光阻过滤性能评估设备的制造方法

文档序号:10790787阅读:168来源:国知局
光阻过滤性能评估设备的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种光阻过滤性能评估设备,包括气源、气管、气压控制和称量系统、样品筒组件、过滤膜、及接液杯,其使用方法为:将一定量的光阻材料填充至样品筒组件中,通过气源对其施加压力使光阻材料从样品筒组件中滤出,施压完毕后,读取滤出液的重量,用滤出量评估光阻材料的过滤性能,从而能够在光阻材料评估阶段筛选评估光阻材料性能,在量产阶段对光阻材料进行来料检测,把关来料品质,减少因光阻导致的制造损失。
【专利说明】
光阻过滤性能评估设备
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及显示技术领域,尤其涉及一种光阻过滤性能评估设备。
【背景技术】
[0002]随着显示技术的发展,液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点,而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品,成为显示装置中的主流。
[0003]现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示器,其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子,两片玻璃基板中间有许多垂直和水平的细小电线,通过通电与否来控制液晶分子改变方向,将背光模组的光线折射出来产生画面。
[0004]通常液晶显示面板由彩膜(CF,Color Filter)基板、薄膜晶体管(TFT,Thin FilmTransistor)基板、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC,Liquid Crystal)及密封胶框(Sealant)组成,其成型工艺一般包括:前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中,前段Array制程主要是形成TFT基板,以便于控制液晶分子的运动冲段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶;后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合,进而驱动液晶分子转动,显示图像。
[0005]在CF基板的制造过程中,彩色滤光片(RGB)、间隙物(PS)、黑色矩阵(BM)等结构均采用光阻材料制备得到,这些结构的制备过程通常为:将光阻材料在基板上进行涂布、曝光、显影、烘烤得到设计所需的图案,在光阻涂布过程中光阻材料的特性如黏度、颗粒物含量等会直接影响到涂布的效果。并且,在光阻材料投入生产之前,一般需要对光阻材料进行过滤处理,如果光阻材料的过滤性能较差,那么在过滤过程中极有可能会堵塞光阻过滤膜,造成生广的损失和浪费。
[0006]目前而言,暂未有专业的设备可对光阻的过滤性能进行评估,因此发明一种光阻过滤性能评估设备,在光阻材料评估阶段筛选优质光阻材料,在量产阶段对光阻材料进行来料检测,把关来料品质,显得非常必要。
【实用新型内容】
[0007]本实用新型的目的在于提供一种光阻过滤性能评估设备,在光阻材料评估阶段筛选评估光阻材料性能,在量产阶段对光阻材料进行来料检测,把关来料品质,减少因光阻导致的制造损失。
[0008]为实现上述目的,本实用新型提供一种光阻过滤性能评估设备,包括气源、通过第一气管与所述气源相连的气压控制和称量系统、通过第二气管与所述气压控制和称量系统相连的样品筒组件、及置于所述气压控制和称量系统上的接液杯;
[0009]所述气源用于向样品筒组件提供过滤气压;
[0010]所述样品筒组件用于装填和过滤光阻材料;
[0011]所述接液杯用于接收光阻材料从样品筒组件中过滤后流出的滤出液;
[0012]所述气压控制和称量系统用于控制过滤气压,并称量光阻材料从样品筒组件中过滤后流出的滤出液的重量。
[0013]所述样品筒组件包括由上至下依次连接的进气螺母、样品筒螺母、样品筒和样品筒出口螺母,所述样品筒组件还包括设于所述样品筒出口螺母内的过滤膜;
[0014]所述进气螺母的上端连接从气压控制和称量系统来的第二气管,所述进气螺母的下端连接样品筒螺母。
[0015]所述进气螺母内壁上设有内螺纹;
[0016]所述样品筒螺母包括第一螺母本体及与所述第一螺母本体上端相连的第一凸起部,所述第一凸起部的尺寸小于所述第一螺母本体的尺寸,所述第一螺母本体内设有第一通孔,所述第一凸起部内设有第二通孔,所述第一通孔与第二通孔相连通,所述第一螺母本体的内壁上设有内螺纹,所述第一凸起部的外壁上设有外螺纹;
[0017]所述进气螺母与所述样品筒螺母的第一凸起部之间通过内、外螺纹的配合实现螺纹连接;
[0018]所述样品筒包括筒体及与所述筒体下端相连的第二凸起部,所述第二凸起部的尺寸小于所述筒体的尺寸,所述筒体内设有一中空腔室,所述第二凸起部内设有第三通孔,所述中空腔室与第三通孔相连通,所述筒体上端的外壁上设有外螺纹,所述第二凸起部的外壁上设有外螺纹;
[0019]所述样品筒螺母的第一螺母本体与所述样品筒的筒体之间通过内、外螺纹的配合实现螺纹连接;
[0020]所述样品筒出口螺母包括第二螺母本体及与所述第二螺母本体下端相连的第三凸起部,所述第三凸起部的尺寸小于所述第二螺母本体的尺寸,所述第二螺母本体内设有第四通孔,所述第三凸起部内设有第五通孔,该第四通孔与第五通孔相连通,所述第二螺母本体的内壁上设有内螺纹;
[0021]所述样品筒的第二凸起部与所述样品筒出口螺母的第二螺母本体之间通过内、夕卜螺纹的配合实现螺纹连接。
[0022]所述样品筒组件还包括安装于所述样品筒螺母上的泄压阀。
[0023]所述进气螺母与样品筒螺母之间、所述样品筒螺母与样品筒之间、以及所述样品筒与样品筒出口螺母之间均设有密封圈。
[0024]所述气压控制和称量系统包括电源开关、键盘按键、总压力表、实际压力表、液晶显示屏、及天平称盘;
[0025]所述电源开关用于控制气压控制和称量系统的电源开启与关闭;
[0026]所述键盘按键用于输入过滤气压的大小和施加过滤气压的时间、恒压或程序化控制过滤气压、及启动测试;
[0027]所述总压力表用于显示所述气源至所述气压控制和称量系统之间的总气压;
[0028]所述实际压力表用于显示经所述气压控制和称量系统控制后实际施加到样品筒组件中的过滤气压;
[0029]所述液晶显示屏用于显示过滤气压参数及滤出液的重量;
[0030]所述天平称盘用于放置接液杯和称量滤出液的重量。
[0031]所述气源为氮气瓶;所述第一气管与第二气管的材料为不锈钢。
[0032]还包括一箱体,所述气压控制和称量系统位于所述箱体的底部,所述气源与第一气管均设于所述箱体外,所述第二气管、样品筒组件、及接液杯均设于所述箱体内。
[0033]所述箱体具有箱门。
[0034]还包括一固定卡具,所述固定卡具设于所述箱体内,用于固定所述样品筒组件。
[0035]本实用新型的有益效果:本实用新型提供的一种光阻过滤性能评估设备,包括气源、气管、气压控制和称量系统、样品筒组件、过滤膜、接液杯等组件,其使用方法为:将一定量的光阻材料填充至样品筒组件中,通过气源对其施加压力使光阻材料从样品筒组件中滤出,施压完毕后,读取滤出液的重量,用滤出量评估光阻材料的过滤性能,从而能够在光阻材料评估阶段筛选评估光阻材料性能,在量产阶段对光阻材料进行来料检测,把关来料品质,减少因光阻导致的制造损失。
[0036]为了能更进一步了解本实用新型的特征以及技术内容,请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图,然而附图仅提供参考与说明用,并非用来对本实用新型加以限制。
【附图说明】
[0037]下面结合附图,通过对本实用新型的【具体实施方式】详细描述,将使本实用新型的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0038]附图中,
[0039]图1为本实用新型的光阻过滤性能评估设备的结构示意图;
[0040]图2为本实用新型的光阻过滤性能评估设备的样品筒组件的结构示意图;
[0041]图3为本实用新型的光阻过滤性能评估设备的样品筒组件的分解示意图
[0042]图4为本实用新型的光阻过滤性能评估设备的样品筒组件中的样品筒出口螺母的俯视不意图;
[0043]图5为本实用新型的光阻过滤性能评估设备的气压控制和称量系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0044]为更进一步阐述本实用新型所采取的技术手段及其效果,以下结合本实用新型的优选实施例及其附图进行详细描述。
[0045]请参阅图1,本实用新型提供一种光阻过滤性能评估设备,包括气源10、通过第一气管21与所述气源10相连的气压控制和称量系统30、通过第二气管22与所述气压控制和称量系统30相连的样品筒组件40、及置于所述气压控制和称量系统30上的接液杯50。
[0046]所述气源10用于向样品筒组件40提供过滤气压;
[0047]所述样品筒组件40用于装填和过滤光阻材料;
[0048]所述接液杯50用于接收光阻材料从样品筒组件40中过滤后流出的滤出液;
[0049]所述气压控制和称量系统30用于控制过滤气压,并称量光阻材料从样品筒组件40中过滤后流出的滤出液的重量。
[0050]如图2和图3所示,所述样品筒组件40包括由上至下依次连接的进气螺母41、样品筒螺母42、样品筒43和样品筒出口螺母44,如图4所示,所述样品筒组件40还包括设于样品筒出口螺母44内的过滤膜45等部件;
[0051]所述进气螺母41的上端连接从气压控制和称量系统30来的第二气管22,下端连接样品筒螺母42;
[0052]所述样品筒螺母42用于密封样品筒43上端;
[0053]所述样品筒43用于填装光阻材料;
[0054]所述样品筒出口螺母44用于装填过滤膜45及连接样品筒43下端;
[0055]所述过滤膜45装填于样品筒出口螺母44内(如图3所示),用于过滤光阻材料。
[0056]所述进气螺母41内壁上设有内螺纹;
[0057]所述样品筒螺母42包括第一螺母本体421及与所述第一螺母本体421上端相连的第一凸起部422,所述第一凸起部422的尺寸小于所述第一螺母本体421的尺寸,所述第一螺母本体421内设有第一通孔,所述第一凸起部422内设有第二通孔,所述第一通孔与第二通孔相连通,所述第一螺母本体421的内壁上设有内螺纹,所述第一凸起部422的外壁上设有外螺纹;
[0058]所述进气螺母41与所述样品筒螺母42的第一凸起部422之间通过内、外螺纹的配合实现螺纹连接;
[0059]所述样品筒43包括筒体431及与所述筒体431下端相连的第二凸起部432,所述第二凸起部432的尺寸小于所述筒体431的尺寸,所述筒体431内设有一中空腔室,所述第二凸起部432内设有第三通孔,所述中空腔室与第三通孔相连通,所述筒体431上端即远离所述第二凸起部432的一端的外壁上设有外螺纹,所述第二凸起部432的外壁上设有外螺纹;
[0060]所述样品筒螺母42的第一螺母本体421与所述样品筒43的筒体431之间通过内、夕卜螺纹的配合实现螺纹连接;
[0061]所述样品筒出口螺母44包括第二螺母本体441及与所述第二螺母本体441下端相连的第三凸起部442,所述第三凸起部442的尺寸小于所述第二螺母本体441的尺寸,所述第二螺母本体441内设有第四通孔,所述第三凸起部442内设有第五通孔,该第四通孔与第五通孔相连通,所述第二螺母本体441的内壁上设有内螺纹;
[0062]所述样品筒43的第二凸起部432与所述样品筒出口螺母44的第二螺母本体441之间通过内、外螺纹的配合实现螺纹连接。
[0063]所述样品筒组件40还包括安装于所述样品筒螺母42上的泄压阀46,用于在过滤完毕后泄去样品筒43内的过滤气压。具体的,所述泄压阀46安装于所述样品筒螺母42的第一螺母本体421上。
[0064]所述进气螺母41与样品筒螺母42之间、所述样品筒螺母42与样品筒43之间、以及所述样品筒43与样品筒出口螺母44之间均设有密封圈(未图示),以防止漏气。
[0065]所述过滤膜45在不施加压力的情况下不应有光阻材料滤出。具体的,所述过滤膜45装填于所述样品筒出口螺母44的第二螺母本体441内。
[0066]所述样品筒组件40还包括连接所述样品筒出口螺母44下端的导管47,该导管47用于将从所述样品筒出口螺母44中滤出的滤出液引流至接液杯50。具体的,所述导管47与所述样品筒出口螺母44的第三凸起部442内的第五通孔连通。所述导管47的材料不限,如塑料、玻璃、或金属均可。
[0067]如图5所示,所述气压控制和称量系统30包括电源开关31、键盘按键32、总压力表33、实际压力表34、液晶显示屏35、及天平称盘36等部件;
[0068]所述电源开关31用于控制气压控制和称量系统30的电源开启与关闭;
[0069]所述键盘按键32用于输入过滤气压的大小和施加过滤气压的时间、恒压或程序化控制过滤气压、及启动测试等;
[0070]所述总压力表33用于显示所述气源10至所述气压控制和称量系统30之间的总气压;
[0071]所述实际压力表34用于显示经所述气压控制和称量系统30控制后实际施加到样品筒组件40中的过滤气压;
[0072]所述液晶显示屏35用于显示过滤气压参数及滤出液的重量等;
[0073]所述天平称盘36用于放置接液杯50和称量滤出液的重量。
[0074]具体的,所述气源10为氮气瓶;所述第一气管21与第二气管22的材料为不锈钢。
[0075]优选的,所述光阻过滤性能评估设备还包括一箱体60,所述箱体60的底座为气压控制和称量系统30,所述气源10与第一气管21均设于所述箱体60外,所述第二气管22、样品筒组件40与接液杯50均设于所述箱体60内。
[0076]所述箱体60具有箱门61,方便放入和取出设于箱体60内的组件。
[0077]优选的,所述光阻过滤性能评估设备还包括一固定卡具70,所述固定卡具70设于所述箱体60内,用于固定所述样品筒组件40,将所述样品筒组件40固定于特定的位置。
[0078]具体的,所述光阻过滤性能评估设备的使用方法包括以下步骤:
[0079]步骤1、开启气源10,启动气压控制和称量系统30的电源开关31。
[0080]步骤2、使用键盘按键32输入过滤气压的大小及施加过滤气压的时间,可设置恒压或程序控制过滤气压。
[0081 ]步骤3、根据实际情况选择过滤膜45的材质和过滤膜45的孔隙,选择的过滤膜45在不施加压力的情况下不应有光阻材料滤出,如图4所示,在样品筒出口螺母44中装入过滤膜45,然后将样品筒出口螺母44连接至样品筒43下端。
[0082]步骤4、按测试需求在样品筒43中加入一定量的光阻材料。
[0083]步骤5、在样品筒43上端连接好样品筒螺母42及进气螺母41,得到样品筒组件40。
[0084]步骤6、打开箱门60,将样品筒组件40放入箱体60中,固定在固定卡具70内。
[0085]步骤7、在天平称盘36中放置接液杯50,关上箱门61,使用键盘按键32对接液杯50执行去皮。
[0086]步骤8、按下键盘按键32的启动键,开始过滤。
[0087]步骤9、气压条件执行完毕后,所述气压控制和称量系统30自动停止向样品筒组件40内施加过滤气压并蜂鸣提示,此时应立刻读取接液杯50中滤出液的重量。
[0088]步骤10、向上提泄压阀46,泄去样品筒组件40内的压力,拆卸样品筒组件40并清洗各部件。
[0089]步骤11、在相同的测试条件下,用滤出液的重量表征不同光阻的过滤性能。
[0090]综上所述,本实用新型提供的一种光阻过滤性能评估设备,包括气源、气管、气压控制和称量系统、样品筒组件、过滤膜、接液杯等组件,其使用方法为:将一定量的光阻材料填充至样品筒组件中,通过气源对其施加压力使光阻材料从样品筒组件中滤出,施压完毕后,读取滤出液的重量,用滤出量评估光阻材料的过滤性能,从而能够在光阻材料评估阶段筛选评估光阻材料性能,在量产阶段对光阻材料进行来料检测,把关来料品质,减少因光阻导致的制造损失。
[0091]以上所述,对于本领域的普通技术人员来说,可以根据本实用新型的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形,而所有这些改变和变形都应属于本实用新型权利要求的保护范围。
【主权项】
1.一种光阻过滤性能评估设备,其特征在于,包括气源(10)、通过第一气管(21)与所述气源(10)相连的气压控制和称量系统(30)、通过第二气管(22)与所述气压控制和称量系统(30)相连的样品筒组件(40)、及置于所述气压控制和称量系统(30)上的接液杯(50); 所述气源(10)用于向样品筒组件(40)提供过滤气压; 所述样品筒组件(40)用于装填和过滤光阻材料; 所述接液杯(50)用于接收光阻材料从样品筒组件(40)中过滤后流出的滤出液; 所述气压控制和称量系统(30)用于控制过滤气压,并称量光阻材料从样品筒组件(40)中过滤后流出的滤出液的重量。2.如权利要求1所述的光阻过滤性能评估设备,其特征在于,所述样品筒组件(40)包括由上至下依次连接的进气螺母(41)、样品筒螺母(42)、样品筒(43)和样品筒出口螺母(44),所述样品筒组件(40)还包括设于所述样品筒出口螺母(44)内的过滤膜(45); 所述进气螺母(41)的上端连接第二气管(22),所述进气螺母(41)的下端连接样品筒螺母(42)。3.如权利要求2所述的光阻过滤性能评估设备,其特征在于,所述进气螺母(41)内壁上设有内螺纹; 所述样品筒螺母(42)包括第一螺母本体(421)及与所述第一螺母本体(421)上端相连的第一凸起部(422),所述第一凸起部(422)的尺寸小于所述第一螺母本体(421)的尺寸,所述第一螺母本体(421)内设有第一通孔,所述第一凸起部(422)内设有第二通孔,所述第一通孔与第二通孔相连通,所述第一螺母本体(421)的内壁上设有内螺纹,所述第一凸起部(422)的外壁上设有外螺纹; 所述进气螺母(41)与所述样品筒螺母(42)的第一凸起部(422)之间通过内、外螺纹的配合实现螺纹连接; 所述样品筒(43)包括筒体(431)及与所述筒体(431)下端相连的第二凸起部(432),所述第二凸起部(432)的尺寸小于所述筒体(431)的尺寸,所述筒体(431)内设有一中空腔室,所述第二凸起部(432)内设有第三通孔,所述中空腔室与第三通孔相连通,所述筒体(431)上端的外壁上设有外螺纹,所述第二凸起部(432)的外壁上设有外螺纹; 所述样品筒螺母(42)的第一螺母本体(421)与所述样品筒(43)的筒体(431)之间通过内、外螺纹的配合实现螺纹连接; 所述样品筒出口螺母(44)包括第二螺母本体(441)及与所述第二螺母本体(441)下端相连的第三凸起部(442),所述第三凸起部(442)的尺寸小于所述第二螺母本体(441)的尺寸,所述第二螺母本体(441)内设有第四通孔,所述第三凸起部(442)内设有第五通孔,该第四通孔与第五通孔相连通,所述第二螺母本体(441)的内壁上设有内螺纹; 所述样品筒(43)的第二凸起部(432)与所述样品筒出口螺母(44)的第二螺母本体(441)之间通过内、外螺纹的配合实现螺纹连接。4.如权利要求2所述的光阻过滤性能评估设备,其特征在于,所述样品筒组件(40)还包括安装于所述样品筒螺母(42)上的泄压阀(46)。5.如权利要求2所述的光阻过滤性能评估设备,其特征在于,所述进气螺母(41)与样品筒螺母(42)之间、所述样品筒螺母(42)与样品筒(43)之间、以及所述样品筒(43)与样品筒出口螺母(44)之间均设有密封圈。6.如权利要求1所述的光阻过滤性能评估设备,其特征在于,所述气压控制和称量系统(30)包括电源开关(31)、键盘按键(32)、总压力表(33)、实际压力表(34)、液晶显示屏(35)、及天平称盘(36); 所述电源开关(31)用于控制气压控制和称量系统(30)的电源开启与关闭; 所述键盘按键(32)用于输入过滤气压的大小和施加过滤气压的时间、恒压或程序化控制过滤气压、及启动测试; 所述总压力表(33)用于显示所述气源(10)至所述气压控制和称量系统(30)之间的总气压; 所述实际压力表(34)用于显示经所述气压控制和称量系统(30)控制后实际施加到样品筒组件(40)中的过滤气压; 所述液晶显示屏(35)用于显示过滤气压参数及滤出液的重量; 所述天平称盘(36)用于放置接液杯(50)和称量滤出液的重量。7.如权利要求6所述的光阻过滤性能评估设备,其特征在于,所述气源(10)为氮气瓶;所述第一气管(21)与第二气管(22)的材料为不锈钢。8.如权利要求6所述的光阻过滤性能评估设备,其特征在于,还包括一箱体(60),所述气压控制和称量系统(30)位于所述箱体(60)的底部,所述气源(10)与第一气管(21)均设于所述箱体(60)外,所述第二气管(22)、样品筒组件(40)、及接液杯(50)均设于所述箱体(60)内。9.如权利要求8所述的光阻过滤性能评估设备,其特征在于,所述箱体(60)具有箱门(61)。10.如权利要求8所述的光阻过滤性能评估设备,其特征在于,还包括一固定卡具(70),所述固定卡具(70)设于所述箱体(60)内,用于固定所述样品筒组件(40)。
【文档编号】G01N5/04GK205483899SQ201620275732
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年4月5日
【发明人】巫景铭
【申请人】深圳市华星光电技术有限公司
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