专利名称：工厂自动化系统的数据同步方法和工厂自动化系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及自动化系统控制技术领域，特别是涉及一种工厂自动化系统的数据同步方法和工厂自动化系统。
背景技术：
在目前半导体生产领域，工厂自动化尤为重要。目前工厂自动化主要是将工厂主机及工艺设备通过一些中间软件，如工厂接口联系在一起，此种连接方式既能够真实地向工厂主机反映工艺设备机台当前的运行情况，又可以将工厂主机的命令传达到工艺设备一端进而进行相关的工艺处理和相关配置，从而为操作者提供一个简单易懂的操作平台完成自动化操作。现有的工厂自动化服务(Factory Automation Server，以下简称FA Server)系统是工厂接口的具体实现。它可以独立运行与工厂主机进行消息交互，也可以将工厂的制造设备集群与工厂主机连接以进行自动化控制。在设计实现了 E4、E37、E30、E39、E40、E94等标准的基础上，FA sever系统除了把工厂主机发送来的每一条消息进行解析处理以分派给制造设备集群外，还承接与制造设备集群的交互、事件触发等任务。其中，工厂自动化配置 (Faction Automation Config，以下简称 FA Config)系统是 FA Server 系统的一个配置工具。操作者基于FA Config系统可以对FA krver系统的相关参数进行配置，比如修改变量编号(Variable ID)、配置连接事件(Event)、管理维护报警(Alarm)等。在现有的工厂自动化实现方案中，FA krver系统与FA Config系统是不同时运行的。由于两者需访问同一数据库，通常情况下，操作者在FA Config系统对FA krver系统的配置进行修改并保存之后，数据库进行相应地更新；而FA krver系统需要重新启动后， FA Server系统才能与更新后的数据库进行同步，这就需要操作者进行重起服务等操作。另外，因为FA krver系统无法及时更新后的数据库同步，为了保证FA krver系统能够访问到更新后的数据库，现有的系统中，通常会设置相应的程序，使FA Server系统在启动后，FA Config系统无法启动，只有当FA krver系统关闭后，FA Config系统才能启动。通常的做法为FA krver系统在启动后修改注册表的运行键值，将运行键的键值修改为真，表示FA krver系统处于运行状态。当FA krver系统在关闭时，会再次修改注册表键值，将运行键的键值修改为假，表示FA krver系统目前已关闭。而在FA Config系统启动时，如果系统检测到注册表中的运行键的键值为真，即FA Server系统正在运行时，则用户无法登录FA Config系统，只有当关闭FA krver系统后，用户才能成功登录FA Config 系统；而且只有在用户成功登录FA Config系统后，FA Server系统才能再次开启。因此，在FA krver系统运行过程中，当用户需要采用FA Config系统对FA krver系统进行配置时，需要首先关闭FA krver系统，等用户成功登录FA Config系统后才能再次开启FA krver系统。这就增加了操作的繁琐性与人为操作的不确定性。当FA krver系统由于机台操作等原因不能立即关闭重启的情况下，用户则无法登陆FA Config 系统，就会造成不必要的时间等待。进一步地，如果FA krver系统非正常关闭，那么注册表中的运行键的键值就会一直保持为真，或者如果在FA Server系统关闭后人为的手动修改了运行键的键值，都会致使FA Config系统始终不可访问或者对是否可运行做出错误的判断。另外，因为在用户登录FA Config系统以后，FA krver系统同样可以启动，但是两者之间无法进行数据交互，这样会导致在FA krver系统启动后，操作者对FA Config系统所作的任何配置修改并保存后，FA krver系统的数据便无法与更新后的数据库及时保持同步，造成了用户期望数据与FA Server系统的处理数据不一致的错误。
发明内容
本发明提供一种工厂自动化系统的数据同步方法和工厂自动化系统，可以及时保持工厂自动化服务系统与工厂自动化配置系统数据的同步，保证工厂自动化配置系统对数据任何配置的更新都能及时反映到工厂自动化服务系统。为了解决上述问题，本发明公开了一种工厂自动化系统的数据同步方法，包括以下步骤建立工厂自动化服务系统和工厂自动化配置系统之间的数据通信通道；工厂自动化配置系统通过数据通信通道向工厂自动化服务系统提出数据同步请求；工厂自动化服务系统根据数据同步请求进行数据同步。进一步地，在工厂自动化服务系统根据数据同步请求进行数据同步之前还包括工厂自动化服务系统判断工厂自动化配置系统的数据同步请求是否符合同步要求，若是，则进行数据同步；反之，则忽略工厂自动化配置系统的数据同步请求。进一步地，所述工厂自动化服务系统根据数据同步请求进行数据同步包括D1，判断同步线程是否处于活动状态，若是，则请求进入同步线程的等待队列，若否，则启动一个同步线程，并请求进入该同步线程的队列；D2，判断同步线程中的请求是否可以执行，若是，则进行数据同步操作，若否，则继续等待；D3，判断数据同步操作是否成功，若是，则进行下一步骤，若否，则提示操作者数据同步操作失败、需重新启动工厂自动化服务系统；D4，判断所有请求是否执行完毕，若是，则结束操作，反之，则返回步骤D2。进一步地，所述方法还包括对数据库或者工厂自动化系统本身的封锁操作。进一步地，所述建立工厂自动化服务系统和工厂自动化配置系统之间的数据通信通道包括在工厂自动化服务系统中建立命名管道对象，并将工厂自动化服务系统设置为命名管道对象的服务器端、工厂自动化配置系统设置为命名管道对象的客户端。进一步地，所述工厂自动化服务系统对工厂自动化配置系统的数据同步请求进行数据同步请求之前还包括工厂自动化服务系统初始化命名管道对象的服务器端的监听服务，用于监测工厂自动化配置系统所发送的数据同步请求；工厂自动化配置系统初始化命名管道对象的客户端的监听服务，用于监测操作者对工厂自动化配置系统所进行的配置修改并保存的操作，并向工厂自动化服务系统发送数据同步请求。进一步地，所述建立数据通信通道包括在工厂自动化服务系统中建立Remoting对象，将工厂自动化服务系统设置为 Remoting对象的服务器端、工厂自动化配置系统设置为Remoting对象的客户端。进一步地，所述工厂自动化服务系统对工厂自动化配置系统的数据同步请求进行数据同步之前还包括工厂自动化服务系统启动，并将自己的端口号和名称注册到Remoting对象的通道中；工厂自动化配置系统启动，并通过工厂自动化服务系统在Remoting对象通道中注册的端口号向工厂自动化服务系统发送数据同步请求。为了解决上述问题，本发明还公开了一种工厂自动化系统，包括工厂自动化服务系统、工厂自动化配置系统系统、及用于工厂自动化服务系统系统和工厂自动化配置系统系统之间数据交互的数据通信模块。进一步地，所述数据通信模块为命名管道对象模块。进一步地，所述数据通信模块为Remoting对象模块。进一步地，所述工厂自动化系统还包括封锁模块，用于封锁数据库或者工厂自动化系统。与现有技术相比，本发明具有以下优点本发明的工厂自动化系统的数据同步方法和工厂自动化系统通过在FA Server和 FA Config之间增加数据通信通道，使FA krver和FA Config之间的能够及时同步，保证 FA Config对数据任何配置的更新都能及时反映到FA Server，使FA krver能够及时与更新后的数据库保持同步，保证设备反映到工厂主机数据的真实有效性和主机下发命令的准确性。并且FA krver和FA Config可以随意运行，互不干扰，提高了工厂自动化的效率。 还可以使FA krver和FA Config在局域网中能进行分布式独立部署，提高了系统的兼容性和处理效率。此外，如果操作失败则系统会采用界面提示重新启动FA krver或者向工厂主机发送相应的事件通知以确保数据一致的方式，避免了人为控制系统启动存在的不确定性。
图1是本发明的一种工厂自动化系统的数据同步方法实施例一的流程图；图2是本发明的一种工厂自动化系统的数据同步方法实施例二的流程图；图3是本发明的一种工厂自动化系统的数据同步方法实施例的数据同步过程的流程图；图4和图5是本发明的一种工厂自动化系统的数据同步方法实施例三的流程图；图6是本发明的一种工厂自动化系统的数据同步方法实施例四的流程图；图7是本发明的一种工厂自动化系统实施例一的结构示意图；图8是本发明的一种工厂自动化系统实施例二的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明。本发明的一种工厂自动化系统的数据同步方法通过在FA Server系统应用程序进程与FA Config系统服务之间建立数据通信，使两者可以独立单独运行也可以同时运行，并能时时保持两者数据的同步，保证FA Config系统对数据任何配置的更新都能及时反映到 FA Server系统，保证设备反映到工厂主机数据的真实有效性和主机下发命令的准确性。请参照图1，示出本发明的一种工厂自动化系统的数据同步方法实施例一，包括以下步骤步骤101，建立FA Server系统和FA Config系统之间的数据通信通道。此处的数据通信通道可以是对FA krver系统和FA Config系统之间的数据进行时时同步的通道，通过如命名通道或者Remoting对象等数据通信技术来实现。步骤102，FA Config系统通过数据通信通道向FA Server系统提出数据同步请求。步骤103，FA Server系统根据数据同步请求进行数据同步。当操作者对FA Config系统进行保存的相关操作后，FA Config系统便可以通过数据通信通道向FA krver系统提出数据同步请求，FA krver系统进行数据同步操作，以使FA Server系统所使用的数据与更新后的数据库保持同步。请参照图2，示出本发明的一种工厂自动化系统的数据同步方法实施例二，进一步地，为了保证数据同步的准确性及必要性，FA krver系统进行数据同步前还可以进一步地包括步骤对FA Config系统的数据同步请求进行判断，若符合同步要求，则进行数据同步；反之，则忽略FA Config系统的请求。FA krver系统解析FA Conf ig系统的数据同步请求，获取操作者对FA Config 系统所进行的配置修改并保存的相关操作，判断该配置修改并保存的相关操作是否符合同步要求。其中，对于是否符合同步要求可以根据具体的情况来判断，例如，如果操作者对FA Config系统的进行配置修改并做了保存，则认为符合同步要求，反之，则认为不符合同步要求；或者，如果操作者对FA Config系统进行配置修改并保存的相关操作所涉及的数据会对FA Server系统产生影响，则认为符合同步要求，反之，则认为不符合同步要求。请参照图3，进一步地，前述步骤103中，FA krver系统根据数据同步请求进行数据同步操作还可以包括如下子步骤D1，判断同步线程是否处于活动状态(Active)，若是，则请求进入同步线程的等待队列，若否，则启动一个同步线程，并请求进入该同步线程的队列。D2，判断同步线程中的请求是否可以执行，若是，则进行数据同步操作，若否，则继
续等待。D3，判断数据同步操作是否成功，若是，则进行下一步骤，若否，则提示操作者数据同步操作失败、需重新启动FA krver系统。D4，判断所有请求是否执行完毕，若是，则结束操作，反之，则返回步骤D2。进一步地，在进行数据同步操作时，如果操作失败则系统会采用界面提示重新启动FA Server系统或者向工厂主机发送相应的事件通知以确保数据一致的方式，避免了人为控制系统启动存在的不确定性。
因为在建立数据通信通道后，操作者对FA Config系统的配置修改并保存的相关操作可以及时地通过数据通信通道传递给FA krver系统，使FA krver系统能及时与更新后的数据库保持同步以更新数据，因此在此种情况下，不需要限制FA Server系统与FA Config系统的启动，S卩，使FA krver系统与FA Conf ig系统相互独立，在FA krver系统启动的情况下，FA Config系统也可以启动，避免了两者之间的限制。进一步地，还可以在前述实施例一和实施例二中增加对数据库或者工厂自动化系统本身的封锁操作。即，操作者在FA Config系统对系统配置进行修改的过程中，数据库或者工厂自动化系统本身的数据不会更改，只有当FA Config系统对系统配置修改完成并保存后，才更改数据库或者工厂自动化系统的数据。对于数据库或者工厂自动化系统本身的封锁操作可以避免在数据同步时出现错误，以及减少不必要的操作。请参照图4，示出本发明的一种工厂自动化系统的数据同步方法实施例三，本实施例中，假设FA krver系统和FA Config系统配置在本地的同一台机器上，采用命名管道对象来进行FA krver系统和FA Config系统之间的数据通信，包括以下步骤步骤301，在FA Server系统中建立一个命名管道对象，并将FA Server系统设置为命名管道对象的服务器端、FA Config系统设置为命名管道对象的客户端。该命名管道对象主要负责通讯的创建、连接以及数据的读写等操作，它是 FA krver系统与FA Config系统交互的基础。设置在FA krver系统的管道管理者 (PipeManager)主要负责维护通讯连接的当前状态。在实际应用中，FA krver系统是不会时时访问数据库的，FA Config系统配置对数据库所做的任何操作都不能及时地翻印到FA krver系统，因此，FA krver系统需要监听FA Conf ig系统所作的任何改动以便使自身数据与数据库中的数据保持同步。而FA Config系统的操作为读取数据库、并会对数据库进行更新，因此FA Config系统无需监测FA krver系统的更新。因此可以将FA krver系统置为命名管道对象的服务器端，并将FAConfig系统设置为管道的客户端。步骤302，FA krver启动并初始化命名管道对象服务器端的监听服务 (Listening)。随着FA Server系统的启动，会初始化一个作为命名管道对象的服务器端的监听服务，用于监测客户端发来的数据同步请求。如果作为命名管道对象的客户端的FA Config 系统有数据同步请求传来，作为命名管道对象服务器端的FA Server系统监听服务就会立即响应该数据同步请求。步骤303，FA Config系统初始化命名管道对象的客户端的监听服务 (Listening)，命名管道对象的客户端的监听服务监测操作者FA Config系统的配置修改并保存的相关操作，并向FA krver系统发送数据同步请求。命名管道对象的客户端的监听服务用于监测操作者对FA Config系统的配置所进行修改及保存的操作。如果操作者在FA Config系统对配置进行了修改并做了保存更新等操作，命名管道对象客户端的监听服务便会尝试向命名管道对象的服务器端发送数据同步请求以进行数据同步。如果此时命名管道对象的服务器端已经启动，并与命名管道对象的客户端连接成功。作为命名管道对象的客户端的FA Config系统便会将操作者的配置修改并保存的相关操作随数据同步请求传递给作为命名管道对象的服务器端的FA krver系统。
步骤304，FA Server系统进行数据同步操作。作为命名管道对象的服务器端的FA krver系统解析客户端FA Config系统发送的数据同步请求，获取操作者对FA Config系统的配置修改并保存的相关操作，根据该配置修改并保存的相关操作来判断是否符合同步要求。例如，判断操作者在FA Config系统所进行配置修改操作是否对FA krver系统的数据有影响，如有影响，则认为符合同步要求，反之，则不符合。如果符合同步要求，则FA krver系统会启动一个同步线程去执行FA Config系统发送的数据同步请求，从而保证FA krver系统运行的时效性。反之，则忽略 FA Config系统发送的数据同步请求，不进行处理。请参照图5，下面结合具体实例，对前述步骤进行详细说明。假定FA krver系统与FA Config系统都已启动并运行正常，并且FA krver系统和FA Config系统初始化了各自的命名通道对象的监听服务。当操作者需要对Variable ID进行修改，首先，操作者在FA Config系统中修改该Variable ID并请求保存。在操作者对FA Config系统进行保存的相关操作后，FA Config系统的监听服务会将监测到的配置修改并保存的相关操作通过命名管道对象向作为命名管道服务器端的FA krver系统发出数据同步请求，请求FA krver系统进行该Variable ID数据同步，以保证FA krver系统与数据库保持同步。FA krver系统收到数据同步请求后，判断该数据同步请求是否符合同步要求，若符合，则进行数据同步操作。首先，则FA krver系统会判断当前是否有处于活动状态的同步线程，若有，则请求进入同步线程的等待队列，否则，则FA krver系统会启动一个同步线程，并请求进入同步线程的队列。进一步地，当轮到执行该数据同步请求时，FA Server系统会首先判断当前资源是否处于占用状态，即同步线程是否能够执行，如果当前资源未处于占用状态，则表示同步线程可以执行，此时进行数据的同步更新。如果当前资源处于占用状态，则表示同步线程无法执行，此时则继续等待直到占用资源被释放才进行数据的同步更新。请参照图6，示出本发明的一种工厂自动化系统的数据同步方法实施例四，本实施例中，假设FA krver系统和FA Config系统配置在本地的不同的机器上，此时，采用 Remoting对象的方式，通过通道(channel)来实现FA krver系统和FA Config系统之间的数据通信，包括以下步骤步骤401，在FA krver系统中建立Remoting对象，将FA krver系统设置为 Remoting对象的服务器端、将FA Config系统设置为Remoting对象的客户端。Remoting技术采用服务器端、客户端的模式，其中，服务器端用于提供相关的服务，即具备什么功能。客户端用于在特定情况下调用服务器提供的服务(功能)，从而达到一定的目的。在工厂自动化生产中，FA Config系统所做的配置更新都要实时反映到FA krver系统，FA krver系统要提供相应的服务用于承接FA Config系统的不定时数据同步需求，因此，此处将FA Server系统作为Remoting对象的服务器端，FA Config系统作为 Remoting对象的客户端。步骤402，FA Server系统启动并将自己的端口号和名称注册到Remoting对象的通道中。在FA krver系统启动并将自己的端口号和名称注册到Remoting对象的通道中， 以备被作为Remoting对象客户端的FA Config系统调用。
步骤403，FA Conf ig系统启动，并通过FA krver系统在Remoting对象的通道中注册的端口号向FA krver系统发送数据同步请求。FA Config系统启动后，作为Remoting对象客户端的FA Config系统通过FA Server系统在Remoting对象的通道注册的端口号与FA Server系统建立连接。当操作者在FA Config对配置进行了修改并做了保存更新等操作，作为Remoting对象的客户端的FA Config系统便会将操作者的配置修改并保存的相关操作通过Remoting对象的通道向作为 Remoting对象的服务端的FA Server系统发送数据同步请求。步骤404，FA Server系统进行数据同步操作。FA krver系统对FA Config系统的数据同步请求进行解析，获取操作者对FA Config系统的配置修改并保存的相关操作，根据该配置修改并保存的相关操作来判断是否符合同步要求。例如，判断操作者对FA Config系统的配置修改并保存的相关操作是否对 FA krver系统的数据有影响。如果符合同步要求，则FA krver系统会启动一个同步线程去执行FAConfig系统发送的数据同步请求，从而保证FA krver系统运行的时效性。反之，则忽略FA Config系统发送的数据同步请求，不进行处理。进一步地，FA Server系统对于采用Remoting对象作为数据通信通道的数据同步操作与前面采用命名通道对象作为数据通信通道的数据同步操作相同，在此不再进行介绍。请参照图7，示出本发明实施例一的一种工厂自动化系统100，包括FA krver系统10、FA Config系统30及用于FA Server系统10和FA Config系统30之间数据交互的数据通信模块50。FA Sever系统10用于将工厂主机发送来的每一条消息进行解析处理分派给下层制造设备集群外，还承接与制造设备集群的交互、事件触发等任务。FA Config系统30是FA Server系统10的一个配置工具。操作者基于FA Config 系统30可以对FA krver系统10的相关参数进行配置，比如修改变量编号(Variable ID)、 配置连接事件(Event)、管理维护报警(Alarm)等。数据通信模块50连接FA Sever系统10和FA Config系统30，用于实现两者之间的数据同步。通常情况下，数据通信模块50会分别在FA Sever系统10中设置服务器端和在FA Config系统30中设置客户端。FA Sever系统10和FA Config系统30通过数据通信模块50的服务器端和客户端之间的数据交互实现数据同步。数据通信模块50可以是任何可以实现数据通信的模块，本实施例中，数据通信模块50为命名管道对象模块或者 Remoting对象模块。请参照图8，进一步地，该工厂自动化系统还包括封锁模块70，用于封锁数据库或者工厂自动化系统。避免在FA Config系统30对系统配置进行修改的过程中就进行数据同步，减少不必要的操作。本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。对于系统实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。以上对本发明所提供的一种工厂自动化系统的数据同步方法和工厂自动化系统进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式
及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
权利要求
1.一种工厂自动化系统的数据同步方法，其特征在于，包括以下步骤 建立工厂自动化服务系统和工厂自动化配置系统之间的数据通信通道；工厂自动化配置系统通过数据通信通道向工厂自动化服务系统提出数据同步请求； 工厂自动化服务系统根据数据同步请求进行数据同步。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在工厂自动化服务系统根据数据同步请求进行数据同步之前还包括工厂自动化服务系统判断工厂自动化配置系统的数据同步请求是否符合同步要求，若是，则进行数据同步；反之，则忽略工厂自动化配置系统的数据同步请求。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工厂自动化服务系统根据数据同步请求进行数据同步包括D1，判断同步线程是否处于活动状态，若是，则请求进入同步线程的等待队列，若否，则启动一个同步线程，并请求进入该同步线程的队列；D2，判断同步线程中的请求是否可以执行，若是，则进行数据同步操作，若否，则继续等待；D3，判断数据同步操作是否成功，若是，则进行下一步骤，若否，则提示操作者数据同步操作失败、需重新启动工厂自动化服务系统；D4，判断所有请求是否执行完毕，若是，则结束操作，反之，则返回步骤D2。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括 对数据库或者工厂自动化系统本身的封锁操作。
5.如权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述建立工厂自动化服务系统和工厂自动化配置系统之间的数据通信通道包括在工厂自动化服务系统中建立命名管道对象，并将工厂自动化服务系统设置为命名管道对象的服务器端、工厂自动化配置系统设置为命名管道对象的客户端。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述工厂自动化服务系统对工厂自动化配置系统的数据同步请求进行数据同步请求之前还包括工厂自动化服务系统初始化命名管道对象的服务器端的监听服务，用于监测工厂自动化配置系统所发送的数据同步请求；工厂自动化配置系统初始化命名管道对象的客户端的监听服务，用于监测操作者对工厂自动化配置系统所进行的配置修改并保存的操作，并向工厂自动化服务系统发送数据同步请求。
7.如权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述建立数据通信通道包括在工厂自动化服务系统中建立Remoting对象，将工厂自动化服务系统设置为 Remoting对象的服务器端、工厂自动化配置系统设置为Remoting对象的客户端。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述工厂自动化服务系统对工厂自动化配置系统的数据同步请求进行数据同步之前还包括工厂自动化服务系统启动，并将自己的端口号和名称注册到Remoting对象的通道中； 工厂自动化配置系统启动，并通过工厂自动化服务系统在Remoting对象通道中注册的端口号向工厂自动化服务系统发送数据同步请求。
9.一种工厂自动化系统，其特征在于，包括CN 102540909 A工厂自动化服务系统； 工厂自动化配置系统系统；及用于工厂自动化服务系统系统和工厂自动化配置系统系统之间数据交互的数据通信模块。
10.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述数据通信模块为命名管道对象模块。
11.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述数据通信模块为Remoting对象模块。
12.如权利要求9至11任一项所述的系统，其特征在于，所述工厂自动化系统还包括 封锁模块，用于封锁数据库或者工厂自动化系统。
全文摘要
本发明提供了一种工厂自动化系统的数据同步方法，包括建立工厂自动化服务系统和工厂自动化配置系统之间的数据通信通道；工厂自动化配置系统通过数据通信通道向工厂自动化服务系统提出数据同步请求；工厂自动化服务系统根据数据同步请求进行数据同步。本发明的工厂自动化系统的数据同步方法，工厂自动化配置系统对数据任何配置的更新通过数据通信通道向工厂自动化服务系统提出数据同步请求，以使工厂自动化服务系统的数据能与数据库的数据保持同步。本发明还提供一种工厂自动化系统。
文档编号G05B19/02GK102540909SQ20101058629
公开日2012年7月4日 申请日期2010年12月8日 优先权日2010年12月8日
发明者王志亮 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司