一种UVW对位平台的制作方法

一种uvw对位平台
技术领域
1.本发明涉及对位平台技术领域，尤其涉及一种uvw对位平台。


背景技术：

2.随着社会的不断进步和科技的快速发展，对许多产品的加工精度等要求也越来越高，因此对相应的加工设备的要求也越来越高。目前，在半导体、液晶显示器制造、高精密贴合或检测等设备中都需要用到对位装置，对位装置能够精确调整待加工产品的位置，对位装置的对准精度对于产品的加工质量具有直接的影响，比如uvw对位平台等，uvw对位平台通常通过对定位参照点的识别，采用亚像素级的图像对位算法计算出被测物体在xyθ方向的偏移量，并自动控制移动平台反向移动相应的移动量，纠正被测物体的位置，实现精确自动对准定位。现有的uvw对位平台结构复杂，体积大，占用空间大，驱动装置一般设置在平台的下方，在有高真空要求的使用场合，走线困难，密封性不足。
3.因此，亟需一种uvw对位平台来解决现有技术中的问题。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种uvw对位平台，能够提升真空罩的密封性，降低了uvw对位平台的高度，减小了uvw对位平台的体积。
5.为达此目的，本发明采用以下技术方案：
6.一种uvw对位平台，包括：
7.基座，所述基座上罩设有真空罩；
8.移动机构，四个所述移动机构呈矩形排布于所述基座上，每个所述移动机构的输出端均能沿x方向或沿y方向移动；
9.旋转支撑组件，每个所述移动机构的所述输出端均与一个所述旋转支撑组件的输入端连接；
10.工作台，与所述旋转支撑组件的输出端连接，所述工作台能够通过所述旋转支撑组件相对于所述移动机构转动；
11.驱动机构，设置于所述真空罩的外部，所述驱动机构包括第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构，所述第一驱动机构、所述第二驱动机构和所述第三驱动机构的输出端依次与三个所述移动机构的输入端连接，且所述第一驱动机构与所述第二驱动机构平行设置且位于所述基座的同侧，所述第一驱动机构与所述第三驱动机构垂直设置，所述第一驱动机构包括第一驱动电机、第一传动组件、第一丝杠螺母组件和第一传动轴，所述第一驱动电机的输出端与所述第一传动组件的输入端连接，所述第一传动组件的输出端与所述第一丝杠螺母组件输入端连接，所述第一丝杠螺母组件的输出端通过所述第一传动轴与所述移动机构的输入端连接，所述第一驱动机构被配置为驱动所述工作台沿x方向移动，所述第二驱动机构被配置为驱动所述工作台沿所述x方向移动，所述第三驱动机构被配置为驱动所述工作台沿所述y方向移动。
12.可选地，所述第一传动组件包括主动带轮、从动带轮和传动带，所述主动带轮与所述第一驱动电机的输出轴同轴固定，所述从动带轮与所述第一丝杠螺母组件的输入端连接，所述从动带轮通过所述传动带与所述主动带轮传动连接。
13.可选地，所述第一丝杠螺母组件包括丝杠、螺母、滑块和x轴直线导轨，所述丝杠与所述从动带轮连接，所述螺母与所述丝杠螺纹连接，所述滑块与所述螺母固定连接且与所述x轴直线导轨滑动连接，所述第一传动轴一端与所述滑块连接，另一端与所述移动机构的输入端连接。
14.可选地，所述第一驱动机构还包括导轨固定座，所述导轨固定座与所述真空罩连接，所述导轨固定座上开设有安装槽，所述x轴直线导轨设置于所述安装槽内。
15.可选地，所述移动机构包括固定板、x向楔形滑轨、移动板、y向楔形滑轨和支撑板，所述固定板上开设有第一滑槽，所述移动板上开设有第二滑槽，所述x向楔形滑轨与所述移动板固定连接且与所述第一滑槽滑动连接，所述y向楔形滑轨与所述支撑板固定连接且与所述第二滑槽滑动连接。
16.可选地，所述旋转支撑组件包括旋转轴，所述旋转轴一端与所述工作台连接，另一端与所述支撑板转动连接。
17.可选地，所述旋转支撑组件还包括轴承，所述轴承的外圈与所述支撑板连接，所述轴承的内圈与所述旋转轴连接。
18.可选地，所述第一驱动机构还包括检测组件，所述检测组件被配置为检测所述工作台的运动位置。
19.可选地，所述检测组件包括触头和两个限位传感器，两个所述限位传感器沿所述x轴直线导轨的长度方向相对设置于所述x轴直线导轨上，所述触头设置于所述滑块上。
20.可选地，所述检测组件还包括原点传感器，所述原点传感器设置于两个所述限位传感器之间。
21.有益效果：
22.本发明提供的uvw对位平台，通过在基座和工作台之间设置移动机构和旋转支撑组件，在基座上罩设真空罩，驱动机构设置在真空罩的外部，既能够根据工作需求在不同的方向对工作台进行调节，同时保证了真空罩的密封性，降低了uvw对位平台的高度，减小了uvw对位平台的体积，提高了uvw对位平台的使用性能。
附图说明
23.图1是本发明提供的uvw对位平台的结构示意图；
24.图2是本发明提供uvw对位平台的剖视图。
25.图中：
26.100、基座；
27.200、真空罩；210、密封条；
28.300、移动机构；310、固定板；320、移动板；330、支撑板；340、x向楔形滑块；350、y向楔形滑块；
29.400、旋转支撑组件；
30.500、工作台；
31.600、第一驱动机构；610、第一驱动电机；620、第一传动组件；630、第一丝杠螺母组件；631、滑块；632、x轴直线导轨；640、第一传动轴；650、导轨固定座；
32.700、第二驱动机构；
33.800、第三驱动机构；
34.900、检测组件；910、限位传感器；920、触头；930、原点传感器。
具体实施方式
35.下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
36.在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
37.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
38.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
39.如图1和图2所示，本实施例提供了一种uvw对位平台，包括基座100、移动机构300、旋转支撑组件400、工作台500和驱动机构，基座100上罩设有真空罩200，真空罩200由下罩体和上罩体组成，下罩体和上罩体之间通过密封条210密封，本实施例仅展示了真空罩200的下罩体，真空罩200的上罩体未示出。工作台500和基座100相对设置，四个移动机构300呈矩形排布在基座100上，每个移动机构300的输出端均能沿x方向(图1中x所指的方向)或者沿y方向(图1中y所指的方向)移动，每个移动机构300的输出端均与一个旋转支撑组件400的输入端连接，每个旋转支撑组件400的输出端均与工作台500连接，从而通过四个支点对工作台500形成稳定支撑，能够提高工作台500的承重能力。驱动机构包括第一驱动机构600、第二驱动机构700和第三驱动机构800，第一驱动机构600、第二驱动机构700和第三驱动机构800的输出端依次与三个移动机构300的输入端连接，并且第一驱动机构600与第二驱动机构700平行设置且位于基座100的同侧，第一驱动机构600与第三驱动机构800垂直设置，第一驱动机构600包括第一驱动电机610、第一传动组件620、第一丝杠螺母组件630和第一传动轴640，第一驱动电机610的输出端与第一传动组件620的输入端连接，第一传动组件620的输出端与第一丝杠螺母组件630输入端连接，第一丝杠螺母组件630的输出端通过第
一传动轴640与移动机构300的输入端连接，第一驱动机构600被配置为驱动工作台500沿x方向移动，第二驱动机构700被配置为驱动工作台500沿x方向移动，第三驱动机构800被配置为驱动工作台500沿y方向移动。
40.本发明提供的uvw对位平台，通过在基座100和工作台500之间设置移动机构300和旋转支撑组件400，在基座100上罩设真空罩200，并且将第一驱动机构600、第二驱动机构700、第三驱动机构800均设置在真空罩200的外部，降低了走线的难度，既能够根据工作需求在不同的方向对工作台500进行调节，同时保证了真空罩200的密封性，降低了uvw对位平台的高度，减小了uvw对位平台的体积，提高了uvw对位平台的使用性能。并且，通过将第一驱动机构600、第二驱动机构700、第三驱动机构800均设置在真空罩200的外部，能够提高uvw对位平台，x方向和/或y方向的移动距离，并且能够增大工作台500的偏转角度，提高该uvw对位平台的实用性。
41.优选地，第一传动组件620包括主动带轮、从动带轮和传动带，主动带轮与第一驱动电机610的输出轴同轴固定，从动带轮与第一丝杠螺母组件630的输入端连接，从动带轮通过传动带与主动带轮传动连接，通过设置第一传动带轮，能够使第一驱动电机610设置在第一丝杠螺母组件630的下端，减小整个uvw对位平台的宽度，减小uvw对位平台的横向占用空间。
42.优选地，如图1和图2所示，第一丝杠螺母组件630包括丝杠、螺母、滑块631和x轴直线导轨632，丝杠与从动带轮连接，螺母与丝杠螺纹连接，滑块631与螺母固定连接且与x轴直线导轨632滑动连接，第一传动轴640一端与滑块631连接，另一端与移动机构300的输入端连接，通过滑块631沿着x轴直线导轨632移动，能够使移动机构300的输出端沿x方向移动，并且x轴直线导轨632能够为滑块631提供导向作用，保证工作台500移动更加平稳。本实施例中采用第一丝杠螺母组件630进行动力传输，传动效率高，移动平稳，能够保证uvw对位平台的移动精度。
43.优选地，如图1所示，第一驱动机构600还包括导轨固定座650，导轨固定座650通过螺栓固定在真空罩200上，导轨固定座650上开设有安装槽，x轴直线导轨632设置于安装槽内，保证对x轴直线导轨632进行稳定支撑，本实施例中第一驱动电机610固定在x轴纸箱导轨上。
44.优选地，如图1和图2所示，移动机构300包括固定板310、x向楔形滑轨、移动板320、y向楔形滑轨和支撑板330，固定板310通过螺栓固定在基座100上，固定板310上表面开设有第一滑槽，移动板320上表面开设有第二滑槽，x向楔形滑轨与移动板320下表面固定连接且与第一滑槽滑动连接，y向楔形滑轨与支撑板330下表面固定连接且与第二滑槽滑动连接，从而实现支撑板330即能够沿x方向移动，还能够沿y方向移动。
45.具体地，如图2所示，本实施例中在移动板320下表面设置两对x向楔形滑轨，每对x向楔形滑轨均包括两根x向楔形滑轨，支撑板330的下表面设置两对y向楔形滑轨，每对y向楔形滑轨均包括两根y向楔形滑轨，相对应的在固定板310上设置对应数量的第一滑槽，移动板320的上面设置对应数量的第二滑槽，保证每根x向楔形滑轨均与一个第一滑槽滑动连接，每根y向楔形滑轨均与一个第二滑槽滑动连接。
46.优选地，旋转支撑组件400包括旋转轴，旋转轴一端与工作台500连接，另一端与支撑板330转动连接。
47.进一步地，旋转支撑组件400还包括轴承，轴承的外圈与支撑板330连接，轴承的内圈与旋转轴连接，第一驱动机构600、第二驱动机构700和第三驱动机构800协同作用使工作台500旋转时，旋转轴与支撑板330之间的摩擦力，保证工作台500旋转更加平稳。
48.优选地，如图1所示，第一驱动机构600还包括检测组件900，检测组件900用于检测工作台500的运动位置，防止工作台500运动过位，造成移动机构300损坏。
49.可选地，检测组件900包括触头920和两个限位传感器910，两个限位传感器910沿x轴直线导轨632的长度方向相对设置于x轴直线导轨632上，触头920设置于滑块631上，触头920移动到限位传感器910的位置能够触发该限位传感器910，本实施例中的两个限位传感器910能够检测工作平台沿x方向运动的极限位置，防止工作平台移动过位造成移动机构300损坏。
50.可选地，检测组件900还包括原点传感器930，原点传感器930设置于两个限位传感器910之间，原点传感器930能够在对位之前检测工作台500是否在原点，以保证uvw对位平台对位的精度，
51.需要说明的是，本实施例中第二驱动机构700与第一驱动机构600的结构完全一样，本实施例中对第二驱动机构700的具体结构不作赘述，本实施例中第三驱动机构800与第一驱动机构600基本一样，仅是将第一驱动机构600的x轴直线导轨632替换成y轴直线导轨即可，本实施例对第三驱动机构800的具体结构及连接关系不作赘述。
52.显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。