一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及氧化铟锡膜测试装置，尤其是一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置。
【背景技术】
[0002] 目前，现有的氧化铟锡薄膜层的脆弱和柔韧性缺乏，使氧化铟锡薄膜方块电阻、电 阻率的测试较为复杂。氧化铟锡是一种铟（III族）氧化物（In 2O3)和锡（IV族）氧化物 (SnO2)的混合物，通常质量比为90%In203:10% Sn02&97%In203:3% SnO2;氧化铟锡在 薄膜状时，无色透明，随薄膜厚度加深，颜色反射色发生变化，由淡灰蓝色一亮灰色一黄色 -紫红色一绿色一红色，透射颜色呈显茶色，随之薄膜层加厚，透射颜色呈现茶色越重；氧 化铟锡在块状态时，它呈黄偏灰黑色；在薄膜状态时，膜层脆弱，碰触硬物碰扎，会形成ITO 膜层空洞。
[0003] 由于氧化铟锡薄膜脆弱和柔韧性缺乏的特性，现有四探针分尖头探针和圆头探 针，圆头探针间距过宽、间距微弱变化，测试薄膜时出现数值测量重复性差，前者尖头探针 对膜层存在破坏性，导致薄膜层形成ITO空洞，制约了高端产品测量电阻的制程；尖头探针 或通常采用平台，外靠人为受力加压测试，或采用支架支撑，加测试平台，前者存在人为性 受力差别不均匀，测试数据跳动，测试数据重复性差，后者虽把前者系列弊端予以掩盖，由 于测试支架活动范围受限，需延续固定轨道测试，测试范围、测试频率受制约，对于氧化铟 锡薄膜连续生产企业，无法满足制程连续性。
[0004] 具体的表现有：读取数值的测量准确性及测量重复性不一；主要部件测试的探针 处，磨损、弯曲、变形情况较多，一般有时200-300小时就会失效、损坏，增加维修维护成本， 耗费大量时间与能源。测试中对表面薄膜层损伤破坏率不小，降低了成品率，以及产品质 量；现有的测试装置与ITO膜层接触，压力保持的一致性差，导致工作人员测量要求高，操 作缓慢、繁琐复杂，需依靠测量架支撑，测试频率及工作效率低；形成氧化铟锡膜测试技术 发展中的瓶颈，是本领域长期以来难以解决的技术问题，不能满足用户和市场的需求。
[0005] 鉴于上述原因，现有的氧化铟锡膜测试装置需要创新。 【实用新型内容】
[0006] 本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供了一种氧化铟锡膜手持式 探头测试装置，提高测量节拍3倍以上，降低磨损、弯曲、变形情况，减少维修和维护成本； 装置及其方法简单合理，使用方便快捷，确保读取数值的测量准确性及测量重复性，大大提 高工作效率和成品率；有效延长使用寿命，达到2000小时以上，节能环保。
[0007] 本实用新型为了实现上述目的，采用如下的技术方案：
[0008] -种氧化铟锡膜手持式探头测试装置，是由：电阻测试仪装置1，手持式探头测试 装置外壳2,自重配重块3,上滑竿4,外壳内挡板5,测试内芯装置6,底座支撑防滑装置7， 圆滑探针针头8,下滑竿装置9,导线10,测试探针套管11，S型悬臂式弹簧12构成；氧化铟 锡膜上方设置底座支撑防滑装置7,底座支撑防滑装置7上方设置手持式探头测试装置外 壳2 ;底座支撑防滑装置7与手持式探头测试装置外壳2之间的中部预留孔，孔中设置下滑 竿装置9 ;
[0009] 下滑竿装置9内设置至少四根测试探针套管11，测试探针套管11内设置S型悬臂 式弹簧12 ;S型悬臂式弹簧12的上端设置导线10,下端设置圆滑探针针头8,圆滑探针针头 8设置于测试探针套管11内的下部；导线10的另一端通过手持式探头测试装置外壳2设 置于电阻测试仪装置1的一侧。
[0010] 手持式探头测试装置外壳2内的上部设置外壳内挡板5,外壳内挡板5中部预留 孔，孔中设置上滑竿4 ;上滑竿4的上端设置自重配重块3,下端设置测试内芯装置6 ;下滑 竿装置9设置于测试内芯装置6下部，测试内芯装置6内设置导线10。
[0011] 手持式探头测试装置外壳2设置为圆筒形、或正多边柱形，与自重配重块3、上滑 竿4、外壳内挡板5、测试内芯装置6、下滑竿装置9五者同轴心线设置；自重配重块3设置 为圆形、正多边形的金属、或铁块。
[0012] 下滑竿装置9内设置的四根测试探针套管11均布为一排、或者矩形；测试探针套 管11下端对应设置圆滑探针针头8。
[0013] 圆滑探针针头8采用球形镀金，直径Φ设置为0. 7mm，相邻的圆滑探针针头8之间 的距离S设置为0. 5mm±0. 01mm。
[0014] 底座支撑防滑装置7以手持式探头测试装置外壳2的轴心线为中心，对称设置至 少三个。
[0015] 本实用新型的工作原理是：采用四探针探头自重原理，测量节拍快，测量精度提 高，改善探针形态，避免人为性测量对氧化铟锡薄膜层破损，能够与市面现有测试电阻仪器 相连接匹配；该装置耐用性好，机身其加工精度不高，结构紧凑探针间距精确，导向精度高， 针尖上下滑动灵活，无卡阻和拖尾现象，保证同一平面上的针尖在同一水平线上，探针型号 普通，便于维修维护。
[0016] 本实用新型包括四探针探头自重测量，四探针与氧化铟锡膜层接触点受力平均， 受力压力减少。测试探头装置垂直放于测试样本上，结合柔软圆滑探针针头、底座支持防滑 装置，利用探头自身重量对探针进行施加压力，致使四探针与氧化铟锡膜层紧密接触，结构 紧凑合理，探针间距精确，导向精度高，针尖上下滑动灵活，无卡阻和拖尾现象，保证同一平 面上的针尖在同一水平线上，配合探针柔软防滑的特性，加以底座支撑防滑装置，得以稳定 精密接触测量氧化铟锡薄膜，传导至电阻测试仪。
[0017] 本实用新型用于对薄膜方块电阻、电阻率的测试。测试探头装置垂直放于测试样 本上，结合圆滑探针针头、底座支持防滑装置，利用探头自身重量对探针进行施加压力，致 使四探针与氧化铟锡膜层紧密接触，结构紧凑，探针间距精确，导向精度高，针尖上下滑动 灵活，无卡阻和拖尾现象，保证同一平面上的针尖在同一水平线上，加以底座支撑防滑装 置，得以稳定精密接触测量氧化铟锡薄膜，传导至电阻测试仪。