在磁阻传感器中磁化的软切换的制作方法_3

文档序号:9908637阅读:来源:国知局
阻传感器230的传感器长度355可以是一致的(例如,可以具有相同长度)。在一些实施方式中,遍及磁阻传感器230(例如,如由图3B、3C和3E所示)传感器长度355可以是不一致的(例如,可以具有不同长度)。此外,磁阻传感器230可以具有沿着第一轴(即,宽度轴)的不一致的传感器宽度360。例如,传感器宽度360可以在条带部分305处较窄,并且可以在延伸部分310处较宽。如进一步示出的,磁阻传感器230可以具有第一传感器末端365和第二传感器末端365,并且传感器末端365可以沿着长度轴定位在磁阻传感器230的相对末端处。
[0030]如图3A中进一步示出的,在一些实施方式中,接触部件240可以整体地定位在条带部分305上(例如,可以仅接触条带部分305,并且不接触延伸部分310)。这样,由于延伸部分310至少部分地或甚至完全地被从电传感器响应电排除,因为在延伸部分310中生成和/或消除磁畴壁对输出信号的影响被减少或消除,所以传感器模块220可以获得更准确的磁阻测量。这可以导致传感器模块220所测量的电响应中更少的不连续性(例如,电阻率的更少不连续变化)。作为另一示例,接触部件240可以整体被定位在延伸部分310上(例如,可以仅接触延伸部分310,并且不接触条带部分305)。作为另一示例,接触部件240可以部分地定位在条带部分305上,并且部分地在延伸部分310上。
[0031]在一些实施方式中,接触部件240的中央和/或边缘可以被定位在离传感器末端365的延伸长度340的长度的至少两倍的位置处。另外或替代地,磁阻传感器230可以包括多个接触部件240。例如,并且如图3A中所示,磁阻传感器230可以包括两个接触部件240。在这种情况下,第一接触部件240可以被定位成与第二条带末端325(或第二传感器末端365)相比更靠近第一条带末端325(或第一传感器末端365)。类似地,第二接触部件240可以被定位成与第一条带末端325(或第一传感器末端365)相比更靠近第二条带末端325(或第二传感器末端365)。
[0032]将图3A中示出的条带部分305、延伸部分310和接触部件240的数目、布置和配置提供为示例。实际上,磁阻传感器230可以包括另外的条带部分305、延伸部分310或接触部分240,更少的条带部分305、延伸部分310或接触部分240,或与图3A中所示出的那些相比,不同地布置的条带部分305、延伸部分310、或接触部件240。例如,虽然图3A将磁阻传感器230示作包括两个延伸部分310,在条带部分305的任一条带末端325处一个,但是在一些实施方式中,磁阻传感器230可以包括单个延伸部分310(例如,在条带部分305的一个条带末端325处)。另外或替代地,接触部件240可以与一个或两个条带边缘330重叠。例如,接触部件240可以包括不被整体地定位在磁阻传感器230上的电连接器(例如,通孔)。
[0033]图3B-3E是根据一些可能实施方式的其它示例性磁阻传感器230的图。如由图3B-3E所示出的,磁阻传感器230可以采用多种形状来形成。
[0034]如由图3B所示出的,磁阻传感器230可以以延伸部分310形成为盘结构,其中延伸部分310在形状上是圆的或圆形(例如,采用圆圈的形状)。在此结构中,延伸部分310的延伸宽度335可以比条带部分305的条带宽度315更宽。此外,延伸部分310可以具有不一致的宽度,其中一些宽度比条带宽度315更宽,并且一些宽度比条带宽度315更窄。通过使用此形状,或其中最大延伸宽度335比条带宽度315稍宽(例如,小于或等于1.5倍宽,小于或等于2倍宽,小于或等于3倍宽等)的另一形状,可以将多个磁阻传感器230—起包装在传感器模块220中,如结合图4A-4C更详细地描述的。换句话说,当最大传感器宽度360较窄时(例如,当最大延伸宽度335较窄时),可以将比当最大传感器宽度360(或最大延伸宽度335)较宽时更多磁阻传感器230放置到特定区域中。
[0035]如由图3C所示,磁阻传感器230可以以延伸部分310形成为椭圆结构,其中延伸部分310在形状上是椭圆的(例如,采用椭圆的形状)。在此结构中,延伸部分310可以具有不一致的宽度。在一些实施方式中,在此结构中的所有延伸宽度335都可以比条带宽度315更宽。不同地成形的延伸部分310(例如,椭圆形状)可以提供不同的益处,例如,较少的电不连续性,较小的电不连续性,在不同磁场方向或强度处的电不连续性等。例如,椭圆结构和/或盘结构可以避免或减少在延伸部分310内的磁畴壁的生成,由此改善传感器性能。
[0036]如由图3D所示,磁阻传感器230可以以延伸部分310形成为轭结构,其中延伸部分310被成形为类似轭。在此结构中,延伸部分310可以包括在延伸部分310的延伸末端345处的另外的延伸部分。另外的延伸部分可以沿着磁阻传感器230的长度轴延伸。在这种情况下,延伸部分310可以具有不同的延伸长度340。不同地成形的延伸部分310(例如,轭形状)可以提供不同的益处,例如,较少的电不连续性,较小的电不连续性,在不同磁场方向或强度处的电不连续性等。
[0037]如由图3E所示,磁阻传感器230可以以延伸部分310形成为箭头结构,其中延伸部分310被成形为类似箭头。在此结构中,延伸部分310可以从长度轴和/或宽度轴以特定角度(例如,30度、45度、在10和170度之间的范围,等)延伸。如由此形状所示,磁阻传感器230可以具有不一致的传感器长度355。
[0038]在一些实施方式中,磁阻传感器230可以包括延伸部分310和条带部分305之间的圆形条带末端325(例如,当延伸部分310在形状上是圆的、圆形、椭圆等时,如图3B和3C中所示)。在一些实施方式中,磁阻传感器230可以具有骨头形状。不同地成形的延伸部分310(例如,箭头形状)可以提供不同的益处,例如,较少的电不连续性,较小的电不连续性,在不同磁场方向或强度处的电不连续性等。
[0039]如上面指示的,图3B-3E示出了用于磁阻传感器230的示例性结构。在一些实施方式中,磁阻传感器230可以具有与所示的那些不同的形状(例如,圆角矩形形状、凹形、凸形等)。在一些实施方式中,磁阻传感器230可以包括在条带部分305的任一条带末端325处的相同形状。在一些实施方式中,磁阻传感器230可以包括在条带部分305的任一条带末端325处的不同形状。换句话说,第一延伸部分310(例如,定位在第一条带末端325处)和第二延伸部分310(例如,定位在第二条带末端325处)可以是对称的(例如,可以具有相同形状和/或尺寸)或不对称的(例如,可以具有不同形状和/或尺寸)。此外,条带部分305和延伸部分310的长度和宽度作为示例示出。实际上,条带部分305和/或延伸部分310可以具有与示出的相比不同的长度和/或宽度。另外或替代地,在特定传感器模块220内的不同磁阻传感器230可以具有不同形状。
[0040]图3F-3H是根据一些可能实施方式的其它示例性磁阻传感器230的图。如由图3F-3H所示,磁阻传感器230可以以多种形状形成,并且接触部件240可以被放置在磁阻传感器230上的不同位置处。[0041 ] 如由图3F所示,在一些实施方式中,延伸部分310可以具有不一致的延伸长度340。如进一步示出的,条带末端325可以与传感器末端365不相同。另外或替代地,在一些实施方式中,接触部件240可以整体地定位在条带部分305内。如由图3G所示,在一些实施方式中,接触部件240可以整体地定位在延伸部分310内。如由图3!1所示,在一些实施方式中,接触部件240可以部分地定位在条带部分305内且部分地定位在延伸部分310内。
[0042]如上面指示的,图3F-3H示出了用于磁阻传感器230的示例性结构。在一些实施方式中,磁阻传感器230可以具有与所示的那些不同的形状。另外或替代地,接触部件240可以被定位在与所示出的相比不同的位置处。另外或替代地,磁阻传感器230可以仅包括单个延伸部分310,而不是图3F-3H中所示的两个延伸部分310。
[0043]图4A-4C是根据一些可能实施方式的示例性传感器模块220的图。如由图4A-4C所示,传感器模块220可以包括多个磁阻传感器230。包括在传感器模块220中的一个或多个磁阻传感器230可以包括条带部分305和(多个)延伸部分310。另外或替代地,磁阻传感器230可以被定位在衬底材料上。
[0044]如由图4A所示,在一些实施方式中,磁阻传感器230可以被衬底材料分开。如由图4B所示,不同地成形的磁阻传感器230(例如,不同地成形的延伸部分310)可以允许更多或更少数量的磁阻传感器装配在特定尺寸的传感器模块220内。例如,使用梁状结构(由图4A所示),四个磁阻传感器230可以装配在特定尺寸的传感器模块220内,而使用盘状结构(由图4B示出),五个磁阻传感器230可以装配在相同的特定尺寸的传感器模块220内。通过允许更
当前第3页1 2 3 4 5 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1