一种触摸屏及显示装置制造方法

一种触摸屏及显示装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种触摸屏及显示装置，涉及显示【技术领域】，解决了现有的触摸屏耗电、操作受限的问题。一种触摸屏，包括：相对的第一基板和第二基板，所述第一基板包括第一衬底以及形成在所述第一衬底上的纳米压电单元层，其中，所述纳米压电单元层包括沿所述第一衬底垂直生长的直线型纳米压电材料；所述第二基板包括第二衬底以及形成在所述第二衬底上相互不接触的第一电极和第二电极，其中，所述第一电极沿第一方向形成多排，所述第二电极沿第二方向形成多排，所述第一方向和所述第二方向不同。
【专利说明】-种触摸屏及显示装置

【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及显示【技术领域】，尤其涉及一种触摸屏及显示装置。

【背景技术】
[0002] 触摸屏（touch screen)又称"触控屏"或"触控面板"，是目前最简单、方便、自然 的一种人机交互方式，它赋予多媒体以崭新的面貌，是极富吸引力的全新多媒体交互设备。
[0003] 目前最为常见的触摸屏方式是电阻式和电容式。电阻式触摸屏如图1所示，包括 第一衬底10、设置在所述第一衬底10上的第一电极21、第二衬底20以及设置在所述第二 衬底20上的第二电极22。如图1所示，电阻式是利用触控压力（图1中手指30的压力） 导致第一电极21和第二电极22接触，从而改变触控回路中电阻值，进而可以确定触控位 置。但是常规的电阻式触屏要求在没有触摸动作的时，第一电极和第二电极必须保证电流 一直导通，这样会使得器件功耗增加。而且，当两个触控点过于靠近，电阻传感器无法区分 是一个点还是两个点，造成识别失误，精准度不高。
[0004] 电容式触摸屏的电路原理如图2所示，主要是利用人体电场，当手指30触摸屏幕 时，在触摸位置处的第一电极21和第二电极22的电容会发生变化，从而可以检出触控位 置。但是电容式触屏需要用手指来操作，对于绝缘性的物质无法识别，不支持其他物体操 作，使得电容式触屏的使用范围受到限制。同时，电容式触屏面板表面必须保持干净，任何 带有静电的污渍、雾气等都会导致误操作。 实用新型内容
[0005] 本实用新型的实施例提供一种触摸屏及显示装置，解决了现有的触摸屏耗电、操 作受限的问题。
[0006] 为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：
[0007] 本实用新型实施例提供了一种触摸屏，包括：相对的第一基板和第二基板，所述第 一基板包括第一衬底以及形成在所述第一衬底上的纳米压电单元层其中，所述纳米压电单 元层包括沿所述第一衬底垂直生长的直线型纳米压电材料；所述第二基板包括第二衬底以 及形成在所述第二衬底上相互不接触的第一电极和第二电极，其中，所述第一电极沿第一 方向形成多排，所述第二电极沿第二方向形成多排，所述第一方向和所述第二方向不同。
[0008] 本实用新型实施例提供了一种触摸屏，包括：相对的第一基板和第二基板，所述 第二基板包括第二衬底以及设置在所述第二衬底上的第二电极，其中所述第二电极层沿第 二方向形成多排；所述第一基板包括第一衬底、设置在所述第一衬底上的第一电极以及纳 米压电单元层，其中，所述第一电极沿第一方向形成多排，所述第一方向和所述第二方向不 同；所述纳米压电单元层在对应第一电极和第二电极交叉的位置处包括沿所述第一衬底平 行生长的至少一层直线型压电材料层。
[0009] 本实用新型实施例提供了一种显示装置，包括显示屏以及本实用新型实施例提供 的任一所述的触摸屏，所述触摸屏位于所述显示屏的出光侧或背光侧。
[0010] 本实用新型的实施例提供一种触摸屏及显示装置，所述触摸屏采用纳米阵列的压 电效应自发电技术，当压力施加在触屏表面时，纳米压电单元层的直线型纳米压电材料发 生弯曲，在拉伸面上为正电位，挤压面上为负电位，而由压电效应产生压电电势和电流，随 后由第一电极和第二电极导出，从而可以确定触摸位置和手势动作，实现触摸功能。与常 见的电阻屏、电容屏相比，该触屏通过压电效应能够由触屏本身自产生电流，不需要外部电 源，可以减小器件的功耗。且压电电流是由于压力产生的，对触摸屏产生压力的可以导电体 也可以是绝缘体，因此其他带有静电的污渍、雾气等也不会影响触摸的操作，适用性更强。

【专利附图】

【附图说明】
[0011] 为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提 下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012] 图1为现有技术中电阻式触摸屏示意图；
[0013] 图2为现有技术中电容式触摸屏示意图；
[0014] 图3为本实用新型实施例提供的一种触摸屏示意图；
[0015] 图4为第一电极和第二电极的俯视结构示意图；
[0016] 图5为本实用新型实施例提供的另一种触摸屏不意图；
[0017] 图6为本实用新型实施例提供的另一种触摸屏示意图；
[0018] 图7为本实用新型实施例提供的一种触摸屏的制作方法示意图；
[0019] 图8为本实用新型实施例提供的形成第一基板的方法示意图；
[0020] 图9为本实用新型实施例提供的形成第二基板的方法示意图；
[0021] 图10为本实用新型实施例提供的另一种触摸屏示意图；
[0022] 图11为本实用新型实施例提供的另一种触摸屏示意图；
[0023] 图12为本实用新型实施例提供的另一种触摸屏示意图；
[0024] 图13为本实用新型实施例提供的另一种触摸屏示意图；
[0025] 图14为本实用新型实施例提供的一层纳米压电单元层示意图；
[0026] 图15为本实用新型实施例提供的形成第二基板的方法示意图；
[0027] 图16为本实用新型实施例提供的形成第一基板的方法示意图。
[0028] 附图标记：
[0029] 10-第一衬底；11-纳米压电单元层；20-第二衬底；21-第一电极；22-第二电极； 23-辅助电极；30-手指；40-隔垫物；100-第一基板；200-第二基板。

【具体实施方式】
[0030] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的 实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0031] 本实用新型实施例提供了一种触摸屏，如图3所示，包括：相对的第一基板100和 第二基板200,所述第一基板100包括第一衬底10以及形成在所述第一衬底上的纳米压电 单元层11，其中，所述纳米压电单元层11包括沿所述第一衬底10垂直生长的直线型纳米压 电材料；所述第二基板200包括第二衬底20以及形成在所述第二衬底20上相互不接触的 第一电极21 (图3未示出）和第二电极22,其中，如图4所示，所述第一电极21沿第一方 向101形成多排，所述第二电极22沿第二方向102形成多排，所述第一方向101和所述第 二方向102不同。
[0032] 需要说明的是，所述第一方向和所述第二方向不同，即所述第一方向和所述第二 方向必然相交。本实用新型实施例，如图4所示，均以所述第一方向101和第二方向102垂 直为例进行详细说明。所述沿所述第一衬底垂直生长的直线型纳米压电材料，所述直线型 纳米材料是指所述纳米材料的中心轴为直线，所述直线型纳米压电材料的中心轴与所述第 一衬底垂直。本实用新型实施例中，所述纳米压电单元层包括沿所述第一衬底垂直生长的 直线型纳米压电材料，即如图3所示，直线型纳米压电材料与第一衬底10垂直，且纳米压电 材料为垂直的直线型。当沿所述第一衬底垂直生长的压电材料在受到作用力弯曲（此时为 非直线型）时具有压电特性。即，纳米压电材料在压力作用下会挤压、变形，从而能够产生 压电电势，产生肖特基结，产生电流分别由第一电极层和第二电极层导出，处理器根据电流 流出位置可以确定触摸位置和手势动作。具体的，纳米压电材料拉伸和挤压将产生方向相 反的电场，也就是沿轴向方向在中分面两侧将产生方向相反的两个电场。因此，横截面上部 始终为正电位，下部为负电位，中分面与生长衬底相连接为零电位，截面上部的正电位大小 与纳米棒弯曲的程度成正比，弯曲越大，电位越高。如图5所示，当纳米压电单元层11的直 线型纳米压电材料由于受到挤压、变形，发生弯曲，在拉伸面上为正电位，挤压面上为负电 位。由于第二衬底20上形成有第一电极和第二电极，则当直线型纳米压电材料的拉伸面与 第一电极接触，挤压面与第二电极接触，电流分别由第一电极层和第二电极层导出，处理器 根据电流流出位置可以确定触摸位置和手势动作进而实现触摸功能。
[0033] 另外，本实用新型所有实施例中，所述第一电极和所述第二电极分别可以为驱动 电极和感应电极，即所述第一电极为驱动电极，则所述第二电极为感应电极；或，所述第一 电极为感应电极，则所述第二电极为驱动电极。
[0034] 所述第一电极和所述第二电极互不接触，可以是在第一电极和第二电极之间形成 绝缘层，则所述第一电极和所述第二电极分别位于所述绝缘层的两侧，即形成在不同层。还 可以是使得第一电极在对应第二电极的位置处断开，再通过过孔等实现电连接，即第一电 极和第二电极位于同一层。本实用新型实施例以所述第一电极在对应第二电极的位置处断 开为例。
[0035] 本实用新型实施例中，所述第一衬底和第二衬底可以是衬底基板，例如可以是玻 璃基板，也可以是其他薄膜或层结构等。
[0036] 本实用新型实施例提供的一种触摸屏，通过采用纳米阵列的压电效应自发电技 术，当压力施加在触屏表面时，纳米压电单元层的直线型纳米压电材料发生弯曲，在拉伸面 上为正电位，挤压面上为负电位，而由压电效应产生压电电势和电流，随后由第一电极和第 二电极导出，从而可以确定触摸位置和手势动作，实现触摸功能。与常见的电阻屏、电容屏 相比，该触屏通过压电效应能够由触屏本身自产生电流，不需要外部电源，可以减小器件的 功耗。且压电电流是由于压力产生的，对触摸屏产生压力的可以导电体也可以是绝缘体，因 此其他带有静电的污渍、雾气等也不会影响触摸的操作，适用性更强。
[0037] 可选的，如图5所示，所述第一电极21 (图中未示出）和/或所述第二电极22表面 形成有微结构。优选的，如图6所示，所述第一电极和/或所述第二电极上还形成有辅助电 极23,所述辅助电极23表面形成有微结构。具体的，所述微结构为锯齿结构。微结构有利 于提高电极与纳米压电材料的接触性，这样当直线型的纳米材料的受到压力挤压变形时， 有利于使其拉伸面和挤压面的电流分别经所述微结构通过第一电极和第二电极输出。当然 所述微结构还可以是其它凸起结构等，本实用新型实施例仅以所述微结构为锯齿结构为例 进行详细说明。
[0038] 进一步的，所述辅助电极为金属电极，所述第一电极和所述第二电极为ΙΤ0电极。 金属层的电子迁移率高，电阻较小，但金属的附着力小，一般不利于直接形成在衬底（例如 玻璃基板）上。ΙΤ0层即（Indium tin oxide)氧化铟锡层，ΙΤ0层的电阻比金属层电阻大， 但其附着力好，形成在衬底上不易脱落。本实用新型实施例以所述第一电极层和第二电极 层为ΙΤ0层，辅助电极层为金属层进行详细说明。
[0039] 可选的，所述第一基板100还包括位于所述第一衬底10和所述纳米压电单元层11 之间的打底层12,所述纳米压电单元层11形成在所述打底层12上。
[0040] 所述打底层可以是氮化硅层等，由于形成纳米压电单元层的直线型纳米压电材料 直接形成在第一衬底，例如玻璃基板上的难度较大，因此，可以通过在玻璃基板上首先形成 氮化硅层的打底层，再在所述打底层上形成直线型纳米压电材料，这样不仅有利于直线型 纳米压电材料的制作，且直线型纳米压电材料形成在打底层上的附着性好，不易脱落。
[0041] 可选的，如图3、图5、图6所示，所述第一基板100和所述第二基板200之间还设 置有隔垫物40,所述隔垫物40使得所述纳米压电单元层11与所述第二基板200不接触， [0042] 具体的，纳米压电单元层的纳米压电材料在正常情况下，只要是直线型不受压力 发生挤压变形就不会产生电流，为了进一步保证形成的触摸屏中的纳米压电材料在不受 压力的情况下为直线型，通过隔垫物，使得其与第二基板不接触，即与第二基板上的第一电 极、第二电极以及第一电极和第二电极的辅助电极均不接触，以提高触摸屏的精准度。
[0043] 所述第一基板和第二基板之间还设置有隔垫物，所述隔垫物使得所述纳米压电单 元层与第二电极层不接触，所述隔垫物可以是如图3所示位于第一衬底10和第二衬底20 之间，还可以是位于第一电极层和第二电极层之间，本实用新型实施例仅以图3所示的为 例。且所述隔垫物还可以是封框胶。
[0044] 可选的，所述纳米压电单元层为阵列排布的直线型的纳米管、纳米条、纳米环或其 的任意组合。进一步的，形成所述纳米压电单元的材料为氧化锌。即所述纳米压电单元层的 材料为氧化锌纳米管或者为氧化锌纳米条或者为氧化锌纳米环。还可以是氧化锌纳米管、 氧化锌纳米条以及氧化锌纳米环中任意两种或三种的组合。
[0045] 当然，形成纳米压电单元的材料还可以是其他材料，例如还可以是二氧化硅、四氧 石充化镓等，本实用新型实施例仅以上述为例进行详细说明。
[0046] 优选的，所述纳米压电单元层为阵列排布的纳米管。相对于纳米条和纳米环等，纳 米管的透光率更高。
[0047] 本实用新型实施例提供了一种显示装置，包括显示屏和本实用新型实施例提供的 上述的任一种触摸屏，所述触摸屏可以是位于所述显示屏的出光侧或背光侧。
[0048] 进一步优选的，所述触摸屏的纳米压电单元层包括阵列排布的纳米管，且所述触 摸屏位于所述显示屏的出光侧。纳米管比纳米棒或纳米条的透光性好，纳米管的触摸屏可 以设置在所述触摸屏的出光面，更有利于提高触摸的精度。
[0049] 本实用新型实施例提供了一种制作本实用新型实施例提供的触摸屏的制作方法， 如图7所示，包括：
[0050] 步骤101、形成第一基板。
[0051] 具体的，所述形成第一基板包括：在第一衬底上形成纳米压电单元层。其中，所述 纳米压电单元层包括沿所述第一衬底垂直生长的直线型纳米压电材料。
[0052] 可选的，在第一衬底上形成氧化锌纳米阵列的纳米压电单元层可以是采用 PECVD (Plasma Enhanced Chemicial Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积法） 在所述第一衬底上形成氧化锌纳米阵列。
[0053] 进一步的，可以是在所述第一衬底上形成氧化锌的纳米管。且纳米管的制备可以 是在纳米线的基础上，采用〇. 3摩尔每升的氢氧化钠等碱液对已经制备完成的纳米线进行 腐蚀，且在85°C左右的水浴中腐蚀不到30分钟，即可以将纳米条刻蚀成纳米管。纳米管可 以明显提高触摸屏的透光性。
[0054] 优选的，如图8所示，在第一衬底上形成纳米压电单元层之前，所述形成第一基板 还包括：
[0055] 步骤1011a、在第一衬底上形成打底层。
[0056] 所述打底层可以是氧化硅层或氮化硅层等。所述在第一衬底上形成打底层具体可 以通过将氧化硅通过旋涂等在第一衬底表面形成一层氧化硅薄膜。
[0057] 所述在第一衬底上形成纳米压电单元层具体为：
[0058] 步骤1012a、在所述打底层上形成纳米压电单元层。
[0059] 即在形成有打底层的第一衬底上形成纳米压电单元层。具体形成纳米压电单元层 的方法可以参照上述步骤101。
[0060] 步骤102、形成第二基板。
[0061] 具体包括：在第二衬底上形成相互不接触的第一电极和第二电极，其中，所述第一 电极沿第一方向形成多排，所述第二电极沿第二方向形成多排，所述第一方向和所述第二 方向不同。
[0062] 具体的，如图9所示，所述形成第二基板包括：
[0063] 步骤1021a、在第二衬底上形成相互不接触的第一电极和第二电极。
[0064] 其中，所述第一电极沿第一方向形成多排，所述第二电极沿第二方向形成多排，所 述第一方向和所述第二方向不同。
[0065] 具体的，可以在第二衬底上形成第一电极，再在所述第一电极与第二电极的交叉 位置处形成绝缘层，再在第二衬底上形成第二电极。还可以是通过一次构图工艺形成互不 接触的第一电极和第二电极，其中第一电极可以是沿第一方向形成多排，且位于同一排的 第一电极直接接触电连接，第二电极沿第二方向形成多排，位于同一排的第二电极在第一 电极处断开，再通过连接线将位于同一排的第二电极电连接。
[0066] 可选的，所述在第二衬底上形成相互不接触的第一电极和第二电极形成第二基板 还具体包括：在所述第一电极和/或所述第二电极表面形成微结构。
[0067] 可选的，所述形成第二基板（即上述步骤102)还包括：
[0068] 步骤1022a、在所述第一电极和/或所述第二电极上形成辅助电极，所述辅助电极 表面形成有微结构。
[0069] 步骤103、将所述第一基板和所述第二基板对盒。
[0070] 具体包括：在所述第一基板和所述第二基板之间形成隔垫物，再将所述第一基板 和所述第二基板对盒，所述隔垫物使得所述纳米压电单元层与所述第二基板不接触。
[0071] 本实用新型实施例提供了一种触摸屏，如图10所示，包括：相对的第一基板100和 第二基板200,所述第二基板200包括第二衬底20以及设置在所述第二衬底20上的第二电 极22,其中所述第二电极22沿第二方向形成多排；所述第一基板100包括第一衬底10、设 置在所述第一衬底10上的第一电极21以及纳米压电单元层11，其中，所述第一电极21沿 第一方向形成多排，所述第一方向和所述第二方向不同（所述第一电极21和第二电极22 的俯视示意图如图3所示）；如图10所示，所述纳米压电单元层11至少在对应第一电极21 和第二电极22交叉的位置处包括沿所述第一衬底10平行生长的至少一层直线型压电材料 层。
[0072] 所述沿所述第一衬底平行生长的至少一层直线型纳米压电材料层，即所述至少一 层直线型纳米压电材料层与所述第一衬底平行。需要说明的是，位于一层的直线型纳米压 电材料可以是相互平行的，还可以是在三维空间杂乱排布。所述直线型纳米材料是指所述 纳米材料的中心轴为直线，当位于一层的直线型纳米压电材料相互平行，即所述直线型纳 米压电材料的中心轴与所述第一衬底平行。
[0073] 所述纳米压电单元层在对应第一电极和第二电极交叉的位置处包括沿所述第一 衬底平行生长的至少一层直线型压电材料，即所述纳米压电单元层可以是仅在对应第一电 极和第二电极交叉的位置处包括沿所述第一衬底平行生长直线型压电材料。如图11所示， 当纳米压电单元层11的直线型纳米压电材料由于受到挤压、变形，发生弯曲，在拉伸面上 为正电位，挤压面上为负电位。挤压面与第一衬底10上的第一电极21直接接触电连接；拉 伸面与第二衬底20上的第二电极22直接接触电连接，电流分别由第一电极层和第二电极 层导出，处理器根据电流流出位置可以确定触摸位置和手势动作进而实现触摸功能。
[0074] 所述纳米压电单元层在对应第一电极和第二电极交叉的位置处包括沿所述第一 衬底平行生长的至少一层直线型压电材料。即所述纳米压电单元层可以包括一层直线型压 电材料，还可以是包括多层直线型压电材料，且所述多层直线型压电材料产生的压电串联， 可以进一步增大压电电流，以提高触摸灵敏度。如图10所示，本实用新型实施例中均以所 述纳米压电单元层包括多层纳米压电材料为例进行详细说明。
[0075] 需要说明的是，所述第一方向和所述第二方向不同，即所述第一方向和所述第二 方向必然相交。本实用新型实施例，如图4所示，均以所述第一方向101和第二方向102垂 直为例进行详细说明。
[0076] 本实用新型实施例提供的一种触摸屏，通过采用纳米阵列的压电效应自发电技 术，当压力施加在触屏表面时，纳米压电单元层的直线型纳米压电材料发生弯曲，在拉伸面 上为正电位，挤压面上为负电位，而由压电效应产生压电电势和电流，随后由第一电极和第 二电极导出，从而可以确定触摸位置和手势动作。与常见的电阻屏、电容屏相比，该触屏通 过压电效应能够由触屏本身自产生电流，不需要外部电源，可以减小器件的功耗。且压电电 流是由于压力产生的，因此其他带有静电的污渍、雾气等也不会影响触摸的操作，适用性更 强。
[0077] 可选的，如图12所示，所述第二电极22与所述纳米压电单元层11相对的一面包 括多个微结构。可选的，如图13所示，所述第二电极22上面还形成有辅助电极23,所述辅 助电极23与所述纳米压电单元层11相对的一面包括多个微结构。具体的，所述微结构为 锅齿结构。
[0078] 微结构有利于提高电极与纳米压电材料的接触性，这样当纳米材料的受到压力挤 压变形时，有利于使其拉伸面和挤压面的电流分别经所述微结构通过第一电极和第二电极 输出。当然所述微结构还可以是其它凸起结构等，本实用新型实施例仅以所述微结构为锯 齿结构为例进行详细说明。
[0079] 可选的，所述辅助电极为金属电极，所述第一电极和所述第二电极为ΙΤ0电极。金 属层的电子迁移率高，电阻较小，但金属的附着力小，一般不利于直接形成在衬底（例如玻 璃基板）上。ΙΤ0层即（Indium tin oxide)氧化铟锡层，ΙΤ0层的电阻比金属层电阻大，但 其附着力好，形成在衬底上不易脱落。本实用新型实施例以所述第一电极层和第二电极层 为ΙΤ0层，辅助电极层为金属层进行详细说明。
[0080] 可选的，所述纳米压电单元层包括沿所述第一衬底平行生长的多层直线型压电材 料层，位于同一层的直线型压电材料相互平行。
[0081] 即如图14所示，位于同一层的直线型压电材料相互平行。当纳米压电单元层包括 多层直线型压电材料层，多层直线型压电材料层相互接触，产生的压电电流串联，有利于增 大压电电流。
[0082] 当然，位于同一层的直线型压电材料还可以是在三维空间杂乱排布。本实用新型 实施例仅以位于同一层的直线型压电材料相互平行为例进行详细说明。
[0083] 可选的，如图10-图13所示，所述第一基板100和所述第二基板200之间还设置 有隔垫物40,所述隔垫物40使得所述纳米压电单元层11与所述第二基板200不接触。 [0084] 具体的，纳米压电单元层的纳米压电材料在正常情况下，只要是直线型不受压力 发生挤压变形就不会产生电流，为了进一步保证形成的触摸屏中的纳米压电材料在不受 压力的情况下为直线型，通过隔垫物，使得其与第二基板不接触，即与第二基板上的第一电 极、第二电极以及第一电极和第二电极的辅助电极均不接触，以提高触摸屏的精准度。
[0085] 所述第一基板和第二基板之间还设置有隔垫物，所述隔垫物使得所述纳米压电单 元层与第二电极层不接触，所述隔垫物可以是如图10-图13所示位于第一衬底10和第二 衬底20之间，还可以是位于第一电极层和第二电极层之间，本实用新型实施例仅以图示的 为例。且所述隔垫物还可以是封框胶。
[0086] 可选的，所述纳米压电单元层包括直线型的纳米管、纳米条或纳米环或其的任意 组合。
[0087] 进一步可选的，所述直线型压电材料为氧化锌。即所述纳米压电单元层的材料为 氧化锌纳米管或者为氧化锌纳米条或者为氧化锌纳米环。还可以是氧化锌纳米管、氧化锌 纳米条以及氧化锌纳米环中任意两种或三种的组合。
[0088] 当然，形成纳米压电单元的材料还可以是其他材料，例如还可以是二氧化硅、四氧 石充化镓等，本实用新型实施例仅以上述为例进行详细说明。
[0089] 优选的，所述纳米压电单元层为阵列排布的纳米管。相对于纳米条和纳米环等，纳 米管的透光率更高。
[0090] 本实用新型实施例提供了一种显示装置，包括显示屏和本实用新型实施例提供的 上述的任一种触摸屏，所述触摸屏可以是位于所述显示屏的出光侧或背光侧。
[0091] 进一步优选的，所述触摸屏的纳米压电单元层包括阵列排布的纳米管，且所述触 摸屏位于所述显示屏的出光侧。纳米管比纳米棒或纳米条的透光性好，纳米管的触摸屏可 以设置在所述触摸屏的出光面，更有利于提高触摸的精度。
[0092] 本实用新型实施例提供了一种制作本实用新型实施例提供的触摸屏的制作方法， 如图7所示，包括：
[0093] 步骤102、形成第二基板。
[0094] 具体包括：在第二衬底上形成沿第二方向形成多排的第二电极。
[0095] 如图15所示，上述步骤102包括：
[0096] 步骤1021b、在第二衬底上形成沿第二方向形成多排的第二电极。
[0097] 在第二衬底上形成沿第二方向形成多排的第二电极可以是通过形成导电薄膜，通 过构图工艺等形成沿第二方向形成的第二电极。
[0098] 且所述第二电极表面在与所述纳米压电单元层相对的一面包括多个微结构。在第 二电极表面形成微结构也可以通过构图工艺形成。
[0099] 还可以包括：
[0100] 步骤1022b、在第二电极上面形成辅助电极，所述辅助电极与所述纳米压电单元层 相对的表面包括多个微结构。
[0101] 步骤101、形成第一基板。
[0102] 具体包括：在第一衬底上形成沿第一方向形成多排的第一电极和纳米压电单元 层，所述第一方向和所述第二方向不同；所述纳米压电单元层在对应第一电极和第二电极 交叉的位置处包括沿所述第一衬底平行生长的至少一层直线型压电材料层。
[0103] 具体的，如图16所示，步骤101包括：
[0104] 步骤1011b、在第一衬底上形成沿第一方向形成多排的第一电极。
[0105] 其中，所述第一方向和所述第二方向不同。且优选的，所述第一方向和所述第二方 形垂直。
[0106] 步骤1011b、在第一电极表面与第二电极交叉的位置处形成纳米压电单元层。
[0107] 所述纳米压电单元层在对应第一电极和第二电极交叉的位置处包括沿所述第一 衬底平行生长的至少一层直线型压电材料层。
[0108] 具体的，在第一衬底上形成第一电极可以是通过在第一衬底上形成导电薄膜，通 过构图工艺等形成沿第一方向形成的第一电极。
[0109] 在第一电极表面与第二电极交叉的位置处形成纳米压电单元层，具体可以是通过 掩膜将第一电极和第二电极交叉的位置处露出，而将其他部分遮住，以通过PECVD在所述 第一电极和第二电极交叉的位置处形成氧化锌纳米阵列。
[0110] 步骤103、将所述第一基板和所述第二基板对盒。
[0111] 所述将所述第一基板和所述第二基板对盒具体包括：
[0112] 在所述第一基板和所述第二基板之间形成隔垫物，再将所述第一基板和所述第二 基板对盒，所述隔垫物使得所述纳米压电单元层与所述第二基板不接触。
[0113] 需要说明的是，本实用新型实施例提供的触摸屏的制作方法不局限于本实用新型 实施例提供的制作方法，还可以根据具体的制作调整相应的步骤顺序等。例如步骤101和 步骤102的制作没有具体的制作顺序的限制，可以根据需要调整。
[0114] 以上所述，仅为本实用新型的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限 于此，任何熟悉本【技术领域】的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化 或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权 利要求的保护范围为准。
【权利要求】
1. 一种触摸屏，其特征在于，包括：相对的第一基板和第二基板，所述第一基板包括第 一衬底以及形成在所述第一衬底上的纳米压电单元层，其中，所述纳米压电单元层包括沿 所述第一衬底垂直生长的直线型纳米压电材料；所述第二基板包括第二衬底以及形成在所 述第二衬底上相互不接触的第一电极和第二电极，其中，所述第一电极沿第一方向形成多 排，所述第二电极沿第二方向形成多排，所述第一方向和所述第二方向不同。
2. 根据权利要求1所述的触摸屏，其特征在于，所述第一电极和/或所述第二电极表面 形成有微结构。
3. 根据权利要求1所述的触摸屏，其特征在于，所述第一电极和/或所述第二电极上还 形成有辅助电极，所述辅助电极表面形成有微结构。
4. 根据权利要求2或3所述的触摸屏，其特征在于，所述微结构为锯齿结构。
5. 根据权利要求3所述的触摸屏，其特征在于，所述辅助电极为金属电极，所述第一电 极和所述第二电极为ITO电极。
6. 根据权利要求1所述的触摸屏，其特征在于，所述第一基板还包括位于所述第一衬 底和所述纳米压电单元层之间的打底层，所述纳米压电单元层形成在所述打底层上。
7. 根据权利要求1所述的触摸屏，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板之间设 置有隔垫物，所述隔垫物使得所述纳米压电单元层与所述第二基板不接触。
8. 根据权利要求1所述的触摸屏，其特征在于，所述纳米压电单元层为阵列排布的直 线型的纳米管、纳米条或纳米环。
9. 根据权利要求8所述的触摸屏，其特征在于，形成所述纳米压电单元的材料为氧化 锌。
10. 根据权利要求1所述的触摸屏，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向垂直。
11. 一种触摸屏，其特征在于，包括：相对的第一基板和第二基板，所述第二基板包括 第二衬底以及设置在所述第二衬底上的第二电极，其中所述第二电极层沿第二方向形成多 排；所述第一基板包括第一衬底、设置在所述第一衬底上的第一电极以及纳米压电单元层， 其中，所述第一电极沿第一方向形成多排，所述第一方向和所述第二方向不同；所述纳米压 电单元层在对应第一电极和第二电极交叉的位置处包括沿所述第一衬底平行生长的至少 一层直线型压电材料层。
12. 根据权利要求11所述的触摸屏，其特征在于，所述第二电极与所述纳米压电单元 层相对的表面形成有微结构。
13. 根据权利要求11所述的触摸屏，其特征在于，所述第二电极上还形成有辅助电极， 所述辅助电极与所述纳米压电单元层相对的表面形成有微结构。
14. 根据权利要求12或13所述的触摸屏，其特征在于，所述微结构为锯齿结构。
15. 根据权利要求13所述的触摸屏，其特征在于，所述辅助电极为金属电极，所述第一 电极和所述第二电极为ITO电极。
16. 根据权利要求11所述的触摸屏，其特征在于，所述纳米压电单元层包括沿所述第 一衬底平行生长的多层直线型压电材料层，且每一直线型压电材料层包括多个平行的直线 型压电材料。
17. 根据权利要求11所述的触摸屏，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板之间 设置有隔垫物，所述隔垫物使得所述纳米压电单元层与所述第二基板不接触。
18. 根据权利要求11或16所述的触摸屏，其特征在于，所述直线型压电材料层包括直 线型的纳米管、纳米条或纳米环。
19. 根据权利要求18所述的触摸屏，其特征在于，所述纳米压电单元层的材料为氧化 锌。
20. 根据权利要求11所述的触摸屏，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向垂直。
21. -种显示装置，其特征在于，包括显示屏以及权利要求1-20任一项所述的触摸屏， 所述触摸屏位于所述显示屏的出光侧或背光侧。
22. 根据权利要求21所述的显示装置，其特征在于，所述触摸屏的纳米压电单元层包 括阵列的纳米管，所述触摸屏位于所述显示屏的出光侧。
【文档编号】G06F3/044GK203909775SQ201420334658
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2014年6月20日 优先权日:2014年6月20日
【发明者】刘广辉, 李文波, 杨添 申请人:京东方科技集团股份有限公司