具有平板式偏振分光器的会聚光检测透镜面形用检测装置的制造方法_2

文档序号:9046866阅读:来源:国知局
置在聚 光镜5与激光扩束镜6之间,或所述起偏器4设置在所述激光扩束镜6与激光光源2之间; 所述聚光镜5采用聚光标准镜,所述激光扩束镜6采用型号为K30B632. 8的激光扩束镜6, 并不局限于此。
[0026] 在本实施例中,所述分光器1的倾斜角度为45度。
[0027] 在本实施例中,所述光学样板8的曲率中屯、与聚光镜5的后焦点重合。
[002引在本实施例中,所述聚光镜5、激光扩束镜6、起偏器4W及激光光源2的轴线位于 同一直线上。
[0029] 在本实施例中,所述检偏器7与接收屏3的轴线位于同一轴线上。
[0030] 在本实施例中,所述分光器1与待测镜片9之间设置的1/4波片10与所述待测镜 片9的轴线位于同一轴线上,所述分光器1与光学样板8之间设置的1/4波片10与所述光 学样板8的轴线位于同一轴线上。
[0031] 在本实施例中,所述光学样板8上设置有压电陶瓷移相器,驱动光学样板8产生几 分之一波长量级的光程变化,使干设场产生变化的干设图样,通过对干设图样的处理,自动 消除干设场中的固定噪声。
[0032] 在本实施例中,所述光学样板8、激光光源2分别设置在所述分光器1的上下两侧, 所述待测镜片9、接收屏3分别设置在所述分光器1的左右两侧,从激光光源2出射的光束 入射到激光扩束镜6,激光扩束镜6将光束直径扩大,并调整为平行光,聚光镜5将整形后 的光束会聚在光学样板8的曲率中屯、;经过聚光镜5的光束进入起偏器4成为线偏振光,之 后于分光器1夹45度入射,在分光器1的胶合面化分成一束透射光束一束反射光束,透射 光束沿激光扩束镜6的光轴射出经过1/4波片10,射向光学样板基准面81,经反射后沿原 光路返回,再次经过1/4波片10,接着经过胶合面化反射W垂直于激光扩束镜6的光轴方 向,从左方射出,经过检偏器7射向接收屏3,形成参考波前;反射光束W垂直于激光扩束镜 6的光轴方向,从右方射出,经过1/4波片10,射向待测镜片基准面91,经反射后沿原光路返 回,再次经过1/4波片10,透射过分光器1的胶合面化,经过检偏器7射向接收屏3,形成测 试波前;参考波前与测试波前汇合后形成干设,沿待测镜片9的光轴方向前后调节待测镜 片9,在接收屏3处可W观察到干设条纹。
[0033] 在本实施例中,本实用新型的检测步骤如下:
[0034] (1)旋转起偏器4的光轴方向,使分光器1反射和透射的两束光光强相同;调节光 学样板8,使光学样板8的光轴与透射光束的中屯、轴线重合,且光学样板8的曲率中屯、与聚 光镜5的后焦点重合;调节待测镜片9,使光学样板8的光轴与反射光束的中屯、轴线重合; 分别旋转光学样板8和待测镜片9前的1/4波片10的快轴方向,使反射回接收屏3的两束 光的光强最大;旋转检偏器7光轴方向,使两束光的光强相同。
[0035] (2)在光束的中屯、轴线方向前后移动待测镜片9,观察干设条纹,当干设条纹数目 最少时,采集干设图样。
[0036] (3)将观测到的干设条纹的图像特征及用球径仪等仪器精确测量的光学样板8的 基准面的曲率半径经过分析计算,就可W得到待测透镜的待测面的半径偏差、象散偏差、局 部偏差等。
[0037] (4)可W实现对待测透镜的待测面的曲率半径的计算。
[003引在本实施例中;
[0039] 平行光的检测半径RP与待测镜片9离棱镜的距离b的关系式,如下:
[0040]
[004U 会聚光的检测半径RH与待测镜片9离棱镜的距离b的关系式,如下:
[0042]
[0043] 其中a是棱镜的尺寸,r是待测镜片9的曲率半径,K9玻璃la折射率为1. 5,比较 如图6中的函数曲线,可证明采用会聚光束比平行光束检测口径更大。
[0044] W上所述仅为本实用新型的较佳实施例,凡依本实用新型申请专利范围所做的均 等变化与修饰,皆应属本实用新型的涵盖范围。
【主权项】
1. 一种具有平板式偏振分光器的会聚光检测透镜面形用检测装置,其特征在于:包括 倾斜设置的分光器,所述分光器由两块完全相同的呈平板状的玻璃胶合而成,且其中一块 玻璃的胶合面镀有偏振分光介质膜,所述分光器周侧设置有激光光源以及接收屏,所述分 光器与激光光源之间设置有起偏器、聚光镜、激光扩束镜,所述接收屏的内侧或者外侧设置 有检偏器,光学样板、待测镜片也放置在所述分光器的周侧,其中所述激光光源的出射光束 与接收屏的轴线相互垂直且交点与所述分光器的中心点重合,所述待测镜片的光轴与光学 样板的光轴相互垂直且交点偏离所述分光器的中心点,所述光学样板的光轴、待测镜片的 光轴、激光光源的出射光束以及接收屏的轴线分别与所述分光器的镜面所夹锐角均为45 度,所述分光器与待测镜片之间以及所述分光器与光学样板之间均设置有1/4波片。2. 根据权利要求1所述的具有平板式偏振分光器的会聚光检测透镜面形用检测装置, 其特征在于:所述分光器与激光光源之间从内到外依次设置有聚光镜、激光扩束镜,所述起 偏器设置在所述分光器与聚光镜之间,或所述起偏器设置在聚光镜与激光扩束镜之间,或 所述起偏器设置在所述激光扩束镜与激光光源之间。3. 根据权利要求2所述的具有平板式偏振分光器的会聚光检测透镜面形用检测装置, 其特征在于:所述分光器的倾斜角度为45度。4. 根据权利要求3所述的具有平板式偏振分光器的会聚光检测透镜面形用检测装置, 其特征在于:所述光学样板的曲率中心与聚光镜的后焦点重合。5. 根据权利要求4所述的具有平板式偏振分光器的会聚光检测透镜面形用检测装置, 其特征在于:所述聚光镜、激光扩束镜、起偏器以及激光光源的轴线位于同一直线上。6. 根据权利要求5所述的具有平板式偏振分光器的会聚光检测透镜面形用检测装置, 其特征在于:所述检偏器与接收屏的轴线位于同一直线上。7. 根据权利要求6所述的具有平板式偏振分光器的会聚光检测透镜面形用检测装置, 其特征在于:所述分光器与待测镜片之间设置的1/4波片与所述待测镜片同轴,所述分光 器与光学样板之间设置的1/4波片与所述光学样板的轴线位于同一直线上。8. 根据权利要求7所述的具有平板式偏振分光器的会聚光检测透镜面形用检测装置, 其特征在于:所述光学样板上设置有压电陶瓷移相器。
【专利摘要】本实用新型涉及一种具有平板式偏振分光器的会聚光检测透镜面形用检测装置,包括倾斜设置的分光器,所述分光器由两块完全相同的呈平板状的玻璃胶合而成,其中一块玻璃的胶合面镀有偏振分光介质膜,所述分光器周侧设置有激光光源及接收屏,所述分光器与激光光源之间设置有起偏器、聚光镜、激光扩束镜,所述接收屏的内侧或者外侧设置有检偏器,光学样板、待测镜片放置在所述分光器的周侧,其中所述激光光源的出射光束与接收屏的轴线相互垂直,所述待测镜片的光轴与光学样板的光轴相互垂直,所述分光器与待测镜片之间及所述分光器与光学样板之间均设置有1/4波片。本实用新型结构设计合理,大大提高镜片检测的精度和效率。
【IPC分类】G01B11/24
【公开号】CN204705325
【申请号】CN201520458274
【发明人】王敏, 黄德炜, 王芬, 林峰
【申请人】福建师范大学
【公开日】2015年10月14日
【申请日】2015年6月30日
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