专利名称：化学品源的管理系统与方法
技术领域：
本发明涉及一种化学品源的管理系统与方法，特别是涉及一种在集成电路制作过程中用来管理化学品源的化学品源的管理系统与方法。
背景技术：
半导体集成电路的制作，包括微影制程等复数个制程步骤。用来实施微影制程的装置包括一个化学品供应安排(Chemical SupplyArrangement)，藉以用来从多个化学品储槽之中提供多种化学品。当以新的化学品储槽替换旧的储槽时，藉由扫描装设在新化学品储槽上的条码，可辨识该化学品储槽中化学品的种类。
然而，这样的作法仍然很难避免操作上的错误，例如扫描的化学品储槽并非使用的化学品储槽。特别是当有两个或多个化学品储槽同时进行更换时，会发生化学品错置并导致制程失败的情形。
发明内容
本发明的目的在于，克服现有的管理化学品源的系统存在的缺陷，而提供一种新的管理化学品源的系统，可藉由扫描装设在新化学品储槽上的条码，辨识化学品储槽中化学品的种类，可以避免制程中在替换化学品储槽时产生操作上的错误。
本发明的另一目的在于，克服现有的管理光阻制作的系统所存在的缺陷，而提供一种新的管理光阻制作的系统，藉以用来管理化学品源可以避免光阻制作过程中产生操作上的错误，本发明的又一目的在于，克服现有的管理化学品源的方法所存在的缺陷，而提供一种新的管理化学品源的方法，来避免制程中在替换化学品储槽时产生操作上的错误。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种管理化学品源的系统，其至少包括一支撑件，是藉由可拆装地来承载一化学品储槽；一化学品供应结构，和该支撑件相匹配用来连接到一制程模组，其中当该化学品储槽以可拆装地安装于支撑件之中时，该化学品供应结构可以将一化学品从该化学品储槽之中传送出来；一识别读取器，和支撑件相匹配，其中当该化学品储槽以可拆装地安装在该支撑件中时，该识别读取器会自动与关联于该化学品储槽的一储槽识别单元进行通讯；以及一控制模组，连结于该识别读取器之上，用来与该制程模组相结合。
本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术措施来进一步实现。
前述的管理化学品源的系统，其中所述的识别读取器是一智慧卡读卡机或一射频识别接收器。
前述的管理化学品源的系统，其更至少包括一旁路识别单元，用来和该支撑件相匹配，其中该旁路识别单元是装设来与该识别读取器进行通讯。
前述的管理化学品源的系统，其中所述的识别读取器是设置来根据一预设进度，从该储槽身份辨识单元读取一化学品资讯，或将一化学品资讯写入该储槽身份辨识单元之中。
前述的管理化学品源的系统，其中所述的储槽身份辨识单元储存有选自于由化学品种类、化学品存量、化学品的有效日期、以及上述组合所组成的一族群的一化学品资讯。
前述的管理化学品源的系统，其更至少包括一网路联系该控制模组以及其他制程装置。
本发明的目的及解决其技术问题再采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种管理光阻制作的系统，其至少包括一光阻镀膜模组；复数个支撑件，每一该些支撑件都承载一化学品储槽，其中该化学品储槽是装设来连接到该接光阻镀膜模组，且该化学品储槽是包含有一识别单元；复数个识别读取器，其中每一该些识别读取器和复数个支撑件其中一者相匹配，且该识别读取器是装设来与对应于该化学品储槽的该识别单元进行通讯；以及一控制模组，与该复数个识别读取器以及该光阻镀膜模组相互通讯。
本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术措施来进一步实现。
前述的管理光阻制作的系统，其更至少包括一虚拟晶圆厂与该控制模组相互通讯。
本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种管理化学品源的方法，其至少包括将具有一储槽识别单元的一化学品储槽置换到一支撑件上；自动地从该储槽识别单元中读取一化学品资讯；将该化学品资讯与该支撑件作比对；以及假如该比对的结果无法被接受时，重复该置换与该读取步骤。
本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术措施来进一步实现。
前述的管理化学品源的方法，其中所述的自动地读取该储槽识别单元的该化学品资讯的步骤，其至少包括读取该储槽识别单元中的一化学品数据，该化学品数据是选自于由化学品种类、化学品存量、化学品的有效日期、以及上述组合所组成的一族群。
前述的管理化学品源的方法，其中所述的比对该化学品资讯的步骤，至少包括识别该化学品储槽中的化学品的种类。
前述的管理化学品源的方法，其更至少包括监控该储槽识别单元，藉以产生一警报，以通知进行化学品储槽的置换；藉由将一化学品存量资讯回馈写入该储槽识别单元来更新该储槽识别单元的资讯；以及与其他制程设备分享来自于该储槽识别单元的该化学品资讯。
前述的管理化学品源的方法，其更至少包括使用一识别读取器从一管路识别单元读取一管路资讯，其中管路识别单元是与一化学管路相匹配，藉以将一化学品由该化学品储槽之中传送出来。
前述的管理化学品源的方法，其中所述的置换该化学品储槽的步骤是由一事件所引发，而该事件是选自于由过低的化学品存量、化学品的到期日、来自于制造执行系统的一工程师的要求、以及制程人员对该化学品储槽的搬迁所组成的一族群。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，本发明的主要技术内容如下本发明的目的是在于提供一种管理化学品源的系统。在一个实施例之中，该系统包括可拆装地承载化学品储槽的支撑件。该系统包括与支撑件匹配的化学品供应结构，可用来连接制程模组，其中当化学品储槽以可拆装地安装于支撑件之上时，化学品供应结构可以将化学品从化学品储槽之中传送出来。该系统包括与支撑件相匹配的识别读取器，其中当化学品储槽以可拆装地安装在支撑件中时，识别读取器会自动和与化学品储槽相匹配的储槽识别单元进行通讯。该系统包括连结于识别读取器并且设置与制程模组相结合的控制模组。
本发明的另一目的是在于提供一种管理化学品源的方法，该方法至少包括下述的步骤首先将具有储槽识别单元的化学品储槽置换到一支撑件上。接着，自动地从储槽识别单元中读取化学品资讯。然后，将化学品资讯与支撑件作比对。假如比对的结果无法被接受时，重复置换与读取步骤。
本发明的又一目的在于提供一种管理光阻制作的系统，其至少包括光阻镀膜模组、复数个支撑件、复数个识别读取器以及控制模组。其中，每一个支撑件都承载一个化学品储槽，其中该化学品储槽是装设来连接到光阻镀膜模组，且化学品储槽包含有一个识别单元。每一个识别读取器与这些支撑件其中之一相匹配，且该识别读取器是装设来与对应于化学品储槽的识别单元进行通讯。控制模组与这些识别读取器以及光阻镀膜模组相互通讯。
综上所述，本发明是有关于一种化学品源的管理系统与方法。在一实施例之中，该系统包括可拆装地承载化学品储槽的支撑件。该系统包括与该支撑件相匹配，用来连接制程模组的化学品供应结构，其中当化学品储槽以可拆装地安装于支撑件之中时，化学品供应结构可以将化学品从化学品储槽之中传送出来。该系统包括和支撑件相匹配的识别读取器(IdentificationReader；ID Reader)，其中当化学品储槽以可拆装地安装在支撑件中时，识别读取器会自动与和化学品储槽相匹配的储槽识别单元进行通讯。该系统包括连结于识别读取器并设置与制程模组相结合的控制模组。
借由上述技术方案，本发明在半导体制程中的微影系统及其方法至少具有下列优点可藉由扫描装设在新化学品储槽上的条码，辨识化学品储槽中化学品的种类，而可以避免在光阻制作过程中产生操作上的错误。
本发明的管理化学品源的系统，可藉由扫描装设在新化学品储槽上的条码，辨识化学品储槽中化学品的种类，而可以避免制程中在替换化学品储槽时产生操作上的错误。
本发明的管理光阻制作的系统，可以用来管理化学品源可以避免光阻制作过程中产生操作上的错误，本发明的管理化学品源的方法，可以避免制程中在替换化学品储槽时产生操作上的错误。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
为让本发明的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附图式的详细说明如下。必须强调的是，根据相关技术领域的标准，图示特征并未按照比例尺寸加以绘示。事实上，为了更加清楚地探讨起见，各种特征可能会被任意放大或缩小。
图1是根据本发明的一个光阻管理系统的实施例所绘示的系统方块图。
图2是绘示一种使用图1的系统的虚拟制作系统的实施例的系统方块图。
图3是绘示一种用来实施图1的光阻管理系统或图2的系统的实施例的流程图。
100系统 102、122支撑件104、124识别读取器 106、126化学品储槽108、128储槽识别单元 110、130化学管路112、132管路识别单元 114化学品管理控制器(系统)116资料库134旁路识别单元140光阻镀膜室142基材150、218网路 200虚拟晶圆厂(系统)
202、204、206、208实体 210、212、214实体220、222、224、N实体 300方法310进行化学品储槽的置换 312读取识别资料314判别是否接受化学品储槽的置换 316监控识别单元318检查是否有需要置换任何化学品储槽具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的化学品源的管理系统与方法其具体实施方式
、结构、方法、步骤、特征及功效，详细说明如后。
值得注意的是，以下所揭示的不同的实施例是在实施本发明的不同特征。而以下所述的各种组成与配置的特定实施例，仅是在简化并说明本发明，只在作为本发明的例证，而非用以限定本发明。还有，下述说明书可能会在不同例证之中重复使用参阅标号号码或字母。这些重复参阅的标号号码或字母只是为了简化与清楚说明起见，并不表示以下所讨论的各种实施例与结构之间彼此有任何关系。
请参阅图1所示，是根据本发明的一个光阻管理系统(Photoresistmanagement System；PRMS)100的实施例所绘示的简化方块图。该系统100是设计并建造来辨识化学品、核对化学内容物的位置、控制化学内容物并检查化学内容物的数量。该系统100至少包括复数个支撑件，例如，如图1所绘示的支撑件102与支撑件122，每一个支撑件是设计用来承载化学品储槽。每一个支撑件是预先被指派用来承载特定种类的化学品。每一个支撑件都与一个设置在邻近于支撑件的识别读取器(Identification Reader；IDReader)相匹配。例如，支撑件102与识别读取器104相匹配，而支撑件122则与识别读取器124相匹配。该识别读取器可以是一射频识别(Radio-Frequency Identification；RFID)接收器。其中，射频识别技术是使用无线电波与某些形式的标签或卡片进行通讯，可以在一特定距离之内辨识一物体。射频识别技术具有下述几个优点，例如射频识别技术具有保存更多资料的能力；又，在制程开始时，射频识别技术具有可以变更现存资料的能力；以及射频识别技术具有可以在严酷的环境之中使用的能力。在一个实施例之中，识别读取器可以是一种智慧卡读卡机。智慧卡包含有一集成电路晶片记忆体，用来保存个人或材料的识别资料。智慧卡读卡机可以从智慧卡中读取资料或将资料写入智慧卡之中，藉以适当地更新与维护化学品的资料。识别读取器也可以实施于其他合适的技术领域。识别读取器的位置是与和其相匹配的支撑件有关，藉以根据识别读取器本身的技术型态来适切地发挥其功能。例如，智慧卡的设置是采用多种不同的方式，主要是取决于智慧卡是否为接触卡或非接触卡。射频识别标签的位置是位于和其相匹配的支撑件上，而该支撑件是位于所承载的化学品储槽下方。
化学品储槽是放置在支撑件之上，并且将化学品储槽连接到一化学管路，由该化学管路所形成的通道是用来将化学品由化学品储槽传送到光阻镀膜室(Potoresist Coating Chamber)140。该光阻镀膜室140是一制程模组，并且是光阻镀膜装置(Potoresist Coating Tool)的一组成套件，设计用来将光阻层涂布于一基材142，例如半导体晶圆之上。在一个实施例中，支撑件102承载化学品储槽106，而化学品储槽106与化学管路110连接。支撑件122承载化学品储槽126，而化学品储槽126与化学管路130连接。视光阻制程的需要，该系统100之中可以包含更多的支撑件、和与支撑件相匹配的化学管路以及化学品储槽。每一个化学管路都有化学品流过，而化学品是藉由流量控制器加以控制。每一个化学品储槽都具有一个设置于其上的识别单元(ID Unit)。例如化学品储槽106和126分别包含有储槽识别单元108和128。每一个储槽的识别单元或其他识别单元可以是射频识别标签、智慧卡或其他可以被和其相匹配的识别读取器所辨识的合适的识别组成(ID Component)。
该系统100还包含有更多的识别单元。例如，每一个化学管路可以具有一个设置于其上的管路识别单元，用以辨别管路并且提供管路的相关资料。在一个实施例之中，化学管路110具有一个设置于其上的管路识别单元112。化学管路130具有一个设置于其上的管路识别单元132。每一个化学管路可以形成一个用来将化学品从与其相对应的化学品储槽传送到光阻镀膜室140的通道。使用支撑件、识别识别读取器、化学管路、和/或管路识别单元可以形成通道，藉以提供一种化学品到光阻镀膜室140。有一些化学通道更可以选择性地包含一旁路(Bypass)识别单元，设置于能与和其相匹配的识别读取器有效联系的距离之内，在一些状况之下，例如当化学通道的支撑件是设定用来容纳非化的储槽时，与此一识别读取器有关的特定或所有的联系事件会被跳过。在一些实施例之中，旁路识别单元134是设置来与支撑件122相匹配。旁路识别单元是设置来使系统具有其他选择性或附加的功能。例如，当有一个事件正在发生，例如更换支撑件上的化学品储槽，旁路识别单元与识别读取器之间的联系会更新系统100目前的状态，并且在一段特定时间之后，更在预设的进度之外启动系统藉以回头检查支撑件并更新有关新的化学品储槽资料的资料库。在另一个实施例之中，旁路识别单元可以根据一个事件，例如更换、维护、检修化学品储槽来加以设置或启动，也可以在完成上述事件之后解除其作用。
每一个识别读取器是装设并设定来从一个相对应的识别单元(包括与该识别读取器相对应的储槽识别单元、管路识别单元、和/或旁路识别单元)中适切地读取或写入资料。设置射频识别接收器，使其具有有效联系的距离，使得只有位于适切位置的射频识别标签才能与该射频识别接收器进行通讯。例如，在没有干扰的状况下，识别读取器104只能与储槽识别单元108以及管路识别单元112联系；同时，识别读取器124只能与储槽识别单元128以及管路识别单元132联系。
系统100还包含一个化学品管理控制器114，用来与识别读取器相互连系，并用以控制将化学品供应到光阻镀膜室的程序。化学品管理控制器114至少包括可用以实施控制的软件，以及具有能够同时且动态地处理多个识别读取器的能力。化学品管理控制器114更至少包括有硬件设备，该硬件设备包括电脑、网路、和/或用来桥接复数个识别读取器以及光阻镀膜装置的介面、制造执行系统(Manufacturing Executive System；MES)、以及/或下述的虚拟晶圆厂(Virtual Fab)。例如，化学品管理控制器114可以包含一个串列阜(RS232)介面。系统100更至少包括资料库116，藉以提供并维护化学品的相关资讯，来支持化学品管理控制器114。这些相关资讯系，例如化学品与支撑件的关系表、读取识别读取器的进度、化学品目前的存量、化学品的有效期限以及其他化学品相关的资讯。
光阻管理系统100和/或光阻镀膜室是相互连接在一起，并且整合进一台光阻镀膜设备之中，而且/或通过化学品管理控制器114和/或网路150与其他制造实体(Manufacturing Entities)互动。网路150可以是区域网路、一部份的制造执行系统、或一部份的虚拟晶圆厂。
系统100并不限定使用于管理光阻化学品的供应与控制。例如，系统100可以被延伸来与其他制程，例如湿式蚀刻、化学气相沉积或电镀，相匹配，藉以管理多种化学品的供应及其控制。系统100的运用可防止在处理多种化学品的供应及其相关控制时所发生的错误，例如在更换化学品储槽时，误用含有错误种类化学品的新化学品储槽。使用系统100可免除在机器开动之中，仍须以手动方式再扫描一次条码以确认化学品的资讯的需求。
请参阅图2所示，是绘示与图1的光阻管理系统100连结的虚拟集成电路制作系统(虚拟晶圆厂)200。虚拟晶圆厂200包含有复数个藉由通讯网路218相互连结的实体(Entity)202、204、206、208、210、212、214、......到N。网路218可以是单一网路或者是各种不同的网路，例如网际网路和内部网路，以及可以包含有线与无线的通讯管道。
在本实施例中，实体202代表一种服务系统，用来提供服务与协调服务，实体204代表顾客，实体206代表工程师，实体208代表用来测试与量测集成电路的测试设备，实体210代表晶圆制造设备(晶圆厂)，实体212代表产品，实体214代表另一个虚拟晶圆厂(例如，隶属于子公司或商业伙伴的虚拟晶圆厂)。每一个实体都与其他实体相互连动，并且提供服务给其他实体以及/或从其他实体中获取服务。
为了清楚绘示，每一个实体202至214以及220至224可以被视为一种形成一部份虚拟晶圆厂200的内部单元(例如，工程师，客户服务人员，自动化系统制程，设计或制造设备等)，或被视为与虚拟晶圆厂200互动的外部实体(例如，顾客)。值得注意的是，实体202至214以及220至224可能集中在单一区域，或者各自分散，而且有一些实体可能会被整合于其他实体之中。还有，每一个实体202至214以及220至224都与系统辨识资讯(SystemIdentification Information)连结，此一系统辨识资讯是根据每一个相关实体的辨识资讯的授权层级，允许各个实体在系统中控制与获取资讯。
虚拟晶圆厂200是以制作集成电路为目的，使实体202至214以及220至224之间产生互动，也就是提供服务。在本实施例中，制作集成电路包括接受客户的订单，以及包括制作客户所订制的集成电路并且送至客户端所需的各项操作步骤，例如集成电路的设计、制造、测试与运输。
虚拟晶圆厂200所提供的服务可以将服务协调以及资讯获取实施于例如设计、工程、物流与原物料控制等领域。在设计领域之中，顾客204可以由该服务系统202获得产品设计的资讯与工具。而该工具可以使顾客进行良品率改善分析、检视布局资讯以及取得类似资料。在工程师领域之中，工程师206可以使用有关于试量产、风险分析、品质、可靠度以及原物料控制等制程资讯与其他工程师协调合作。物流领域则可以提供顾客204制程状况、测试结果、订单处理以及交货日期。必须注意的是，上述这些领域只是作为案例来说明，若有需要，虚拟晶圆厂200可提供各领域更多或较少的资料。
另外一种由虚拟晶圆厂200所提供的服务是设备之间的整合系统，例如晶圆测试设备208与晶圆制造设备210之间的整合。此一整合可以协调设备之间的活动。例如整合晶圆测试设备208与晶圆制造设备210可将制造资讯更有效率地整合于制程之中，并且使来自于晶圆测试装置(MetrologyTool)的晶圆数据回馈到晶圆制造设备210以进行制程改善与整合。
晶圆制造设备210更至少包括具有制程室(Processing Chamber)222与化学品管理系统224(例如，图1所绘示的系统100)的制造装置(Manufacturing Tool)220。制造装置220可以是光阻镀膜装置、湿式蚀刻装置、化学气相沉积装置、电镀装置、或其他具有多个化学品源的制造装置。化学品管理系统224包括多个支撑件，其中每个支撑件都具有识别读取器。化学品管理系统224是设置来承载具有储槽识别单元装设其上的化学品储槽。每一个化学品储槽是设置来提供特定化学品到制程室222。化学品管理系统224更至少包括化学品管理控制器，用以监控、协调、核对每一个化学品储槽，包括核对化学品的种类、支撑件的位置、与化学品储槽连接的管路、化学品的存量、化学品的有效期限以及其他资讯。化学品管理系统224可以通过网路218提供其他实体，例如工程师206、晶圆制造设备210的其他制造装置、以及/或产品，有关化学品的相关资讯。化学品管理系统224可以从制程室222与其他实体中摘录相关资讯，然又再回写入每一个装设于化学品储槽或化学管路的识别单元之中。例如，通过每一个化学通道可以搜集到化学品的流速，进而得到化学品的消耗量与目前化学品的存量。在另一个实施例中，则是使用感应器以获得有关化学品存量的资讯。在化学品管理系统224中，从身份辨识单元读取或写入资料的动作，是由预定的资料更新进度表或由特定事件所发动，特定事件例如当化学品存量低于特定的最小限制。化学品管理系统224可以动态地维护与确保多种化学品能供应到制程室222，并且避免发生错误，例如在给定的位置放置错误种类的化学品，和/或将化学品放置于错误的位置等。化学品管理系统224可以确保每一个化学品储槽在使用期间可以被适切地放置、更换与使用。再者，来自于识别单元、化学管路、以及制程室的有关于化学品的资讯可以被进一步搜集并储存以供后续的使用，例如进行包括品质管制、可靠度测试以及失效模式分析。
请参阅图3所示，是根据本发明用来实施图1的系统100和/或图2的系统200的方法300所绘示的一种流程图。请参阅图3以及图1所示，方法300是由步骤310实施化学品储槽置换开始。根据制程配方和/或标准，在化学品管理系统之中，每一个支撑件都设置来承载一个具有特定种类的化学品的化学品储槽。每一种化学品都流经管路进入光阻镀膜室140，进行混合后在一基材上形成一光阻。在每一个化学通道中流动的化学品都受到流量控制器，例如控制通道开与关的智慧型流量控制器(Master FlowController)所控制以确保适当的流速。化学品管理系统114可以监控复数个化学品储槽，并且更新系统100和/或识别单元的资讯。不同的事件会导致化学品储槽的更换。例如当化学品储槽因为化学品在一段预设的期间之后有效期限即将到期而有需要更换，或化学内容物低于预设标准时，化学品管理系统114会通知工程师以进行更换。其他的事件也会导致化学品储槽的更换。例如，制程人员(例如操作员)从系统100中移走一个化学品储槽，以作为其他临时用途；工程师通过制造执行系统要求更换；或者光阻镀膜室根据其他制造数据，例如根据残余气体分析(Residual GasesAnalysis；RGA)发现制程室遭受污染而要求更换化学品储槽。
在步骤310之中，当开始进行化学品储槽的置换时，化学品管理系统114会自动产生或采用其他保护或通知的动作。例如化学品管理系统114会产生一个告报或警铃，以通知制程人员进行化学品储槽的置换。另外，化学品管理系统114会使光阻镀膜室和/或其他相关制程构件暂停或进入保护状态。
在步骤310之中，当目前的化学品储槽被移开或其他上述的事件导致必须置换化学品储槽时，制程人员必须将准备置换的新化学品储槽适当地放置在相对应的支撑件上，进而将化学品储槽与化学管路连接。该化学品储槽包含一个装设于化学品储槽上的储槽识别单元，其中储槽识别单元具有相关的资讯储存在其中，这些资讯包括化学品的种类、化学品的存量、有效期限以及其相关资讯。
继续进行方法300的步骤312以读取识别资料。当新的化学品储槽被置放在相对应的支撑件上时，和支撑件相匹配的识别读取器会自动地启动，从新的化学品储槽所装设的储槽识别单元读取相关资讯，例如化学品的种类与化学品的有效期限。和支撑件相匹配的识别读取器也会读取与其相对应的管路识别单元，以获取有关管路的资讯。
继续进行方法300的步骤314以核对来自于储槽识别单元的相关资讯或其他来自于相对应的管路识别单元的相关资讯。在步骤314中，比对来自于储槽识别单元的资讯，判断化学品储槽与支撑件彼此是否可以协调一致。另外，进一步比对与化学品储槽相连接的管路识别单元，以判别化学管路是否与化学品储槽及支撑件相互配对。更进一步的，检查化学品的有效期限和/或化学品的存量。假如所有的比对都已检核通过，化学品储槽的置换方可被接受，否则化学品储槽的置换就不被接受。
假如在上述比对之后，化学品储槽的置换不被接受，方法300将返回到步骤310重新开始另一个化学品储槽的置换。例如，假如所更换的化学品的有效日期位于预设时间间隙(Time Gap)之内、化学品存量低于预设标准，或者所更换的化学品种类并没有与相对应的支撑件所预设的化学品种类相符，那么此次化学品储槽的置换就不被接受。在一些实施例中，使用信号灯来通知操作人员其所更换的化学品是否通过检核。假如化学品储槽的置换可以被接受，则藉由使用绿灯来表示，假如化学品储槽的置换未被接受，则藉由红灯来表示。
假如在步骤314中化学品储槽的置换被接受，方法300继续进行步骤316，在步骤316之中，任何由化学品储槽的置换所引起的制程阻碍与停顿会被解除，正常的制程会重新启动。系统并根据预设检查进度来监控识别单元，以检查化学品存量、有效日期以及其他的资讯。例如每一个化学品储槽大约每5秒被检查一次。在步骤316之中，储槽识别单元中化学品存量的资讯可以被更新。例如，可以由先前化学品的存量，以及从化学品相对应的化学管路的流速所计算出的化学品累积流量，得到每一个化学品储槽的化学品存量，并且将该化学存量回馈写入储槽识别单元。更新后的化学品资讯可以藉由化学品管理控制器114和/或网路提供给其他实体，例如其他制程设备、工程师和/或制造执行系统(MES)。
方法300进行步骤318，藉以即时检查是否有需要置换任何化学品储槽。当化学品储槽的化学品存量低于预设标准、化学品位于预设到期时窗(Time Window of Expiration)之中、或化学品遭受污染时，就有需要进行化学品储槽置换。假如有需要进行化学品储槽置换，方法300就会再回到步骤310进行上述的化学品储槽置换。否则方法300会继续对所有识别单元进行连续监控。
方法300可以运用于具有多种化学品源的制程之中，这些制程包括光阻镀膜、化学气相沉积、电镀以及湿式蚀刻。在不脱离本发明的精神范围之内，方法300也可以实施于其他制程之中。方法300是利用系统100和/或200来管理多种化学品，使用多种识别读取器来辨识化学品的内容，比对每一个化学品储槽的位置，由身份辨识单元中读取资讯或将资讯写入身份辨识单元之中，并且动态地维护并监控每一化学品的存量、有效日期、以及其他资讯。
因此，本发明是提供一种系统与方法来管理光阻的制作。在一个实施例之中，此一系统包括一个支撑件，该支撑件是藉由可拆装地来承载化学品储槽。此一系统包括一个和支撑件相匹配的化学品供应结构，用来与制程模组连接，其中当化学品储槽以可拆装地安装在支撑件中时，化学品供应结构可以将化学品由化学品储槽中传送出来。此一系统包括和支撑件相匹配的识别读取器，其中当化学品储槽以可拆装地安放在支撑件上时，识别读取器会自动与和化学品储槽相匹配的储槽识别单元进行通讯。此一系统包括连结于识别读取器并设置来与制程模组相结合的控制模组。
在此一系统之中，识别读取器至少包括智慧卡读卡机。识别读取器至少包括射频识别接收器。此一系统更至少包括用来与支撑件相匹配的旁路识别单元，其中旁路识别单元是装设来与识别读取器进行通讯。识别读取器是设置来根据预设进度，从储槽身份辨识单元读取化学品的相关资讯。识别读取器是设置来自储槽身份辨识单元读取化学品的种类资讯。识别读取器是设置来根据预设进度，将化学品的相关资讯写入储槽身份辨识单元之中。识别读取器是设置来将化学品储槽目前的化学品存量资讯写入储槽身份辨识单元之中。储槽身份辨识单元储存有化学品资讯，该化学品资讯是选自于由化学品种类、化学品存量、化学品的有效日期、以及上述组合所组成的一族群。该系统更至少包括联系控制模组与其他制程装置的网路。假如储槽身份辨识单元具有一个落在正常范围之外的参数时，控制模组是装设来产生一警报。假如储槽身份辨识单元具有一个位于预设时间间隙(TimeGap)内的化学品有效日期时，控制模组是装设来产生一警报。
在另一个实施例中，本说明书提供一个系统至少包括光阻镀膜模组、复数个支撑件、复数个识别读取器以及控制模组。其中，每一个支撑件都设计来承载一个化学品储槽，而学储槽是装设来连接光阻镀膜模组，且学储槽包含有一个识别单元；每一个识别读取器是和这些复数个支撑件其中之一者相匹配，每一个识别读取器是装设来与相对应于化学品储槽的识别单元进行通讯；控制模组与这些个识别读取器以及光阻镀膜模组进行通讯。该系统更至少包括与控制模组相互通讯的虚拟晶圆厂。
在另一个实施例中，本说明书提供一种管理化学品源的方法。此一方法包括将具有储槽识别单元的化学品储槽置换到支撑件上、自动地从储槽识别单元中读取化学品的资讯、将化学品资讯与支撑件作比对、以及假如此比对的结果无法被接受时，重复上述的置换与读取的步骤。
在上述的方法中，自动地读取储槽识别单元的资讯的步骤至少包括，读取储槽识别单元中的化学品数据，该化学品数据是选自于由化学品种类、化学品存量、化学品的有效日期、以及上述组合所组成的一族群。比对化学品资讯的步骤至少包括，识别化学品储槽中化学品的种类。该方法更至少包括监控储槽识别单元，藉以对下述状况产生一警报以通知进行化学品储槽的置换、藉由将化学品存量资讯回馈写入储槽识别单元来更新其资讯、以及与其他制程装置分享来自于储槽识别单元的资讯等状况。该方法更至少包括，使用识别读取器从管路识别单元读取管路资讯，其中管路识别单元是与化学管路相匹配，藉以将化学品由化学品储槽之中传送出来。置换化学品储槽的步骤是由某一事件所引发，而该事件是选自于由过低的化学品存量、化学品的到期日、来自于制造执行系统的工程师的要求、以及制程人员对化学品储槽的搬迁所组成的一族群。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而任何熟习此技艺者仍然可以在不脱离本发明的精神和范围内，当可作出各种的更动、取代与润饰。因此上述的更动、取代与润饰都落入本发明后附的申请专利范围的保护范围之内。在申请专利范围之中使用手段功能语言是为了将上述的结构以其可实施的功能加以涵盖，而非只限于与结构上的均等，但同时也包含其他均等的结构。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的方法及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例，但是凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
1.一种管理化学品源的系统，其特征在于其至少包括一支撑件，是藉由可拆装地来承载一化学品储槽；一化学品供应结构，和该支撑件相匹配用来连接到一制程模组，其中当该化学品储槽以可拆装地安装于该支撑件之中时，该化学品供应结构可以将一化学品从该化学品储槽之中传送出来；一识别读取器，和该支撑件相匹配，其中当该化学品储槽以可拆装地安装在该支撑件中时，该识别读取器会自动与关联于该化学品储槽的一储槽识别单元进行通讯；以及一控制模组，连结于该识别读取器之上，用来与该制程模组相结合。
2.根据权利要求1所述的管理化学品源的系统，其特征在于其中所述的识别读取器是一智慧卡读卡机或一射频识别接收器。
3.根据权利要求1所述的管理化学品源的系统，其特征在于其更至少包括一旁路识别单元，用来和该支撑件相匹配，其中该旁路识别单元是装设来与该识别读取器进行通讯。
4.根据权利要求1所述的管理化学品源的系统，其特征在于其中所述的识别读取器是设置来根据一预设进度，从该储槽身份辨识单元读取一化学品资讯，或将一化学品资讯写入该储槽身份辨识单元之中。
5.根据权利要求1所述的管理化学品源的系统，其特征在于其中所述的储槽身份辨识单元储存有选自于由化学品种类、化学品存量、化学品的有效日期、以及上述组合所组成的一族群的一化学品资讯。
6.根据权利要求1所述的管理化学品源的系统，其特征在于其更至少包括一网路联系该控制模组以及其他制程装置。
7.一种管理光阻制作的系统，其特征在于其至少包括一光阻镀膜模组；复数个支撑件，每一该些支撑件都承载一化学品储槽，其中该化学品储槽是装设来连接到该接光阻镀膜模组，且该化学品储槽是包含有一识别单元；复数个识别读取器，其中每一该些识别读取器和该复数个支撑件其中一者相匹配，且该识别读取器是装设来与对应于该化学品储槽的该识别单元进行通讯；以及一控制模组，与该复数个识别读取器以及该光阻镀膜模组相互通讯。
8.根据权利要求7所述的管理光阻制作的系统，其特征在于其更至少包括一虚拟晶圆厂与该控制模组相互通讯。
9.一种管理化学品源的方法，其特征在于其至少包括将具有一储槽识别单元的一化学品储槽置换到一支撑件上；自动地从该储槽识别单元中读取一化学品资讯；将该化学品资讯与该支撑件作比对；以及假如该比对的结果无法被接受时，重复该置换与该读取步骤。
10.根据权利要求9所述的管理化学品源的方法，其特征在于其中所述的自动地读取该储槽识别单元的该化学品资讯的步骤，至少包括读取该储槽识别单元中的一化学品数据，该化学品数据是选自于由化学品种类、化学品存量、化学品的有效日期、以及上述组合所组成的一族群。
11.根据权利要求9所述的管理化学品源的方法，其特征在于其中所述的比对该化学品资讯的步骤，至少包括识别该化学品储槽中的化学品的种类。
12.根据权利要求9所述的管理化学品源的方法，其特征在于其更至少包括监控该储槽识别单元，藉以产生一警报，以通知进行化学品储槽的置换；藉由将一化学品存量资讯回馈写入该储槽识别单元来更新该储槽识别单元的资讯；以及与其他制程设备分享来自于该储槽识别单元的该化学品资讯。
13.根据权利要求9所述的管理化学品源的方法，其特征在于其更至少包括使用一识别读取器从一管路识别单元读取一管路资讯，其中该管路识别单元是与一化学管路相匹配，藉以将一化学品由该化学品储槽之中传送出来。
14.根据权利要求9所述的管理化学品源的方法，其特征在于其中所述的置换该化学品储槽的步骤是由一事件所引发，而该事件是选自于由过低的化学品存量、化学品的到期日、来自于制造执行系统的一工程师的要求、以及制程人员对该化学品储槽的搬迁所组成的一族群。
全文摘要
本发明是有关于一种化学品源的管理系统与方法。在一实施例之中，该系统包括可拆装地承载化学品储槽的支撑件。该系统包括与该支撑件相匹配，用来连接制程模组的化学品供应结构，其中当化学品储槽以可拆装地安装于支撑件之中时，化学品供应结构可将化学品从化学品储槽之中传送出来。该系统包括和支撑件相匹配的识别读取器(Identification Reader；ID Reader)，其中当化学品储槽以可拆装地安装在支撑件中时，识别读取器会自动与和化学品储槽相匹配的储槽识别单元进行通讯。该系统包括连结于识别读取器并设置与制程模组相结合的控制模组。本发明可藉由扫描装设在新化学品储槽上的条码，辨识化学品储槽中化学品的种类，而可避免在光阻制作过程中产生操作上的错误。
文档编号G06Q99/00GK1862381SQ200610003268
公开日2006年11月15日 申请日期2006年2月8日 优先权日2005年5月12日
发明者张逸辉 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司