一种glitch信号处理装置的制作方法

本发明涉及一种glitch信号处理装置，尤其涉及离子注入机的一种glitch信号处理装置。

背景技术：

离子注入机作为一种半导体器件制造中的掺杂设备，是整个半导体器件生产流程上重要组成部分。离子注入的主要功能是通过改变芯片内载流子的分布从而达到所需的电参数，其中包括源漏极间的串联电阻，优化其沿路的电场分布，降低甚至消除短沟道效应，降低CMOS的工作电压，提高运行速度，降低寄生电容及功耗。目前离子注入机发展方向是向着低能大束流的方向发展。当束流大能量低时，单位空间的带电粒子量增多，当出现其他扰动时极易发生带电粒子的聚集从而产生打火现象。一般将这种现象称之为glitch现象。当注入机处于晶片注入状态时，glitch现象的发生会影响晶片的注入剂量。为了减少废片，改善glitch发生对晶片注入剂量的影响，使用适当的信号采集及处理装置是必要的。

本发明提供了一种glitch信号处理装置。本装置可以快速的采集到glitch信号并将其传送相应控制器中，并关断相应电源。本装置采集速度快，反应迅速，效果好，适合注入机打火时的信号采集。

技术实现要素：

本发明公开了离子注入机系统中glitch信号处理装置及相关处理方法。该发明用于离子注入机，可实现准确快速glitch信号处理及传送。

本发明通过以下技术方案实现：主要组成包括：主控制器、光纤信号传输模块、电源信号采集与控制模块、电源模块。其中，主控制器为整个信号处理装置的核心。首先发送相应控制字给A/D转换芯片，之后A/D转换芯片进入数据采集状态并同时将信号传送给主控制器。主控制器根据传送的数据进行分析。当电源反馈信号显示出无较大波动时，此时不发生触发信号；当电源反馈信号显示出较大波动时，触发glitch信号。此时，控制器向光纤信号传输模块发出信号，此信号通过光纤传送至PMAC控制器中，之后进行相应操作避免glitch信号的进一步影响。

电源反馈信号由电源产生。电源与glitch控制器之间通过DB9相连。PMAC控制器与glitch控制器之间通过光纤接口相连。

在控制器发送glitch信号的同时，主控制器还会对电源输出控制端进行相应动作。当无glitch信号出现时，电源输出控制端由上位机通过PSI控制器发送0-10V电压信号进行控制。当glitch信号出现时，主控制器通过模拟开关将此路电压输出控制信号接地。此时电源接收到的设置电压为零。为完成下一次信号的重新判断，模拟开关仅将电压输出控制信号接地一段时间，之后重新接通至PSI控制器控制。此时整个装置完成一次glitch信号的触发工作，进入下一次glitch信号的判断。

本发明具有如下显著优点：

1.主控制器采用CPLD作为主控芯片，响应速度迅速。

2.关断信号使用的模拟开关，关断速度极快。

3.触发信号由主控制器发出，触发通过改变CPLD程序即可，触发条件易控制。

附图说明

图1为glitch信号处理装置结构图。

具体实施方式

下面结合附图1对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。

如图1中所示，在本发明当中，采取的触发条件直接影响最后得到的结果。当触发条件过大时，许多较小的打火就被控制器所忽略，甚至不会出现触发信号。当触发条件过小时，简单的信号波动可能也会导致触发，这样会引起误动作。在注入机的实际使用过程中，由于带电粒子运动轨迹较长，期间经历电位复杂，所以不同位置的触发信号的触发条件设置应该是不同的。当匹配了合理的触发条件之后才能使glitch信号处理达到最优效果。

本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。