用于单臂多组合设备的调度和最优缓冲空间构造
【专利说明】
[0001 ]优先权
[0002] 本申请根据35U.S.C. §119要求2015年1月12日提交的美国临时专利申请No. 62/ 102,108的优先权，所述专利申请的公开在此以其全部内容通过参引结合到本文中。
技术领域
[0003] 本发明涉及一种用最优缓冲空间构造和调度单臂多组合设备的方法。
【背景技术】
[0004] 说明书中引用了以下参考文献。这些参考文献的公开以其全部内容用过参引结合 到本文中。
[0005] 参考文献列表
[0006] W.K.Chan、J.G.Yi和S.W.Ding的"Optimal Scheduling of Multi-cluster Tools with Constant Robot Moving Times, Part I: Two-Cluster Analysis''，自动化科学与工 程的IEEE会刊，2011a，编号ρρ· 5-16,第8卷。
[0007] W.Κ·Chan、J·G·Yi、S.W.Ding和D·Ζ·Song的"Optimal Scheduling of Multi-cluster Tools with Constant Robot Moving Times，Part II:Tree-Like Topology Configurations"，自动化科学与工程的IEEE会刊，201 lb，编号pp. 17-28，第8卷。
[0008] M.Dawande、C.Sriskandarajah和S.Sethi的"On throughput maximization in constant travel-time robotic cells"，制造和服务操作杂志，2002,编号no.4,296_312， 第4卷。
[0009] S.W.Ding、J.G.Yi 和Μ · T · Zhang的"Mul t ic luster Tools Scheduling: an Integrated Event Graph and Network Model Approach"，半导体制造的IEEE会刊，2006， 编号 pp.339-351，第 19 卷。
[0010] I.Drobouchevitch、S.P.Sethi和C.Sriskandarajah的 "Scheduling Dual Gripper Robotic Cells:0ne_unit Cycles"，欧洲运筹学杂志，2006,编号pp.598-631，第 171 卷。
[0011 ] D.Jevtic的"Method and Apparatus for Managing Scheduling a Multiple Cluster Tool"，欧洲专利，2001，第 1，132,792(A2)号。
[0012] D.Jevtic和S.Venkatesh的"Method and Apparatus for Scheduling Wafer Processing within a Multiple Chamber Semiconductor Wafer Processing Tool Having a Multiple Blade Robot"，美国专利，2001，第6,224,638号。
[0013] J.-H.Kim、T.-E.Lee、H._Y.Lee和D.-B.Park的"Scheduling analysis of timed-constrained dual-armed cluster tools"，半导体制造的IEEE会刊，2003,编号no.3,521-534,第 16 卷。
[0014] T.-E.Lee、H._Y.Lee和Y.-H.Shin的"Workload balancing and scheduling of a single-armed cluster tool"，2004年出版的澳大利亚黄金海岸APIEMS会议的第5期学报， 1-15 页。
[0015] T,-E.Lee和S.-H.Park的"An extended event graph with negative places and tokens for timed window constraints"，自动化科学与工程的IEEE 会刊，2005,编号 ηο·4,319-332,第 2 卷。
[0016] Μ · - J · Lopez 和 S · _C · Wood 的 "Sy s t ems of mu 11 i ρ 1 e c 1 us ter too 1 s_ conf iguration，reliabi lity，and performance :，半导体制造的 IEEE会刊，2003，编号 ηο·2，170-178,第 16 卷。
[0017] T.L.Perkinson、R.S.Gyurcsik和P.K.MacLarty的 "Single-wafer cluster tool performance: An analysis of the effects of redundant chambers and revisitations sequences on throughput"，半导体制造的IEEE会刊，1996,编号9,384-400,第9卷。
[0018] T.L.Perkinson、P.K.MacLarty、R. S.Gyurcsik和R.K.Cavin三世的 "Single-wafer cluster tool performance : An analysis of throughput"，半导体制造的IEEE会干lj， 1994,编号 369-373,第 7 卷。
[0019] S.Rostami、B.Hamidzadeh和D.Camporese的"An optimal periodic scheduler for dual-arm robots in cluster tools with residency constraints'，，机器人与自动 化的IEEE会刊，2001，编号609-618,第17卷。
[0020] S.Venkatesh、R.Davenport、P.Foxhoven和J.Nulman的 "A steady state throughput analysis of cluster tools:Dual-blade versus single-blade robots'，， 半导体制造的IEEE会刊，1997,编号pp. 418-424,第10卷。
[0021] N·Q·Wu的"Necessary and Sufficient Conditions for Deadlock-free Operation in Flexible Manufacturing System Using a Colored Petri Net Model"， 系统、人类与控制论的IEEE会刊，1999,编号pp. 192-204,第29卷，C部分D
[0022] N · Q · Wu、C · B · Chu、F · Chu和Μ · C · Zhou 的 "A Pe t r i ne t me t hod f or schedulability and调度问题s in single-arm cluster tools with wafer residency time constraints"，半导体制造的IEEE会刊，2008a，编号pp.224-237,第21 卷。
[0023] N.Q.Wu、F.Chu、C.Chu和M.Zhou的"Petri Net-Based Scheduling of Single-Arm Cluster Tools With Reentrant Atomic Layer Deposition Processes"，自动化科学与 工程的IEEE会刊，2011年1月，编号pp.42-55,第8卷。
[0024] N.Q.Wu、F·Chu、C·B·Chu和M.C.Zhou的"Petri net modeling and cycle time analysis of dual-arm cluster tools with wafer revisiting"，系统、人类与控制论的 IEEE会刊，2012年，印刷版，A部分。
[0025] N.Q.Wu和M.C.Zhou的"System modeling and control with resource-oriented Petri nets"，2009年10月，纽约，Taylor&Francis集团，CRC出版社。
[0026] N.Q.Wu和Μ·Zhou的"Analysis of wafer sojourn time in dual-arm cluster tools with residency time constraint and activity time variation"，半导体制造 的 IEEE 会刊，2010a，编号 ρρ· 53-64,第 23 卷。
[0027] N.Q.Wu和M.C.Zhou的"A closed-form solution for schedulability and optimal scheduling of dual-arm cluster tools based on steady schedule analysis"，自动化科学与工程的IEEE会刊，2010b，编号no. 2，303-315，第7卷。
[0028] N.Q.Wi^PM.C.Zhoi^V 'Process vs resource-oriented Petri net modeling of automated manufacturing systems"，亚洲控制学报，2010c，编号no.3,267_280,第12卷。
[0029] N.Q.Wu和M.C.Zhou的"Modeling，analysis and control of dual -arm cluster tools with residency time constraint and activity time variation based on Petri nets"，自动化科学与工程的IEEE会刊，2012a，编号no.2,446-454,第9卷。
[0030] N.Q.Wu和M.C.Zhou的"Schedulability analysis and optimal scheduling of dual-arm cluster tools with residency time constraint and activity time variation"，自动化科学与工程的IEEE会刊，2012b，编号no. 1，203-209,第9卷。
[0031] Ν·Q.Wu、M.C.Zhou和Z.W.Li的"Resource-oriented Petri net for deadlock avoidance in flexible assembly systems"，系统、人类与控制论的IEEE会刊，2008b，编 号 no. 1，56-69，第 38 卷，A部分。
[0032] F.J.Yang、N.Q.Wu、Y.Qiao和M.C.Zhou的"Petri net-based optimal one-wafer cyclic scheduling of hybrid multi-cluster tools in wafer fabrication'，，半导体 制造的IEEE会刊，2014a，编号no. 2,192-203,第27卷。
[0033] F.J.Yang、N.Q.Wu、Y.Qi ao和Μ·C·Zhou的 "Opt imal one-waf er cyclic scheduling of single-arm multi-cluster tools with two-space buffering modules"，系统、人类与控制论的IEEE会刊的"系统"部分，2014b，编号no. 12,1584-1597,第 44卷。
[0034] J.G.Yi、S.W.Ding、D.Z.Song和Μ·T·Zhang的 "Steady-State Throughput and Scheduling Analysis of Multi-Cluster Tools for Semiconductor Manufacturing:A Decomposition Approach"，自动化科学与工程的IEEE会刊，2008,编号pp.321-336,第5卷。
[0035] Μ·C.Zhou和K.Venkatesh的 "Modeling，simulation and control of flexible manufacturing systems:Petri net approach"，1998,新加坡，世界科学。
[0036] Q.H.Zhu、N.Q.Wu、Y.Qiao和M.C.Zhou的"Petri net-based optimal one-wafer scheduling of single-arm multi-cluster tools in semiconductor manufacturing"， 半导体制造的IEEE会刊，2013,编号no. 4,578-591，第26卷。
[0037] W.M.Zuberek的"Timed Petri nets in modeling and analysis of clus