一种变极距型电容传感器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种变极距型电容传感器，属于传感器技术领域。
【背景技术】
[0002]根据不同非电学量的特点设计成的有关转换装置称为传感器，而被测的力学量(如位移、力、速度等)转换成电容变化的传感器称为电容传感器。现有电容传感器由于结构原因常受温度影响，从而导致测量的精度不高。
【实用新型内容】
[0003]目的:为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种变极距型电容传感器。
[0004]技术方案:为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为:
[0005]一种变极距型电容传感器，包括不锈钢基座、玻璃层、硅油、导压孔、测量膜片、弓丨线、金属薄膜，所述不锈钢基座内设置有玻璃层，所述玻璃层内表面磨制有球形凹面，所述球形凹面内设置有金属薄膜，所述导压孔从不锈钢基座两侧导通至玻璃层球形凹面，所述测量膜片设置在球形凹面中间位置，所述引线分别与测量膜片、测量两侧的球形凹面金属薄膜相连接；所述球形凹面内填充有硅油。
[0006]所述不锈钢基座外侧设置有环状波纹沟槽。
[0007]还包括隔离膜片，所述隔离膜片设置在不锈钢基座两侧。
[0008]作为优选方案，所述金属薄膜采用蒸镀金属。
[0009]作为优选方案，所述测量膜片采用金属平板。
[0010]作为优选方案，所述测量膜片将球形凹面分隔为左右对称的两室。
[0011]有益效果:本实用新型提供的一种变极距型电容传感器，通过玻璃层内磨制成的球型凹面，减小了介电常数受温度影响的不稳定性；本设计检测灵敏度高、线性好、结构简单、坚实、抗振性能好，有过压保护功能。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。
[0014]如图1所示，一种变极距型电容传感器，包括不锈钢基座1、玻璃层2、硅油、导压孔
3、测量膜片4、引线5、金属薄膜6，所述不锈钢基座I内设置有玻璃层2，所述玻璃层2内表面磨制有球形凹面，所述球形凹面内填充有硅油，所述球形凹面内设置有金属薄膜6，所述导压孔3从不锈钢基座I两侧导通至玻璃层2球形凹面，所述测量膜片4设置在球形凹面中间位置，所述引线5分别与测量膜片4、测量两侧的球形凹面金属薄膜6相连接。
[0015]所述不锈钢基座I外侧设置有环状波纹沟槽。
[0016]还包括隔离膜片7，所述隔离膜片7设置在不锈钢基座I两侧。
[0017]作为优选方案，所述金属薄膜6采用蒸镀金属。
[0018]作为优选方案，所述测量膜片4采用金属平板。
[0019]作为优选方案，所述测量膜片4将球形凹面分隔为左右对称的两室。
[0020]具体使用方式如下:在测量膜片的左右两室充满硅油，当左右隔离膜片分别承受低压PL和高压PH时，硅油的不可压缩性和流动性将差压传递到测量膜片两侧。当差压不为零时，测量膜片产生挠曲变形，动极板与高压侧定极板之间的距离增加，而与低压侧定极板之间的距离减小。
[0021]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出:对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种变极距型电容传感器，包括不锈钢基座、玻璃层、硅油，其特征在于:还包括导压孔、测量膜片、引线、金属薄膜，所述不锈钢基座内设置有玻璃层，所述玻璃层内表面磨制有球形凹面，所述球形凹面内设置有金属薄膜，所述导压孔从不锈钢基座两侧导通至玻璃层球形凹面，所述测量膜片设置在球形凹面中间位置，所述引线分别与测量膜片、测量两侧的球形凹面金属薄膜相连接；所述球形凹面内填充有硅油。
2.根据权利要求1所述的一种变极距型电容传感器，其特征在于:所述不锈钢基座外侧设置有环状波纹沟槽。
3.根据权利要求1所述的一种变极距型电容传感器，其特征在于:还包括隔离膜片，所述隔离膜片设置在不锈钢基座两侧。
4.根据权利要求1所述的一种变极距型电容传感器，其特征在于:所述金属薄膜采用蒸镀金属。
5.根据权利要求1所述的一种变极距型电容传感器，其特征在于:所述测量膜片采用金属平板。
6.根据权利要求1所述的一种变极距型电容传感器，其特征在于:所述测量膜片将球形凹面分隔为左右对称的两室。
【专利摘要】本实用新型公开了一种变极距型电容传感器，包括不锈钢基座、玻璃层、硅油、导压孔、测量膜片、引线、金属薄膜，所述不锈钢基座内设置有玻璃层，所述玻璃层内表面磨制有球形凹面，所述球形凹面内设置有金属薄膜，所述导压孔从不锈钢基座两侧导通至玻璃层球形凹面，所述测量膜片设置在球形凹面中间位置，所述引线分别与测量膜片、测量两侧的球形凹面金属薄膜相连接；所述球形凹面内填充有硅油。本实用新型提供的一种变极距型电容传感器，检测灵敏度高、线性好、结构简单、坚实、抗振性能好，有过压保护功能。
【IPC分类】G01D5-241
【公开号】CN204555995
【申请号】CN201520263718
【发明人】刘文生
【申请人】刘文生
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年4月28日