一种蚀刻液浓度调整方法与流程

文档序号:15229422发布日期:2018-08-21 19:12阅读:1137来源:国知局

本发明涉及蚀刻行业,具体是一种蚀刻液浓度调整方法。



背景技术:

当前蚀刻行业中所使用的蚀刻液大多是多种质物的混合液。蚀刻过程中随时间推移,蚀刻液中的某些物质浓度会下不同程度的下降,并最终导致蚀刻率下降。当蚀刻率下降到一定程度时,蚀刻液就不能再使用了。蚀刻液本身的特性就是高腐蚀性,甚至是剧毒的,使用后的蚀刻液不能直排放,否则会造成严重的污染。目前对使用后的蚀刻液处理方法一般有两种,一种是送到专业处理厂进行无害化处理,另一种是由专业化学品供应厂回收,以上两种都会产生额处的费用,增加了企业成本。

为了降低企业成本及减少环境污染,蚀刻液循环利用成为当务之急。



技术实现要素:

本发明目的是提供一种蚀刻液浓度调整方法,在使用蚀刻液后,添加调整溶液,通过控制调整溶液的量,实现恢复蚀刻液浓度,使蚀刻液得到循环利用,减少污染,降低成本。

为了解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:

一种蚀刻液浓度调整方法,包括以下步骤:

步骤1:对于进行蚀刻液使用后的液体进行回收,得到回收液;

步骤2:对回收液中的所有添加物使用浓度计进行浓度检测,得到各个添加物的浓度;

步骤3:对回收液的体积使用液位计进行检测,得到回收液的体积;

步骤4:对回收液添加含有各个添加物的调整溶液,各个添加物的溶剂相同,得到目标蚀刻液;

进一步的,回收液中含有w、x、y三种物质,经过检测后,回收液中w、x、y三种物质的浓度分别为cw1、cx1、cy1,回收液的体积为v1,回收液通过添加w、x、y后的目标浓度分别为:cw2、cx2、cy2,通过调整后的蚀刻液目标体积为v2,三种调整溶液中w、x、y三种物质的浓度分别为cw0、cx0、cy0,调整溶液的溶剂均为z,三种调整溶液w、x、y及溶剂z的密度为ρw、ρx、ρy、ρz,回收液的重量为m1,目标蚀刻液的重量为m2,

m1=v1/[1-cw1(1-ρw)/cw0*ρw-cx1(1-ρx)/cx0*ρx-cy1(1-ρy)/cy0*ρy]

m2=v2/[1–cw2(1-ρw)/cw0*ρw–cx2(1-ρx)/cx0*ρx-cy2(1-ρy)/cy0*ρy]

w物质添加量=添加后溶液中w物质含量-添加前溶液中w物质含量

=m2*cw2-m1*cw1;

x物质添加量=添加后溶液中w物质含量-添加前溶液中w物质含量

=m2*cx2-m1*cx1;

y物质添加量=添加后溶液中w物质含量-添加前溶液中w物质含量

=m2*cy2-m1*cy1;

进一步的,在使用流量计添加w、x、y时,各个添加物的体积为:

添加物w添加体积=(m2*cw2-m1*cw1)/cw0*ρw;

添加物x添加体积=(m2*cx2-m1*cx1)/cx0*ρx;

添加物y添加体积=(m2*cy2-m1*cy1)/cy0*ρy;

添加的溶剂z的体积=v2-v1-(m2*cw2-m1*cw1)/cw0*ρw

-(m2*cx2-m1*cx1)/cx0*ρx-(m2*cy2-m1*cy1)/cy0*ρ;

利用逼近法计算,当v2的值变大到一定值时使所有添加量大于等于0,这时的v2是使添加物的添加量为最小的值,而此时的添加量为最小添加量;

优选的,调整溶液为单物质溶液。

本发明的有益效果是:

本发明在使用蚀刻液后添加调整溶液,通过控制调整溶液的量,实现恢复蚀刻液浓度,使蚀刻液得到循环利用,减少污染,降低成本。

具体实施方式

以下结合实施例对本发明的实施例进行详细说明,但是本发明可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。

本发明公开一种蚀刻液浓度调整方法,包括以下步骤:

步骤1:对于进行蚀刻液使用后的液体进行回收,得到回收液;

步骤2:对回收液中的所有添加物使用浓度计进行浓度检测,得到各个添加物的浓度;

步骤3:对回收液的体积使用液位计进行检测,得到回收液的体积;

步骤4:对回收液添加含有各个添加物的调整溶液,各个添加物的溶剂相同,得到目标蚀刻液。

在本发明实施例中,回收液中含有w、x、y三种物质,经过检测后,回收液中w、x、y三种物质的浓度分别为cw1、cx1、cy1,回收液的体积为v1,回收液通过添加w、x、y后的目标浓度分别为:cw2、cx2、cy2,通过调整后的蚀刻液目标体积为v2,三种调整溶液中w、x、y三种物质的浓度分别为cw0、cx0、cy0,调整溶液的溶剂均为z,三种调整溶液w、x、y及溶剂z的密度为ρw、ρx、ρy、ρz,回收液的重量为m1,目标蚀刻液的重量为m2,

m1=v1/[1-cw1(1-ρw)/cw0*ρw-cx1(1-ρx)/cx0*ρx-cy1(1-ρy)/cy0*ρy]

m2=v2/[1–cw2(1-ρw)/cw0*ρw–cx2(1-ρx)/cx0*ρx-cy2(1-ρy)/cy0*ρy]

w物质添加量=添加后溶液中w物质含量-添加前溶液中w物质含量

=m2*cw2-m1*cw1;

x物质添加量=添加后溶液中w物质含量-添加前溶液中w物质含量

=m2*cx2-m1*cx1;

y物质添加量=添加后溶液中w物质含量-添加前溶液中w物质含量

=m2*cy2-m1*cy1。

在使用流量计添加w、x、y时,各个添加物的体积为:

添加物w添加体积=(m2*cw2-m1*cw1)/cw0*ρw;

添加物x添加体积=(m2*cx2-m1*cx1)/cx0*ρx;

添加物y添加体积=(m2*cy2-m1*cy1)/cy0*ρy;

添加的溶剂z的体积=v2-v1-(m2*cw2-m1*cw1)/cw0*ρw

-(m2*cx2-m1*cx1)/cx0*ρx-(m2*cy2-m1*cy1)/cy0*ρ。

由于添加后溶液的体积v2可以是无限种可能,导致各添加物的添加量得不到一个确定的值,从降低成本等考虑,应该使添加物的添加量越少越好。因此,利用逼近法计算,当v2的值变大到一定值时使所有添加量大于等于0,这时的v2是使添加物的添加量为最小的值,而此时的添加量为最小添加量。

其中,调整溶液为单物质溶液。

结合计算机计算,本发明有以下优点:

(1)使蚀刻液等循环回收液系统实现自动调整浓度。

(2)使蚀刻液等有毒有害物质循环利用更为方便。

(3)使蚀刻液等循环回收液系统更加高效。

以上所述的本发明实施方式,并不构成对本发明保护范围的限定,任何在本发明的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的权利要求保护范围之内。



技术特征:

技术总结
本发明公开了一种蚀刻液浓度调整方法,包括步骤1:对于进行蚀刻液使用后的液体进行回收,得到回收液;步骤2:对回收液中的所有添加物使用浓度计进行浓度检测,得到各个添加物的浓度;步骤3:对回收液的体积使用液位计进行检测,得到回收液的体积;步骤4:对回收液添加含有各个添加物的调整溶液,各个添加物的溶剂相同,得到目标蚀刻液,本发明在使用蚀刻液后添加调整溶液,通过控制调整溶液的量,实现恢复蚀刻液浓度,使蚀刻液得到循环利用,减少污染,降低成本,而且添加的调整溶液的量很小。

技术研发人员:韦仁军;袁薇;张久军;马芳
受保护的技术使用者:苏州耀群净化科技有限公司
技术研发日:2017.02.12
技术公布日:2018.08.21
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