用于传感器校准与测试的转台系统的制作方法
【专利摘要】公开了一种用于传感器校准与测试的转台系统，包括外轴运动框，沿第一自由度转动；内轴运动框，设置于外轴运动框内，沿第二自由度转动；校准测试平台，所述校准测试平台固定于所述内轴运动框中，用于为待测传感器提供固定平台；所述外轴运动框和内轴运动框受控运动以使得校准测试平台移动到校准测试所需的各个位置以及达到校准测试所需的各个速度。本实用新型采用出线孔方式将测试信号线引到转台系统外解决转动过程中信号线被缠绕的问题；采用电滑环装置传输内轴电机的驱动信号解决了转动过程中信号传输的问题；采用外轴以及内轴检测装置实现对转台系统的故障报警；待测传感器校准与测试的数据都传输至测试机保存以便后续分析。
【专利说明】
用于传感器校准与测试的转台系统
技术领域
[0001]本实用新型属于半导体器件试验设备技术领域，更具体地，涉及一种用于传感器校准与测试的转台系统。
【背景技术】
[0002]传感器包括加速度计、陀螺仪以及磁力计。其中，加速度计以及陀螺仪是惯性导航和惯性制导系统的基本测量元件之一，加速度计以及陀螺仪本质上是一个振荡系统，安装于运动载体的内部，可以用来测量载体的运动加速度。磁力计是测量磁场的仪器。随着微电子技术的突飞猛进地发展，加速度计、陀螺仪以及磁力计已经广泛的被应用到航天，军事，工业，汽车，民用领域，尤其在民用领用，随着互联网终端的普及，加速度计、陀螺仪以及磁力计市场非常广泛。在加速度计、陀螺仪以及磁力计生产制造过程中，半导体器件设计生产厂家需要对设计生产制造后的加速度计、陀螺仪以及磁力计进行校准与测试，通常是利用重力场翻滚实验装置来校准和测试生产的加速度计、陀螺仪以及磁力计。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种用于传感器校准与测试的转台系统。
[0004]根据本实用新型的一方面，提供一种用于传感器校准与测试的转台系统，包括:夕卜轴运动框，沿第一自由度转动；内轴运动框，设置于外轴运动框内，沿第二自由度转动;校准测试平台，所述校准测试平台固定于所述内轴运动框中，用于为待测传感器提供固定平台；所述外轴运动框和内轴运动框受控运动以使得校准测试平台移动到校准测试所需的各个位置以及达到校准测试所需的各个速度。
[0005]优选地，所述转台系统还包括:外轴转动装置，包括外轴和外轴电机，所述外轴电机驱动所述外轴的转动；内轴转动装置，包括内轴和内轴电机，所述内轴电机驱动所述内轴的转动;其中，所述外轴运动框与所述外轴通过法兰连接;所述内轴运动框，与所述内轴通过法兰连接;所述外轴转动装置驱动外轴运动框受控运动;所述内轴转动装置驱动内轴运动框受控运动。
[0006]优选地，所述待测传感器包括加速度计、陀螺仪以及磁力计。
[0007]优选地，所述外轴转动装置还包括:第一减速器，与所述外轴电机直接相连，并通过联轴器与外轴相连。
[0008]优选地，所述待测传感器为加速度计以及陀螺仪，所述内轴转动装置还包括:第二减速器，与所述内轴电机直接相连，并与所述内轴直接相连。
[0009]优选地，所述第二减速器为直角减速器。
[0010]优选地，所述内轴运动框位于所述外轴运动框内远离外轴电机的一端;所述内轴电机位于所述外轴运动框内远离校准测试平台的一端;所述外轴运动框具有一定的长度以使所述外轴电机、所述内轴电机与所述校准测试平台的距离大于第一预设阈值。
[0011 ]优选地，所述待测传感器为磁力计，所述内轴转动装置还包括:第二减速器，与所述内轴电机直接相连；同步装置，与所述第二减速器的输出轴相连;所述第二减速器通过所述同步装置与所述内轴相连。
[0012]优选地，所述同步装置包括设置在外轴运动框外侧的主同步轮、从同步轮以及同步带，其中，所述同步带还具有拉紧装置，用于调节同步带的松紧。
[0013]优选地，所述转台系统还包括至少一个测试电路板单元，其中，所述测试电路板单元可拆卸地安装在所述校准测试平台上，用于安放待测传感器并将待测传感器校准与测试的数据传输至测试机。
[0014]优选地，所述待测传感器包括加速度计、陀螺仪以及磁力计。
[0015]优选地，所述转台系统还包括电滑环装置，用于传输所述内轴电机的驱动信号。
[0016]优选地，所述外轴转动装置还包括出线孔外轴，与所述外轴运动框通过法兰连接，具有第一出线孔;所述内轴转动装置还包括出线孔内轴，与所述内轴运动框通过法兰连接，具有第二出线孔;其中，测试信号线从所述第一出线孔或第二出线孔穿出。
[0017]优选地，所述转台系统还包括:外轴检测装置，位于出线孔外轴的轴承上，包括第一至第三传感器和外轴挡片，所述外轴挡片与所述出线孔外轴相连，在跟随出线孔外轴转动时穿过第一至第三传感器的凹槽，所述第一传感器用于对外轴转动装置进行原点检测，所述第二传感器和第三传感器用于对外轴转动装置进行限位检测。
[0018]优选地，所述转台系统还包括:内轴检测装置，位于出线孔内轴的轴承上，包括第四至第六传感器和内轴挡片，所述内轴挡片与所述出线孔内轴相连，在跟随出线孔内轴转动时穿过第四至第六传感器的凹槽，所述第四传感器用于对内轴转动装置进行原点检测，所述第五传感器和第六传感器用于对内轴转动装置进行限位检测。
[0019]本实用新型提出的用于加速度计、陀螺仪以及磁力计校准与测试的转台系统，采用出线孔的方式将测试信号线引到转台系统外，解决了转动过程中信号线被缠绕的问题；采用电机转动装置实现加速度计、陀螺仪以及磁力计校准与测试所需的各个位置快速到位;采用电滑环装置传输内轴电机的驱动信号解决了转动过程中信号传输的问题;采用外轴检测装置以及内轴检测装置实现对转台系统的故障报警解决了转动过程中故障检测的问题；加速度计、陀螺仪以及磁力计校准与测试的数据都传输至测试机保存，方便后续分析。
【附图说明】
[0020]通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中:
[0021]图1示出了根据本实用新型实施例的校准与测试的转台系统的结构示意图；
[0022]图2a_图2b示出了根据本实用新型另一实施例的校准与测试的转台系统的结构示意图；
[0023]图3示出了根据本实用新型实施例的校准与测试的转台系统的外轴检测装置的结构示意图；
[0024]图4示出了根据本实用新型实施例的校准与测试的转台系统的内轴检测装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0025]以下将参照附图更详细地描述本实用新型的各种实施例。在各个附图中，相同的元件采用相同或类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。
[0026]本实用新型可以各种形式呈现，以下将描述其中一些示例。
[0027]图1为本实用新型实施例的转台系统的结构图。用于加速度计以及陀螺仪校准与测试的转台系统包括:外轴电机1001、第一减速器1002、联轴器1003、外轴1004、外轴运动框1005、内轴电机1006、第二减速器1007、内轴1008、内轴运动框1009、校准测试平台1010、至少一个测试电路板单元1011、电滑环装置1012、支撑板1013、底板1014、挡板1015、出线孔外轴1016以及出线孔内轴1017。其中，外轴电机1001、第一减速器1002、联轴器1003和外轴1004构成了外轴转动装置，内轴电机1006、第二减速器1007、同步装置1008和内轴1008构成了内轴转动装置。本实施例的转台系统可以实现多个加速度计以及陀螺仪的同时测试。
[0028]尽管未在图中示出，该转台系统还包括用于驱动外轴电机1001的第一电机驱动器、用于驱动内轴电机1006的第二电机驱动器以及外部的上位机。上位机通过第一电机驱动器连接外轴电机1001，通过第二电机驱动器连接内轴电机1006，实现对外轴1004与内轴1008的精确控制，保证上位机对外轴1004与内轴1008实现安全，高精度的控制。测试机与测试电路板单元1011之间的指令与和数据通信采用测试信号线，保证测试机与测试电路板单元1011之间实现正常、安全的通信。
[0029]外轴电机1001用于产生外轴1004的转动，内轴电机1006用于产生内轴1008的转动。外轴1004结合内轴1008转动，为加速度计各个方向提供重力加速度以及为陀螺仪各个方向提供速度。外轴电机1001与外轴1004，通过第一减速器1002和联轴器1003相连，在动力传动中，第一减速器1002还有为外轴1004转动提供更大转动扭矩、降低外轴1004负载惯量、使外轴1004转动更加平稳、位置精度控制更加准确的作用，联轴器1003还有缓冲、减振和提高轴系动态性能的作用。
[0030]支撑板1013和底板1014为外轴1004提供了运动支架，及固定支撑，使外轴1004与内轴1008能够稳定地转动。挡板1015位于支撑板1013之间，用于固定支撑板1013。
[0031]外轴运动框1005与外轴1001通过法兰固定面连接，使外轴运动框1005随外轴1001一起运动，实现强劲稳定的动力传导作用。
[0032]外轴运动框1005包括多个横杠和多个纵杠。
[0033]内轴运动框1009位于外轴运动框1005内远离外轴转动装置的一端。校准测试平台1010与内轴运动框1009通过一组排列螺丝相互固定联结。固定后的校准测试平台1010为测试电路板单元1011提供测试信号线路。校准测试平台1010为加速度计以及陀螺仪校准测试的测试电路板单元1011提供固定，防止在转动翻转过程中，测试电路板单元1011松动或者掉落。测试电路板单元1011用于加速度计以及陀螺仪校准与测试的数据采集。
[0034]内轴电机1006通过第二减速器1007与内轴1008相连，其中，第二减速器为直角减速器。在动力传动中，第二减速器1007还有减小外轴1004转动范围、减少外轴1004负载惯量、为内轴1008转动提供更大转动扭矩、降低内轴1008负载惯量、使内轴1008转动更加平稳、位置精度控制更加准确的作用。
[0035]所述外轴转动装置还包括出线孔外轴1016，与所述外轴运动框1005通过法兰连接，具有第一出线孔;所述内轴转动装置还包括出线孔内轴1017，与所述内轴运动框1009通过法兰连接，具有第二出线孔;实现强劲稳定的动力传导。其中，测试信号线从所述第一出线孔或第二出线孔穿出。所述转台系统采用出线孔的方式将校准测试平台1010的测试信号线经出线孔外轴1016的第一出线孔以及出线孔内轴1017的第二出线孔穿出至转台系统外，与测试机连接进行信号传输。其中，所述第一出线孔以及第二出线孔的孔径大于预设阈值，解决了测试信号线在转动过程中被缠绕的问题。
[0036]在强度满足的条件下，外轴运动框1005和内轴运动框1009上设置有椭圆槽，减少负载惯量。
[0037]电滑环装置1012用于传输内轴电机1006的驱动信号。
[0038]在使用中，首先将生产出来的加速度计以及陀螺仪放入测试电路板单元1011中，然后上位机控制外轴1004和内轴1008转动，为加速度计提供不同位置的重力加速度以及为陀螺仪提供不同的速度，加速度计以及陀螺仪校准测试的测试电路板单元1011根据所提供的磁场进行校准与测试，最后加速度计以及陀螺仪校准测试的测试电路板单元1011将校准与测试的数据上传至测试机，实现对加速度计以及陀螺仪数据的并保存分析。
[0039]在一个优选地实施例中，所述转台系统还包括外轴检测装置1020(图中未示出)，位于出线孔外轴1016的轴承上，包括第一至第三传感器(2001-2003)和外轴挡片2004，所述外轴挡片2004与所述出线孔外轴1016相连，在跟随出线孔外轴1016转动时穿过第一至第三传感器的凹槽。
[0040]其中，所述第一传感器2001用于对外轴转动装置进行原点检测。在转台系统工作之前，先对转台系统进行检测，将外轴转动装置置于原点位置，即外轴挡片2004位于第一传感器2001的凹槽中。
[0041 ]所述第二传感器2002和第三传感器2003用于对外轴转动装置进行限位检测。在转台系统工作时，对外轴运动装置进行限位检测，当外轴挡片2004旋转至第二传感器2002或者第三传感器2003时，所述第二传感器2002或者第三传感器2003向上位机发送将第一触发信号，所述第一触发信号表征转台系统发生故障，此时，上位机根据接收到的第一触发信号控制转台系统停止工作。
[0042]在另一个优选地实施例中，所述转台系统还包括内轴检测装置1021(图中未示出)，位于出线孔内轴1017的轴承上，包括第四至第六传感器(3001-3003)和内轴挡片3004，所述内轴挡片3004与所述出线孔内轴1017相连，在跟随出线孔内轴1017转动时穿过第四至第六传感器(3001-3003)的凹槽。
[0043]其中，所述第四传感器用于对内轴转动装置进行原点检测。在转台系统工作之前，先对转台系统进行检测，将内轴转动装置置于原点位置，即内轴挡片3004位于第一传感器3001的凹槽中。
[0044]所述第五传感器3002和第六传感器3003用于对内轴转动装置进行限位检测。在转台系统工作时，对内轴运动装置进行限位检测，当内轴挡片3004旋转至第五传感器3002或第六传感器3003时，所述第五传感器3002或第六传感器3003向上位机发送第二触发信号，此时，该检测信号表征转台系统发生故障，上位机根据接收到的第二触发信号控制转台系统停止工作。
[0045]本实用新型提出的用于加速度计以及陀螺仪校准与测试的转台系统，采用出线孔的方式将测试信号线引到转台系统外，解决了转动过程中信号线被缠绕的问题;采用电机转动装置实现加速度计以及陀螺仪校准与测试所需的各个位置快速到位;采用电滑环装置传输内轴电机的驱动信号解决了转动过程中信号传输的问题;采用外轴检测装置以及内轴检测装置实现对转台系统的故障报警解决了转动过程中故障检测的问题;加速度计以及陀螺仪校准与测试的数据都传输至测试机保存，方便后续分析。
[0046]图2a和2b为本实用新型另一实施例的转台系统的结构图。用于磁力计校准与测试的转台系统包括:外轴电机2001、第一减速器2002、联轴器2003、外轴2004、外轴运动框2005、内轴电机2006、第二减速器2007、同步装置2008、内轴2009、内轴运动框2010、校准测试平台2011、至少一个测试电路板单元2012、电滑环装置2013、支撑板2014、底板2015、上盖2016、挡板2017、出线孔外轴2018以及出线孔内轴2019。其中，外轴电机2001、第一减速器2002、联轴器2003和外轴2004构成了外轴转动装置，内轴电机2006、第二减速器2007、同步装置2008和内轴2009构成了内轴转动装置。本实施例的转台系统可以实现多个磁力计的同时测试。
[0047]尽管未在图中示出，该转台系统还包括用于驱动外轴电机2001的第一电机驱动器、用于驱动内轴电机2006的第二电机驱动器以及外部的上位机。上位机通过第一电机驱动器连接外轴电机2001，通过第二电机驱动器连接内轴电机2006，实现对外轴2004与内轴2009的精确控制，保证上位机对外轴2004与内轴2009实现安全，高精度的控制。测试机与测试电路板单元2012之间的指令与和数据通信采用测试信号线，保证测试机与测试电路板单元2012之间实现正常、安全的通信。
[0048]外轴电机2001用于产生外轴2004的转动，内轴电机2006用于产生内轴2009的转动。外轴2004结合内轴2009转动，为磁力计各个方向提供地球磁场。外轴电机2001与外轴2004，通过第一减速器2002和联轴器2003相连，在动力传动中，第一减速器2002还有为外轴2004转动提供更大转动扭矩、降低外轴2004负载惯量、使外轴2004转动更加平稳、位置精度控制更加准确的作用，联轴器2003还有缓冲、减振和提高轴系动态性能的作用。支撑板2014和底板2015为外轴2004提供了运动支架，及固定支撑，使外轴2004与内轴2009能够稳定地转动。挡板2017位于支撑板2013之间，用于固定支撑板2013。
[0049]外轴运动框2005与外轴2001通过法兰固定面连接，使外轴运动框2005随外轴2001一起运动，实现强劲稳定的动力传导作用。
[0050]外轴运动框2005包括多个横杠和多个纵杠。
[0051 ]内轴运动框2010位于外轴运动框2005内远离外轴转动装置的一端。
[0052]校准测试平台2011与内轴运动框2010通过一组排列螺丝相互固定联结。固定后的校准测试平台2011为测试电路板单元2012提供测试信号线路。校准测试平台2011为磁力计校准测试的测试电路板单元2012提供固定，防止在转动翻转过程中，测试电路板单元2012松动或者掉落。测试电路板单元2012用于磁力计校准与测试的数据采集。
[0053]外轴运动框2005的长度足够长以使校准测试平台2011远离带有磁性的外轴转动
目.ο
[0054]内轴转动装置位于外轴运动框2005的一侧，其中，内轴电机2006安装于外轴运动框2005内远离校准测试平台2011的一端，以使校准测试平台2011远离带有磁性的内轴转动装置。也可以说，所述外轴运动框2005具有一定的长度以使所述外轴电机2001、所述内轴电机2006与所述校准测试平台2011的距离大于第一预设阈值。内轴电机2006通过第二减速器2007、同步装置2008与内轴2009相连，通过外轴运动框2005外侧的同步装置2008实现内轴2009高精度位置控制。在动力传动中，第二减速器2007还有为内轴2009转动提供更大转动扭矩、降低内轴2009负载惯量、使内轴2009转动更加平稳、位置精度控制更加准确的作用。
[0055]上盖2016盖住了外轴运动框2005的一部分。其中，所述内轴电机2006和第二减速器2007被上盖2016封闭在外轴运动框内。
[0056]同步装置2008包括设置在外轴运动框外侧的主同步轮、从同步轮以及同步带。其中，所述主同步轮与第二减速器2007直接相连，主同步轮与从同步轮之间通过一条比较长的同步带连接，从同步轮与所述内轴2009直接相连。第二减速器2007穿过外轴运动框2005的矩形孔，安装在减速器调整板上，主同步带轮同心安装在第二减速器2007的输出轴上。减速器调整板安装在外轴运动框2005的外侧上，螺丝穿过外轴运动框2005的腰型孔，用来固定减速器调整板。同步带通过拉紧装置调整同步带的合适位置，锁住两排腰型孔中的螺丝。
[0057]所述外轴转动装置还包括出线孔外轴2018，与所述外轴运动框2005通过法兰连接，具有第一出线孔;所述内轴转动装置还包括出线孔内轴2019，与所述内轴运动框2010通过法兰连接，具有第二出线孔;实现强劲稳定的动力传导。其中，测试信号线从所述第一出线孔或第二出线孔穿出。所述转台系统采用出线孔的方式将校准测试平台2011的测试信号线经出线孔外轴2018的第一出线孔以及出线孔内轴2019的第二出线孔穿出至转台系统外，与测试机连接进行信号传输。其中，所述第一出线孔以及第二出线孔的孔径大于第二预设阈值，解决了测试信号线在转动过程中被缠绕的问题。
[0058]在强度满足的条件下，外轴运动框2005和内轴运动框2010上设置有椭圆槽，减少负载惯量。
[0059]电滑环装置2013用于传输内轴电机2006的驱动信号。
[0060 ]转台系统的零件选择无磁材料(比如强度大的无磁的黄铜和质量较轻的无磁招合金)来加工，固定的螺丝选择无磁黄铜螺丝，转动轴承选择无磁高强度陶瓷轴承;打造测试区平台成为一个无磁性环境。
[0061]在使用中，首先将生产出来的磁力计放入测试电路板单元2012中，然后上位机控制外轴2004和内轴2009转动，为磁力计提供不同位置的磁场，磁力计校准测试的测试电路板单元2012根据所提供的磁场进行校准与测试，最后磁力计校准测试的测试电路板单元2012将校准与测试的数据上传至测试机，实现对磁力计数据的并保存分析。
[0062]在一个优选地实施例中，所述转台系统还包括外轴检测装置2020(图中未示出)，位于出线孔外轴2018的轴承上，包括第一至第三传感器(2001-2003)和外轴挡片2004，所述外轴挡片2004与所述出线孔外轴2018相连，在跟随出线孔外轴2018转动时穿过第一至第三传感器的凹槽。
[0063]其中，所述第一传感器2001用于对外轴转动装置进行原点检测。在转台系统工作之前，先对转台系统进行检测，将外轴转动装置置于原点位置，即外轴挡片2004位于第一传感器2001的凹槽中。
[0064]所述第二传感器2002和第三传感器2003用于对外轴转动装置进行限位检测。在转台系统工作时，对外轴运动装置进行限位检测，当外轴挡片2004旋转至第二传感器2002或者第三传感器2003时，所述第二传感器2002或者第三传感器2003向上位机发送将第一触发信号，所述第一触发信号表征转台系统发生故障，此时，上位机根据接收到的第一触发信号控制转台系统停止工作。
[0065]在另一个优选地实施例中，所述转台系统还包括内轴检测装置2021(图中未示出)，位于出线孔内轴2019的轴承上，包括第四至第六传感器(3001-3003)和内轴挡片3004，所述内轴挡片3004与所述出线孔内轴2019相连，在跟随出线孔内轴2019转动时穿过第四至第六传感器(3001-3003)的凹槽。
[0066]其中，所述第四传感器用于对内轴转动装置进行原点检测。在转台系统工作之前，先对转台系统进行检测，将内轴转动装置置于原点位置，即内轴挡片3004位于第一传感器3001的凹槽中。
[0067]所述第五传感器3002和第六传感器3003用于对内轴转动装置进行限位检测。在转台系统工作时，对内轴运动装置进行限位检测，当内轴挡片3004旋转至第五传感器3002或第六传感器3003时，所述第五传感器3002或第六传感器3003向上位机发送第二触发信号，此时，该检测信号表征转台系统发生故障，上位机根据接收到的第二触发信号控制转台系统停止工作。
[0068]本实用新型提出的用于磁力计校准与测试的转台系统，采用出线孔的方式将测试信号线引到转台系统外，解决了转动过程中信号线被缠绕的问题;采用电机转动装置实现磁力计校准与测试所需的各个位置快速到位;采用电滑环装置传输内轴电机的驱动信号解决了转动过程中信号传输的问题;采用外轴检测装置以及内轴检测装置实现对转台系统的故障报警解决了转动过程中故障检测的问题;磁力计校准与测试的数据都传输至测试机保存，方便后续分析。
[0069]依照本实用新型的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本实用新型以及在本实用新型基础上的修改使用。本实用新型的保护范围应当以本实用新型权利要求所界定的范围为准。
【主权项】
1.一种用于传感器校准与测试的转台系统，包括: 外轴运动框，沿第一自由度转动； 内轴运动框，设置于外轴运动框内，沿第二自由度转动； 校准测试平台，所述校准测试平台固定于所述内轴运动框中，用于为待测传感器提供固定平台； 所述外轴运动框和内轴运动框受控运动以使得校准测试平台移动到校准测试所需的各个位置以及达到校准测试所需的各个速度。2.根据权利要求1所述的转台系统，还包括: 外轴转动装置，包括外轴和外轴电机，所述外轴电机驱动所述外轴的转动； 内轴转动装置，包括内轴和内轴电机，所述内轴电机驱动所述内轴的转动； 其中，所述外轴运动框与所述外轴通过法兰连接； 所述内轴运动框，与所述内轴通过法兰连接； 所述外轴转动装置驱动外轴运动框受控运动； 所述内轴转动装置驱动内轴运动框受控运动。3.根据权利要求1所述的转台系统，其中，所述待测传感器包括加速度计、陀螺仪以及磁力计。4.根据权利要求1所述的转台系统，其中，所述外轴转动装置还包括: 第一减速器，与所述外轴电机直接相连，并通过联轴器与外轴相连。5.根据权利要求1所述的转台系统，其中，所述待测传感器为加速度计以及陀螺仪，所述内轴转动装置还包括: 第二减速器，与所述内轴电机直接相连，并与所述内轴直接相连。6.根据权利要求5所述的转台系统，其中，所述第二减速器为直角减速器。7.根据权利要求1所述的转台系统，其中，所述待测传感器为磁力计，所述内轴运动框位于所述外轴运动框内远离外轴电机的一端； 所述内轴电机位于所述外轴运动框内远离校准测试平台的一端； 所述外轴运动框具有一定的长度以使所述外轴电机、所述内轴电机与所述校准测试平台的距离大于第一预设阈值。8.根据权利要求7所述的转台系统，其中，所述内轴转动装置还包括: 第二减速器，与所述内轴电机直接相连； 同步装置，与所述第二减速器的输出轴相连； 所述第二减速器通过所述同步装置与所述内轴相连。9.根据权利要求8所述的转台系统，其中，所述同步装置包括设置在外轴运动框外侧的主同步轮、从同步轮以及同步带， 其中，所述同步带还具有拉紧装置，用于调节同步带的松紧。10.根据权利要求1-9任一项所述的转台系统，其中，还包括至少一个测试电路板单元， 其中，所述测试电路板单元可拆卸地安装在所述校准测试平台上，用于安放待测传感器并将待测传感器校准与测试的数据传输至测试机。11.根据权利要求1-9任一项所述的转台系统，其中，还包括电滑环装置，用于传输所述内轴电机的驱动信号。12.根据权利要求1-9任一项所述的转台系统，其中，所述外轴转动装置还包括出线孔外轴，与所述外轴运动框通过法兰连接，具有第一出线孔;所述内轴转动装置还包括出线孔内轴，与所述内轴运动框通过法兰连接，具有第二出线孔;其中，测试信号线从所述第一出线孔或第二出线孔穿出。13.根据权利要求12所述的转台系统，其中，还包括: 外轴检测装置，位于出线孔外轴的轴承上，包括第一至第三传感器和外轴挡片，所述外轴挡片与所述出线孔外轴相连，在跟随出线孔外轴转动时穿过第一至第三传感器的凹槽，所述第一传感器用于对外轴转动装置进行原点检测，所述第二传感器和第三传感器用于对外轴转动装置进行限位检测。14.根据权利要求12所述的转台系统，其中，还包括: 内轴检测装置，位于出线孔内轴的轴承上，包括第四至第六传感器和内轴挡片，所述内轴挡片与所述出线孔内轴相连，在跟随出线孔内轴转动时穿过第四至第六传感器的凹槽，所述第四传感器用于对内轴转动装置进行原点检测，所述第五传感器和第六传感器用于对内轴转动装置进行限位检测。
【文档编号】G01C25/00GK205506072SQ201620117350
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年2月5日
【发明人】吴欢欢, 符强, 魏建中
【申请人】杭州士兰微电子股份有限公司