控制系统、计算机能够读取的记录介质及控制系统的方法与流程

本发明涉及对构成半导体制造装置的多个单元进行控制的控制系统、计算机能够读取的记录介质及该控制系统的方法。

背景技术：

半导体制造装置是能够执行包括晶片等基板的研磨、清洗、干燥在内的一系列的处理的复合装置。这样的半导体制造装置由处理单元、搬运单元等各种单元构成。

专利文献1：日本特开2005-85784号公报

专利文献2：日本特开2015-138786号公报

在半导体制造装置的动作调整作业中，公知有为了限定对半导体制造装置的单元进行操作的终端装置，而在终端装置中设定单元的操作权(参照专利文献1和专利文献2)。在这样的半导体制造装置中，针对一个终端装置设定针对处理单元和搬运单元这2个单元的操作权，调整基板的搬运动作。

然而，若一个终端装置具有针对处理单元和搬运单元这2个单元的操作权，则其他的作业者无法在所需以上较长的时间进行双方的单元的动作调整。其结果是，存在无法充分地提高半导体制造装置的动作调整作业的效率的问题。

为了提高作业效率，在对2个终端装置分配处理单元的操作权和搬运单元的操作权的情况下，例如在处理单元的动作调整中，有可能搬运单元进行用于将基板搬运到处理单元的动作。其结果是，无法排除产生搬运臂的碰撞或作业者的伤害等危险(问题)的可能性。

这样的问题并不是限定于半导体制造装置的问题，而是在具备多个单元的其他的复合装置中也会产生的问题。例如，在具备液体供给单元和使用从液体供给单元输送的液体对基板进行处理的基板处理单元的复合装置(例如，电镀装置)中，液体供给单元有可能在未预期的时机(timing)进行对基板处理单元供给液体的动作。

技术实现要素：

因此，本发明的目的在于提供控制系统，其能够高效地进行动作调整作业，并且安全地调整单元。

本发明的目的在于提供非暂时性的计算机能够读取的记录介质，该记录介质记录了能够高效地进行动作调整作业且能够安全地调整单元的控制系统的程序。

本发明的目的在于提供控制系统的方法，能够高效地进行动作调整作业、并且安全地调整单元。

在一个方式中，提供了控制系统，其构成半导体制造装置的多个单元进行控制，所述控制系统具备：控制装置；以及多个终端装置，能连接于所述控制装置，所述控制装置具有以下的联锁功能：不允许多个所述终端装置中的任两个终端装置同时操作所述多个单元中的任一个单元，所述多个单元包括：访问对象单元；以及调整对象单元，能访问所述访问对象单元，所述控制装置具备：存储装置，储存了处理程序；以及处理装置，根据所述处理程序执行运算，所述处理程序包括以下的指令：以没有将所述访问对象单元的排他性操作权赋予多个所述终端装置中的任一个终端装置为条件，对应从多个所述终端装置中的一个终端装置即对象终端装置发送给所述控制装置的、所述调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的请求，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。

在一个方式中，所述处理程序包括以下的指令：以将所述调整对象单元的排他性操作权赋予所述对象终端装置为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。

在一个方式中，所述多个单元还包括：第1调整对象单元，相当于所述调整对象单元；以及第2调整对象单元，所述处理程序包括以下的指令：以取得了所述第2调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的其他的终端装置不存在为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。

在一个方式中，多个所述终端装置分别具备：图像生成部，生成用于操作所述多个单元的单元操作图像；以及图像显示器，显示所述单元操作图像，所述单元操作图像包括表示是否请求所述访问操作权的访问操作权请求图标。

在一个方式中，所述访问操作权请求图标是按钮、复选框和组合框中的任一个，所述图像生成部具备：存储装置，储存了图像显示程序；以及理装置，根据所述图像显示程序而执行运算，所述图像显示程序包括以下的指令：以所述访问操作权的取得为条件，切换所述访问操作权请求图标的显示。

在一个方式中，所述单元操作图像包括表示是否请求所述调整对象单元的排他性操作权的排他性操作权请求图标，所述排他性操作权请求图标是按钮、复选框和组合框中的任一个，所述图像显示程序包括以下的指令：以所述排他性操作权的取得为条件，切换所述排他性操作权请求图标的显示。

在一个方式中，提供了计算机能够读取的记录介质，其是记录了对构成半导体制造装置的多个单元进行控制的控制系统的处理程序的非暂时性的计算机能够读取的记录介质，所述处理程序使计算机执行以下的处理：从所述控制系统所具备的多个终端装置中的一个终端装置即对象终端装置向控制装置请求所述多个单元所包括的调整对象单元对访问对象单元的访问操作权，以所述访问对象单元的排他性操作权没有向多个所述终端装置中的任一个终端装置赋予为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。

在一个方式中，使所述计算机执行以下的处理：以将所述调整对象单元的排他性操作权赋予所述对象终端装置为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。

在一个方式中，使所述计算机执行以下的处理：以取得了与相当于所述调整对象单元的第1调整对象单元不同的第2调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的其他的终端装置不存在为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。

在一个方式中，提供了控制系统的方法，对构成半导体制造装置的多个单元进行控制，从所述控制系统所具备的多个终端装置中的一个终端装置即对象终端装置向控制装置请求所述多个单元所包括的调整对象单元对访问对象单元的访问操作权，以没有将所述访问对象单元的排他性操作权赋予多个所述终端装置中的任一个终端装置为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。

在一个方式中，以将所述调整对象单元的排他性操作权赋予所述对象终端装置为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。

在一个方式中，以取得了与相当于所述调整对象单元的第1调整对象单元不同的第2调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的其他的终端装置不存在为条件，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。

在一个参考例中，提供了控制系统，其对构成半导体制造装置的多个单元进行控制，所述控制系统具备：控制装置；以及多个终端装置，能连接于所述控制装置，所述控制装置具有以下的联锁功能：不允许多个所述终端装置中的任两个终端装置同时操作所述多个单元中的任一个单元，所述多个单元包括：访问对象单元；以及调整对象单元，能访问所述访问对象单元，所述控制装置构成为以没有将所述访问对象单元的排他性操作权赋予多个所述终端装置中的任一个终端装置为条件，对应从多个所述终端装置中的一个终端装置即对象终端装置发送给所述控制装置的、所述调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的请求，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。

在一个参考例中，提供了控制系统，其对构成半导体制造装置的多个单元进行控制，所述控制系统具备：控制装置；以及多个终端装置，能连接于所述控制装置，所述控制装置具有以下的联锁功能：不允许多个所述终端装置中的任两个终端装置同时操作所述多个单元中的任一个单元，所述多个单元包括：访问对象单元；以及调整对象单元，能访问所述访问对象单元，所述控制装置具备：存储装置，储存了处理程序；以及处理装置，根据所述处理程序执行运算，所述处理程序使所述控制装置执行以下的动作：以没有将所述访问对象单元的排他性操作权赋予多个所述终端装置中的任一个终端装置为条件，对应从多个所述终端装置中的一个终端装置即对象终端装置发送给所述控制装置的、所述调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的请求，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置。

控制系统以没有将访问对象单元的排他性操作权赋予多个终端装置中的任一个终端装置为条件，将访问操作权赋予对象终端装置。因此，作业者能够高效地且安全地进行单元的动作调整作业。

附图说明

图1是示出半导体制造装置的一个实施方式的示意图。

图2是示出控制系统的结构的图。

图3是示出服务器装置的结构的示意图。

图4的(a)、图4的(b)和图4的(c)是示出终端装置的操作画面的图。

图5是示出主图标的显示的切换的图。

图6是示出单元操作图像的其他的实施方式的图。

图7是示出对象终端装置取得调整对象单元的排他性操作权时的控制装置的处理流程的一个实施方式的图。

图8是示出对象终端装置取得调整对象单元的排他性操作权时的控制装置的处理流程的其他的实施方式的图。

图9是示出终端装置与服务器装置之间的通信的图。

图10是示出对象终端装置取得调整对象单元的排他性操作权时的控制装置的处理流程的另一实施方式的图。

图11是示出对象终端装置取得访问操作权时的控制装置的处理流程的一个实施方式的图。

附图标记的说明

1…半导体制造装置；2…壳体；3…装载/卸载单元；4a、4b…研磨单元；5…清洗单元；10…控制装置；11…装载口；12…第1搬运单元；15…工作台；16…第2搬运单元；20…控制系统；25…服务器装置；26…序列发生器；30…操作画面；31、32、33…单元操作图像；40…显示装置；42…图像生成部；43…图像显示器；110…存储装置；111…主存储装置；112…辅助存储装置；120…处理装置；130…输入装置；132…记录介质读出装置；134…记录介质口；140…输出装置；141…显示器装置；142…打印装置；150…通信装置；t1、t2、t3…终端装置；ua、ub、uc…单元；mca、mcb、mcc…主图标(排他性操作权请求图标)；sca、scc…子图标(访问操作权请求图标)。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。

图1是示出半导体制造装置1的一个实施方式的示意图。能够高效地并且安全地调整半导体制造装置1的各单元的系统(以下，有时将其称为控制系统20)能够应用于图1所示的半导体制造装置1。

控制系统20不仅应用于半导体制造装置1，也可以同样地应用于具备多个单元的其他的装置。例如，控制系统20也能够应用于具备多个电镀单元和搬运单元的电镀装置。在一个实施方式中，电镀装置也可以具备液体供给单元以及使用从液体供给单元输送的液体来处理基板的基板处理单元。关于控制系统20的详细情况，后述说明。

如图1所示，半导体制造装置1是能够进行研磨晶片等基板并使其清洗和干燥的一系列的工序的复合装置。半导体制造装置1具备壳体2，壳体2的内部被多个间隔壁(未图示)划分成装载/卸载单元3、研磨单元4a、4b、清洗单元5。半导体制造装置1具备控制各单元(在本实施方式中为装载/卸载单元3、研磨单元4a、4b和清洗单元5)的动作的控制装置10。控制装置10配置在壳体2的内部。

装载/卸载单元3具备多个装载口11，该多个装载口11载置有在内部收容了多个晶片(基板)的晶片盒。与装载/卸载单元3邻接地配置有第1搬运单元12。与第1搬运单元12邻接地配置有工作台15。第1搬运单元12能够访问装载/卸载单元3和工作台15来搬运晶片。

研磨单元4a、4b是对晶片的表面进行化学机械性地研磨的单元。研磨单元4a、4b具有相同的结构。虽然未图示，研磨单元4a、4b分别具备：研磨台；顶环，其保持晶片，用于将晶片按压在研磨台上的研磨垫；以及研磨液供给喷嘴，其用于对研磨垫供给研磨液(浆料)。

与研磨单元4a、4b邻接地配置有第2搬运单元16。第2搬运单元16能够访问工作台15和研磨单元4a、4b而搬运晶片。

清洗单元5与研磨单元4a、4b邻接。清洗单元5是对研磨后的晶片进行清洗并使其干燥的单元。第1搬运单元12能够访问清洗单元5而搬运晶片。

对处理晶片的处理流程进行说明。第1搬运单元12将存在于装载/卸载单元3的晶片(未处理晶片)搬运到工作台15。第2搬运单元16将载置在工作台15上的晶片搬运到研磨单元4a、4b中的任一个。接收晶片的研磨单元对晶片的表面进行研磨。所研磨的晶片再次被第2搬运单元16搬运到工作台15。

第1搬运单元12将载置在工作台15上的晶片搬运到清洗单元5。清洗单元5对晶片进行清洗和干燥。干燥后的晶片被第1搬运单元12搬运到装载/卸载单元3。这样，按顺序进行晶片的研磨、清洗、干燥。

装载/卸载单元3、研磨单元4a、4b、工作台15和清洗单元5分别被称为处理单元。第1搬运单元12能够访问装载/卸载单元3、清洗单元5和工作台15。第2搬运单元16能够访问工作台15和研磨单元4a、4b。因此，搬运单元12、16分别能够访问处理单元。搬运单元12、16的动作由控制装置10控制。

如图1所示，半导体制造装置1具备控制系统20，该控制系统20对终端装置赋予用于排他性地操作一个单元的操作权。控制系统20搭载排他系统，该排他系统能够确保作业的安全性并且高效地执行作业。控制系统20具备：控制装置10；以及多个终端装置t1、t2、t3，其通过控制装置10而选择性地操作多个单元(在本实施方式中为处理单元和搬运单元)。

控制装置10组装在半导体制造装置1的内部，终端装置t1、t2、t3的一部分或者全部与半导体制造装置1的控制装置10可分离地连接。控制装置10具有如下的联锁功能：不允许终端装置t1、t2、t3中的任意两个同时地操作多个单元中的任一个。

单元是指用于执行某目的(方法的处理、晶片的搬运等)的设备(传感器、马达等)的集合体(工作台、处理室、搬运机器人等)。在本实施方式中，单元是上述处理单元和上述搬运单元的总称。

在本实施方式中，设置有数量少于单元的数量的终端装置。这些终端装置t1、t2、t3分别能够操作全部的单元中的任一个(在本实施方式中为装载/卸载单元3、研磨单元4a、4b、清洗单元5、第1搬运单元12、第2搬运单元16或者工作台15)。在本实施方式中，设置有3个终端装置，但终端装置的数量不限于本实施方式。

在半导体制造装置1的内部构建将控制装置10、处理单元3、4a、4b、5、15和搬运单元12、16连接的网络(未图示)。终端装置t1、t2、t3能够与该网络连接。因此，终端装置t1、t2、t3(和控制装置10)能够经由网络而与处理单元和搬运单元连接。作为终端装置t1、t2、t3的一例，列举个人计算机、移动终端装置等。

在本实施方式中，终端装置t1、t2、t3能够与一个装置(即，半导体制造装置1)连接。排他性操作权是允许一个单元的排他性的操作的权利。因此，若一个终端装置动态地取得一个单元的排他性操作权，则取得了排他性操作权的终端装置能够独占作为调整的对象的调整对象单元的操作。取得了排他性操作权的终端装置能够任意地解除调整对象单元的排他性操作权。

图2是示出控制系统20的结构的图。在图2中，为了使说明简单，对在壳体2的内部设置有单元ua、单元ub、单元uc的例子进行说明。在本实施方式中，单元ua、uc为处理单元，单元ub为搬运单元。单元ub能够访问单元ua和单元uc。

在一个实施方式中，也可以是单元ub是液体供给单元，单元ua、uc是使用从液体供给单元输送的液体而处理基板的基板处理单元。液体供给单元(即，单元ub)构成为通过液体供给线(未图示)而对基板处理单元(即，单元ua、uc)供给液体。在该情况下也是，单元ub能够访问单元ua和单元uc。在本说明书中，“访问”是指对某个单元带来物理性的影响的单元的动作。

如图2所示，控制装置10具备：与终端装置t1、t2、t3连接的服务器装置25；以及用于对单元ua、单元ub和单元uc的动作进行控制的序列发生器(例如，plc)26。

服务器装置25是安装有服务器处理程序的计算机(个人计算机)，该服务器处理程序进行装置参数、方法、任务等数据管理、对序列发生器26发出单元的操作指令、和/或对各终端装置通知单元的状态。后述的各单元的排他性操作权的调停(即，排他性操作权的分配)也由服务器处理程序执行。

在本实施方式中，服务器装置25由计算机构成。图3是示出服务器装置25的结构的示意图。服务器装置25具备：储存程序、数据等的存储装置110；根据储存于存储装置110的程序而进行运算的cpu(中央处理装置)或者gpu(图形处理单元)等处理装置120；用于将数据、程序和各种信息输入存储装置110的输入装置130；用于输出处理结果、处理后的数据的输出装置140；以及用于与网络或者局域网等通信网络连接的通信装置150。

在一个实施方式中，服务器装置25也可以不具备输入装置130和输出装置140。在该情况下，终端装置t1、t2、t3分别具有输入装置130和输出装置140的功能。

存储装置110具备：能够供处理装置120访问的主存储装置111、以及储存数据和程序的辅助存储装置112。主存储装置111为例如随机访问存储器(ram)，辅助存储装置112为硬盘驱动器(hdd)或者固态驱动器(ssd)等保存装置。

输入装置130具备键盘、鼠标，还具备用于从记录介质读出数据的记录介质读出装置132以及连接有记录介质的记录介质口134。记录介质是作为非暂时性的有形物的计算机能够读取的记录介质，例如为光盘(例如，cd-rom、dvd-rom)、半导体存储器(例如，usb闪存驱动器、存储卡)。作为记录介质读出装置132的例子，列举cd-rom驱动器、dvd-rom驱动器等光学驱动器、存储器读取器。作为记录介质口134的例子，列举usb端口。存储于记录介质的程序和/或数据经由输入装置130被导入服务器装置25，储存于存储装置110的辅助存储装置112。输出装置140具备显示器装置141、打印装置142。

图4的(a)是示出终端装置t1的操作画面30的图，图4的(b)是示出终端装置t2的操作画面30的图，图4的(c)是示出终端装置t3的操作画面30的图。如图4的(a)至图4的(c)所示，在终端装置t2、t3各自的操作画面30上显示与终端装置t1的操作画面30相同的图像。因此，以下对终端装置t1的操作画面30上显示的图像进行说明。

在终端装置t1的操作画面30上显示用于操作单元ua的单元操作图像31、用于操作单元ub的单元操作图像32、以及用于操作单元uc的单元操作图像33。这些单元操作图像31、32、33是用户接口。在本实施方式中，单元操作图像31、32、33是图形用户界面(gui)。

在终端装置t1、t2、t3分别安装有用于控制半导体制造装置1所具备的装置的程序(装置控制程序)。在终端装置t1、t2、t3分别安装有图像显示程序，该图像显示程序使用于取得单元ua、单元ub和单元uc的排他性操作权的多个主图标(排他性操作权请求图标)mca、mcb、mcc显示在终端装置t1、t2、t3各自的操作画面30上。因此，各终端装置t1、t2、t3在该操作画面30上显示多个主图标mca、mcb、mcc。

在控制装置10安装有与上述装置控制程序和图像显示程序相同的程序。如图1所示，半导体制造装置1具备与控制装置10连接的显示装置40。作业者也可以通过显示装置40而分别对单元ua、单元ub和单元uc进行操作。

在本实施方式中，主图标mca显示在单元操作图像31的一部分，主图标mcb显示在单元操作图像32的一部分，主图标mcc显示在单元操作图像33的一部分。

在图4的(a)至图4的(c)所示的实施方式中，主图标mca、mcb、mcc分别为具有键标记的按钮。主图标mca、mcb、mcc也可以具有用于相互识别的标识符。作为标识符的一例，能够列举按照每个单元而预先定义的数值、位信息、或者文字列。通过设置标识符，能够提高单元的维护性和安全性。

图5是示出主图标mca的显示的切换的图。主图标mca的切换的图像与主图标mcb、mcc的切换的图像相同。因此，在图5中，省略主图标mcb、mcc的切换的图像的图示。

如图5所示，终端装置t1、t2、t3分别以调整对象单元的排他性操作权的取得为条件，而切换所选择的主图标mca的显示。若取得调整对象单元的排他性操作权，则主图标mca从上锁的图像切换成开锁的图像。

终端装置t1、t2、t3分别具备：图像生成部42，其生成用于分别操作单元ua、单元ub和单元uc的单元操作图像；以及图像显示器43，其显示图像生成部42所生成的图像(参照图2)。上述主图标mca、mcb、mcc和后述的子图标sca、scc显示在图像显示器43的操作画面30上。虽然未图示，显示装置40还具备：图像生成部，其生成用于分别操作单元ua、单元ub和单元uc的单元操作图像；以及图像显示器，其显示图像生成部所生成的图像。

图像生成部42具备：储存了上述图像显示程序的存储装置(相当于上述存储装置110)；以及根据图像显示程序而执行运算的处理装置(相当于上述处理装置120)。图像生成部42以调整对象单元的排他性操作权的取得为条件而切换主图标mca的显示。

图6是示出单元操作图像31、32、33的其他的实施方式的图。如图6所示，主图标mca、mcb、mcc分别也可以是复选框或者组合框。这样，主图标mca、mcb、mcc分别以能够视觉确认的状态显示在操作画面30上。因此，作业者能够一看就容易地识别排他性操作权的取得的有无。

图7是示出对象终端装置取得调整对象单元的排他性操作权时的控制装置10的处理流程的一个实施方式的图。如图7所示，终端装置t1、t2、t3中的作为对象的终端装置(对象终端装置)向控制装置10(更具体而言为服务器装置25)请求取得与从显示在操作画面30上的多个主图标mca、mcb、mcc中选择的一个主图标对应的调整对象单元的排他性操作权。更具体而言，从对象终端装置向控制装置10发送请求信号。

控制装置10(更具体而言为服务器装置25)根据电储存于存储装置110的程序而进行动作。控制装置10若接收来自对象终端装置的请求(请求信号)，则判定对象终端装置是否已经取得调整对象单元的排他性操作权(参照步骤s101)。在对象终端装置取得调整对象单元的排他性操作权的情况下(参照步骤s101的“是”)，控制装置10确定调整对象单元的排他性操作权的取得成功，将允许信号发送给对象终端装置。这样，控制装置10结束该处理。

在对象终端装置未取得调整对象单元的排他性操作权的情况下(参照步骤s101的“否”)，控制装置10判定对象终端装置是否取得调整对象单元以外的其他的单元的排他性操作权(参照步骤s102)。在对象终端装置未取得其他的单元的排他性操作权的情况下(参照步骤s102的“否”)，控制装置10确定调整对象单元的排他性操作权的取得成功。

在对象终端装置取得其他的单元的排他性操作权的情况下(参照步骤s102的“是”)，控制装置10解除已经取得的其他的单元的排他性操作权(参照步骤s103)，确定调整对象单元的排他性操作权的取得成功。

这样，控制装置10以满足请求了排他性操作权的取得的对象终端装置未取得多个单元的排他性操作权中的任一个、或者解除已经取得的排他性操作权的必要条件为条件，而允许调整对象单元的排他性操作权的取得。根据本实施方式，对象终端装置能够流动地取得一个对象单元的排他性操作权。

如图4和图6所示，在操作画面30上显示多个单元操作图像。显示在操作画面30上的图像不限于多个单元操作图像，有时装置参数图像、方法设定图像也显示在操作画面30上。这样，在显示了所有的图像的状态下，在作业者执行特定的单元的操作的情况下，有可能由于图像的选择错误而进行不同的单元的操作。根据本实施方式，对象终端装置取得一个对象单元的排他性操作权。因此，即使作业者进行了图像的选择错误，也不会产生进行不同的单元的操作的这样的问题。

用于使服务器装置25执行上述的步骤的程序存储于作为非暂时性的有形物的计算机能够读取的记录介质，经由记录介质而提供给服务器装置25。或者，程序也可以经由网络或者局域网等通信网络而提供给服务器装置25。

关于调整对象单元的排他性操作权的取得，以图6为例进行说明。若作业者选择(例如，用鼠标点击)终端装置t1的单元操作图像31的主图标mca，则终端装置t1向控制装置10请求单元ua的排他性操作权。

在图6中，终端装置t1未取得单元ua、ub、uc的排他性操作权中的任一个。因此，控制装置10允许终端装置t1取得单元ua的排他性操作权。若终端装置t1取得单元ua的排他性操作权，则控制装置10在终端装置t1的单元操作图像31上切换主图标mca的显示。

图8是示出对象终端装置取得调整对象单元的排他性操作权时的控制装置10的处理流程的其他的实施方式的图。控制装置10也可以通过执行图8所示的多个步骤而允许调整对象单元的排他性操作权的取得。

如图8所示，控制装置10执行与图7的步骤s101相同的步骤(参照步骤s201)，在对象终端装置取得调整对象单元的排他性操作权的情况下(参照步骤s201的“是”)，控制装置10确定调整对象单元的排他性操作权的取得成功。

在对象终端装置未取得调整对象单元的排他性操作权的情况下(参照步骤s201的“否”)，控制装置10判定是否存在取得了调整对象单元的排他性操作权的其他的终端装置(参照步骤s202)。在存在取得了调整对象单元的排他性操作权的其他的终端装置的情况下(参照步骤s202的“是”)，控制装置10确定调整对象单元的排他性操作权的取得失败。这样，控制装置10结束该处理。

在不存在取得了调整对象单元的排他性操作权的其他的终端装置的情况下(参照步骤s202的“否”)，控制装置10执行与图7的步骤s102、s103相同的步骤(参照步骤s203、s204)，确定调整对象单元的排他性操作权的取得成功。

能够由同一终端装置取得排他性操作权的单元的数量为一个。即，一个终端装置能够仅取得一个单元的排他性操作权。若以图6为例进行说明，在终端装置t1取得单元ua的排他性操作权的情况下，终端装置t1无法取得单元ub和单元uc的排他性操作权(参照图6的实线所围起的区域)。

能够对某个单元进行排他性地操作的终端装置为一个。因此，控制系统20能够防止多个终端装置对一个单元的同时操作。若以图6为例进行说明，以在终端装置t1取得单元ua的排他性操作权的情况下，不存在取得单元ua的排他性操作权的其他的终端装置t2、t3为条件，终端装置t1能够取得单元ua的排他性操作权(参照图6的虚线所围起的区域)。

图9是示出终端装置与服务器装置25之间的通信的图。如图9所示，若作业者对调整对象单元的排他性操作权的取得请求进行操作，则对象终端装置向服务器装置25发送排他性操作权的取得请求(请求信号)。若服务器装置25接收排他性操作权的取得请求，则判定是否能够取得排他性操作权。在允许排他性操作权的取得的情况下，服务器装置25向终端装置发送表示该内容的信号(允许信号)。在不允许排他性操作权的取得的情况下，服务器装置25向终端装置发送表示该内容的信号(不允许信号)。终端装置若接收上述允许信号则取得排他性操作权，若接收上述不允许信号则未取得排他性操作权。

在一个实施方式中，无法取得调整对象单元的排他性操作权的对象终端装置能够通过控制装置10，针对取得了调整对象单元的排他性操作权的其他的终端装置，执行排他性操作权的取得请求。若对象终端装置执行排他性操作权的取得请求，则控制装置10针对取得了调整对象单元的排他性操作权的其他的终端装置，请求确认是否允许由对象终端装置取得排他性操作权。在其他的终端装置允许由对象终端装置取得排他性操作权的情况下，对象终端装置取得调整对象单元的排他性操作权。在其他的终端装置不允许由对象终端装置取得排他性操作权的情况下，对象终端装置未取得调整对象单元的排他性操作权。

在终端装置t1取得单元ua的排他性操作权、终端装置t2取得单元ub的排他性操作权、终端装置t3取得单元uc的排他性操作权的情况下，产生如下的问题。在单元ub为搬运单元的情况下，单元ub能够访问单元ua和单元uc双方。因此，在单元的动作调整时，若作业者利用终端装置t2使单元ub访问单元ua(或者单元uc)，则例如单元ub的搬运机器人的基板搬运手有可能与单元ua(或者单元uc)的基板处理工作台碰撞。或者，在单元ua(或者单元uc)中作业的作业者有可能处于危险中。

因此，控制系统20具有用于取得调整对象单元的访问操作权的结构。具体而言，终端装置t1、t2、t3分别在操作画面30上显示用于取得单元ub对单元ua的访问操作权的子图标(访问操作权请求图标)sca和用于取得对单元uc的访问操作权的子图标(访问操作权请求图标)scc(参照图4和图6)。在本实施方式中，子图标sca、scc显示于单元操作图像32的一部分。另外，在图4中，子图标scc隐藏在单元操作图像33的背面。

子图标sca、scc各自可以是按钮，也可以是复选框或者组合框。子图标sca、scc各自可以以与主图标mca、mcb、mcc分别相同的方式显示、或者也可以以不同的方式显示。

访问操作权是允许搬运单元对其他的单元(处理单元)的访问的权利。因此，若某个终端装置取得访问操作权，则其他的终端装置无法取得作为访问操作权的对象的访问对象单元的排他性操作权。换言之，在其他的终端装置取得访问对象单元的排他性操作权的情况下，对象终端装置无法取得搬运单元对访问对象单元的访问操作权。

通过这样的结构，取得了访问操作权的终端装置能够使搬运单元安全地访问处理单元。取得了访问操作权的终端装置能够任意地解除访问操作权。另外，取得访问操作权的情况下的终端装置与服务器装置25之间的通信与图9所示的实施方式相同，因此省略其详细的说明。

图10是示出对象终端装置取得调整对象单元的排他性操作权时的控制装置10的处理流程的另一实施方式的图。控制装置10也可以通过执行图10所示的多个步骤而允许调整对象单元的排他性操作权的取得。

如图10所示，控制装置10执行与图7的步骤s101相同的步骤(参照步骤s301)，在对象终端装置取得调整对象单元的排他性操作权的情况下(参照步骤s301的“是”)，控制装置10确定调整对象单元的排他性操作权的取得成功。

在对象终端装置未取得调整对象单元的排他性操作权的情况下(参照步骤s301的“否”)，控制装置10执行与图8的步骤s202相同的步骤(参照步骤s302)，在存在取得了调整对象单元的排他性操作权的其他的终端装置的情况下(参照步骤s302的“是”)，控制装置10确定调整对象单元的排他性操作权的取得失败。

在不存在取得了调整对象单元的排他性操作权的其他的终端装置的情况下(参照步骤s302的“否”)，控制装置10判定是否存在取得了对调整对象单元的访问操作权的其他的终端装置(参照步骤s303)。典型地，在搬运单元能够访问的访问对象单元为调整对象单元的情况下，判定取得搬运单元的排他性操作权的其他的终端装置是否取得对访问对象单元的访问操作权。在存在取得了对调整对象单元的访问操作权的其他的终端装置的情况下(参照步骤s303的“是”)，控制装置10确定调整对象单元的排他性操作权的取得失败。

在不存在取得对调整对象单元的访问操作权的其他的终端装置的情况下(参照步骤s303的“否”)，控制装置10判定对象终端装置是否取得其他的单元的排他性操作权(参照步骤s304)。在对象终端装置未取得其他的单元的排他性操作权的情况下(参照步骤s304的“否”)，控制装置10确定调整对象单元的排他性操作权的取得成功。

在对象终端装置取得其他的单元的排他性操作权的情况下(参照步骤s304的“是”)，控制装置10解除已经取得的其他的单元的排他性操作权(参照步骤s305)，而确定调整对象单元的排他性操作权的取得成功。

在对象终端装置取得了属于其他的单元的已经取得的访问操作权的情况下，控制装置10解除已经取得的访问操作权，而确定调整对象单元的排他性操作权的取得成功(参照步骤s305)。

这样，在取得调整对象单元的排他性操作权的情况下，需要不存在取得对调整对象单元的访问操作权的其他的终端装置。若以图6为例进行说明，在终端装置t1取得单元ua的排他性操作权的情况下，需要终端装置t2、t3都没有取得单元ub对单元ua的访问操作权(参照图6的虚线的箭头)。如果按照图1的例子进行说明，在对象终端装置取得清洗单元5的排他性操作权时、即在清洗单元为调整对象单元的情况下，若任一终端装置取得第1搬运单元12对清洗单元5访问的访问操作权，则对象终端装置无法取得清洗单元5的排他性操作权。

图11是示出对象终端装置取得访问操作权时的控制装置10的处理流程的一个实施方式的图。控制装置10通过执行图11所示的多个步骤而允许调整对象单元对访问对象单元的访问操作权的取得。

如图11所示，对象终端装置向控制装置10请求取得与从显示在操作画面30上的子图标sca、scc选择的至少一个子图标对应的、调整对象单元(即，作为调整的对象的搬运单元)对作为访问的对象的单元(即，访问对象单元)的访问操作权。以下，在本说明书中，有时将作为调整的对象的搬运单元称为对象搬运单元。

若以图4或者图6为例进行说明，作业者选择对象终端装置的单元操作图像32的子图标sca或者scc(例如，用鼠标点击)，对象终端装置向控制装置10请求对所选择的访问对象单元的访问操作权。

控制装置10若接收来自对象终端装置的请求，则判定对象终端装置是否已经取得调整对象单元的排他性操作权(参照步骤s401)。在对象终端装置无法取得调整对象单元的排他性操作权的情况下(参照步骤s401的“否”)，控制装置10确定访问操作权的取得失败。在该情况下，作为取得访问操作权的前提，控制装置10自动地执行图8或者图10所示的处理流程，而取得对象终端装置的调整对象单元的排他性操作权。或者，作业者为了取得调整对象单元的排他性操作权，而选择与调整对象单元对应的主图标，使控制装置10执行图8或者图10所示的处理流程。

在对象终端装置取得调整对象单元的排他性操作权的情况下(参照步骤s401的“是”)，控制装置10判定对象终端装置是否已经取得调整对象单元对访问对象单元的访问操作权(参照步骤s402)。在对象终端装置取得访问操作权的情况下(参照步骤s402的“是”)，控制装置10确定访问操作权的取得成功。

在对象终端装置未取得访问操作权的情况下(参照步骤s402的“否”)，控制装置10判定是否存在取得了访问对象单元的排他性操作权的其他的终端装置(参照步骤s403)。在存在取得该排他性操作权的其他的终端装置的情况下(参照步骤s403的“是”)，控制装置10确定访问操作权的取得失败。

在不存在取得该排他性操作权的其他的终端装置的情况下(参照步骤s403的“否”)，控制装置10判定是否存在取得了其他的调整对象单元对访问对象单元的访问操作权的其他的终端装置(参照步骤s404)。在存在取得该访问操作权的其他的终端装置的情况下，控制装置10确定访问操作权的取得失败(参照步骤s404的“是”)。

在不存在取得访问操作权的其他的终端装置的情况下(参照步骤s404的“否”)，控制装置10确定访问操作权的取得成功。

在图1的例子中对用于取得上述访问操作权的处理流程进行说明。首先，假定调整对象单元为搬运单元12，访问对象单元为工作台15、存在取得搬运单元16的排他性操作权的终端装置的情况。在该情况下，在取得搬运单元16的排他性操作权的终端装置还取得对工作台15的访问操作权的情况下，对象终端装置无法取得搬运单元12对工作台15访问的访问操作权。由此，能够避免调整搬运单元12的作业者和调整搬运单元16的作业者同时进行对工作台15的访问动作而产生的问题(碰撞等)。

在取得调整对象单元(即，对象搬运单元)对访问对象单元的访问操作权的情况下，需要不存在取得访问对象单元的排他性操作权的终端装置。若以图6为例进行说明，在终端装置t1或者终端装置t3取得单元uc的排他性操作权的情况下，终端装置t2无法取得单元ub对单元uc的访问操作权(参照图6的点划线的箭头)。换言之，在终端装置t2取得单元ub对单元uc的访问操作权的情况下，即使终端装置t1或者终端装置t3向控制装置10请求单元uc的排他性操作权的取得，控制装置10也不允许终端装置t1或者终端装置t3取得单元uc的排他性操作权。

在取得访问操作权的情况下，需要取得访问操作权所属的搬运单元(即，对象搬运单元)的排他性操作权。若以图6为例进行说明，在终端装置t2取得单元ub对单元uc的访问操作权的情况下，在控制装置10执行图11所示的处理流程和图8(或者图10)所示的处理流程而单元ub的排他性操作权成功的情况下，终端装置t2取得单元ub对单元uc的访问操作权(参照图6的实线的箭头)。

对象终端装置也可以取得多个访问操作权。在图6所示的实施方式中，由于终端装置t1取得单元ua的排他性操作权，因此终端装置t2无法取得单元ub对单元ua的访问操作权。在终端装置t1未取得单元ua的排他性操作权的情况下，终端装置t2不仅取得单元ub对单元uc的访问操作权，而且还能够取得单元ub对单元ua的访问操作权。

对象终端装置以访问操作权的取得为条件，切换所选择的子图标的显示。即，图像生成部42(参照图2)以访问操作权的取得为条件，切换子图标的显示。若取得访问操作权，则子图标从上锁的图像切换成开锁的图像(参照图5)。

上述的实施方式以本领域技术人员能够实施本发明为目的来记载。上述实施方式的各种变形例对于本领域技术人员来说，是显而易见的，本发明的技术性思想也可以应用于其他的实施方式。因此，本发明不限于所记载的实施方式，应该是按照本发明的保护范围所定义的技术性思想的最宽范围。