相对的两个边缘的位置之间的距离，从而得到待测亚像素单元的线宽。
【附图说明】
[0024]图1为本发明实施例提供的一种亚像素单元线宽的测量方法流程图；
[0025]图2为本发明实施例提供的扫描图像的灰度值与位置坐标之间的对应关系示意图；
[0026]图3为本发明实施例提供的一种亚像素单元线宽的测量装置结构示意图。
【具体实施方式】
[0027]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0028]请参考图1、图2和图3。
[0029]如图1所示，本发明实施例提供的一种亚像素单元线宽的测量方法，包括:
[0030]步骤SlOl，扫描显示基板的图像，获取图像的灰度信息；<