本发明涉及半导体器件制造技术领域，尤其涉及一种针对离子注入程式的自动化程式管理装置及方法。
背景技术：
目前，在芯片制造过程中，离子注入是十分重要的工艺环节，通常利用离子注入机台完成。但是，该工艺无法像其他工艺一样用膜厚、关键性尺寸等手段进行在线监控，一旦离子注入程式有误，到电性测试时才能发现，会造成重大损失。
针对上述问题，业界通行做法为：在程式建立后，安排工程师对程式进行复检，以在使用程式前修正程式错误。但是，鉴于程式参数众多和机台软件的复杂性，工程师复检也难以100％检出错误。
技术实现要素：
针对现有技术中存在的问题，本发明提供了一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置及方法，用于对varian离子注入机台的程式进行正确性检查，不仅节省人工检查时的人力，而且能保证100％检出程式错误，将错误扼杀在跑货前，避免程式错误造成的损失。本发明采用如下技术方案：
一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置，所述自动化程式管理装置与多个离子注入机台通信连接；所述自动化程式管理装置包括：
接收单元，所述接收单元用于提供给用户输入选择命令，以从多个所述离子注入机台中选择目标机台；
下载单元，所述下载单元连接所述接收单元，用于在所述接收单元选择所述目标机台后，从所述目标机台下载相应的待检查程式文件；
参数收集单元，所述参数收集单元连接所述下载单元，用于根据预设的导弹攻击策略对所述待检查程式文件中的每个程式分别收集待检查参数，并生成待检查参数报表，所述导弹攻击策略为根据所述待检查文件的文件格式逐行遍历所述待检查文件以获取所述待检查参数；
程式正确性检查单元，所述程式正确性检查单元连接参数收集单元，用于对所述待检查参数报表进行正确性检查以获得对应所述待检查程式文件的检查结果，并输出所述检查结果。
优选的，所述自动化程式管理装置设置于一客户端，所述客户端与多个所述离子注入机台的机台服务器之间采用分布式c/s结构通信连接。
优选的，所述程式正确性检查单元采用模块化检查规则管理方式，自动检查所述待检查程式文件中的每个所述程式及相应的待检查参数是否正确，并利用绿红黄白四种颜色标识不同参数。
优选的，所述程式正确性检查单元通过如下步骤对所述待检查程式文件中的每个所述程式及相应的所述待检查参数进行正确性检查：
检查程式名；
如果所述程式为非标准命名，用白色标识所述程式，并转到下一所述程式；
如果所述程式为标准命名但命名有误，用黄色标识所述程式，并转到下一所述程式；
如果所述程式为标准命名且命名无误，则从所述程式名析出参数目标值，检查实际设置值与之是否相符，以及检查程式名未列出但需要监控的参数是否正确：
如果都正确，则用绿色标识待检查参数及程式名；否则，用绿色标识正确参数，用红色标识错误参数和程式名。
优选的，所述待检查参数收集单元先定义待收集参数名数组和待收集参数数组，根据所述待检查程式文件的文件格式定位每个所述程式的起始位置，并根据所述待检查程式文件的文件格式逐行遍历所述待检查程式文件，并从所述待检查程式文件的每一行中析出参数名，并判断析出的参数名是否位于待收集参数名数组中，若是，则将当前行的参数值置于待收集参数数组对应位置，若否，则转到当前程式下一行。
一种针对离子注入机台的自动化程式管理方法，包括：
步骤s1、接收用户输入的选择命令，从多个离子注入机台中选择目标机台；
步骤s2、于接收到所述选择命令后，根据所述选择命令从所述目标机台的服务器下载待检查程式文件；
步骤s3、采用根据所述待检查文件的文件格式逐行遍历所述待检查文件的导弹攻击策略分别对所述待检查文件中的每个所述程式收集待检查参数，生成待检查参数报表；
步骤s4、对所述待检查参数报表进行正确性检查以获得对应所述待检查程式文件的检查结果，并输出所述检查结果。
优选的，所述自动化程式管理装置设置于一客户端，所述客户端与多个所述离子注入机台的机台服务器之间采用分布式c/s结构通信连接。
优选的，所述步骤s4中，采用模块化检查规则管理方式，自动检查所述待检查程式文件中的每个所述程式及相应的待检查参数是否正确，并利用绿红黄白四种颜色标识不同参数。
优选的，所述步骤s4中进一步包括对所述待检查程式文件中的每个所述程式及相应的所述待检查参数进行正确性检查，对所述待检查参数进行正确性检查具体步骤如下：
如果所述程式为非标准命名，用白色标识所述程式，并转到下一所述程式；
如果所述程式为标准命名但命名有误，用黄色标识所述程式，并转到下一所述程式；
如果所述程式为标准命名且命名无误，则从所述程式名析出参数目标值，检查实际设置值与之是否相符，以及检查程式名未列出但需要监控的参数是否正确：
如果都正确，则用绿色标识待检查参数及程式名；否则，用绿色标识正确参数，用红色标识错误参数和程式名。
优选的，所述步骤s3包括：
步骤s31、先定义待收集参数名数组和待收集参数数组；
步骤s32、根据所述待检查程式文件的文件格式定位每个所述程式的起始位置；
步骤s33、根据所述待检查程式文件的文件格式逐行遍历所述待检查程式文件，并从所述待检查程式文件的每一行中析出参数名，判断析出的参数名是否位于待收集参数名数组中：
若判断结果为是，将当前行的参数值置于所述待收集参数数组对应位置；
若判断结果为否，则转到当前所述程式下一行。
本发明的有益效果：可以自动对varian离子注入机台的离子注入程式进行正确性检查，不仅节省人工检查时的人力，而且更能保证100％检出程式错误，避免程式错误造成的损失。
附图说明
图1为本发明的一种优选实施例中，一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置的系统架构图；
图2为本发明的一种优选实施例中，一种针对离子注入机台的自动化程式管理方法的流程示意图；
图3为本发明的一种优选实施例中，步骤s3的流程示意图；
图4为现有技术中，采用炸弹攻击策略的流程示意图；
图5为本发明的一种具体实施例中，采用炮弹攻击策略的流程示意图.
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，下述技术方案，技术特征之间可以相互组合。
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明：
如图1所示，一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置，上述自动化程式管理装置与多个离子注入机台通信连接；上述自动化程式管理装置包括：
接收单元1，上述接收单元1用于提供给用户输入选择命令，以从多个上述离子注入机台中选择目标机台；
下载单元2，上述下载单元2连接上述接收单元1，用于在上述接收单元1选择上述目标机台后，从上述目标机台下载相应的待检查程式文件；
参数收集单元3，上述参数收集单元3连接上述下载单元2，用于根据预设的导弹攻击策略对上述待检查程式文件中的每个程式分别收集待检查参数，并生成待检查参数报表，上述导弹攻击策略为采用先逐列遍历上述待检查程式文件的标题行、再逐行遍历上述待检查文件以获取上述待检查参数；
程式正确性检查单元4，上述程式正确性检查单元4连接参数收集单元3，用于对上述待检查单元4进行正确性检查以获得对应上述待检查程式文件的检查结果，并输出上述检查结果。
在本实施例中，通过在客户端设置自动化程式正确性管理装置，将程式从varian离子注入机台分布式服务器下载到客户端，并采用先逐列遍历程式文件标题行、再逐行遍历程式文件的“导弹攻击”策略将程式中的待检查参数收集到软件中，然后根据程式命名规则及用户定义规则检查参数的正确性，用醒目颜色区分参数的正确与错误，能自动对varian机台程式进行正确性检查，不仅节省了人工检查时的人力，而且更能保证100％检出程式错误，将错误扼杀在跑货前，避免程式错误造成的损失。
较佳的实施例中，上述自动化程式管理装置设置于一客户端，上述客户端与多个上述离子注入机台的机台服务器之间采用分布式c/s结构通信连接。
较佳的实施例中，上述程式正确性检查单元4采用模块化检查规则管理方式，自动检查上述待检查程式文件中的每个上述程式及相应的待检查参数是否正确，并利用绿红黄白四种颜色标识不同参数。
较佳的实施例中，上述程式正确性检查单元4通过如下步骤对上述待检查程式文件中的每个上述程式及相应的上述待检查参数进行正确性检查：
检查程式名；
如果上述程式为非标准命名，用白色标识上述程式，并转到下一上述程式；
如果上述程式为标准命名但命名有误，用黄色标识上述程式，并转到下一上述程式；
如果上述程式为标准命名且命名无误，则从上述程式名析出参数目标值，检查实际设置值与之是否相符，以及检查程式名未列出但需要监控的参数是否正确：
如果都正确，则用绿色标识待检查参数及程式名；否则，用绿色标识正确参数，用红色标识错误参数和程式名。
较佳的实施例中，上述待检查参数收集单元3先定义待收集参数名数组和待收集参数数组，根据上述待检查程式文件的文件格式定位每个上述程式的起始位置，并根据上述待检查程式文件的文件格式逐行遍历上述待检查程式文件，并从上述待检查程式文件的每一行中析出参数名，并判断析出的参数名是否位于待收集参数名数组中，若是，则将当前行的参数值置于待收集参数数组对应位置，若否，则转到当前程式下一行。
如图2所示，一种针对离子注入机台的自动化程式管理方法，包括：
步骤s1、接收用户输入的选择命令，从多个离子注入机台中选择目标机台；
步骤s2、于接收到上述选择命令后，根据上述选择命令从上述目标机台的服务器下载待检查程式文件；
步骤s3、采用根据上述待检查文件的文件格式逐行遍历上述待检查文件的导弹攻击策略分别对上述待检查文件中的每个上述程式收集待检查参数，生成待检查参数报表；
步骤s4、对上述待检查参数报表进行正确性检查以获得对应上述待检查程式文件的检查结果，并输出上述检查结果。
较佳的实施例中，上述自动化程式管理装置设置于一客户端，上述客户端与多个上述离子注入机台的机台服务器之间采用分布式c/s结构通信连接。
较佳的实施例中，上述步骤s4中，采用模块化检查规则管理方式，自动检查上述待检查程式文件中的每个上述程式及相应的待检查参数是否正确，并利用绿红黄白四种颜色标识不同参数。
较佳的实施例中，上述步骤s4中进一步包括对上述待检查程式文件中的每个上述程式及相应的上述待检查参数进行正确性检查，对上述待检查参数进行正确性检查具体步骤如下：
步骤a1、检查程式名，以判断程式名是都为标准命名以及是否命名有误：
若上述程式为非标准命名，用白色标识上述程式，并转到下一上述程式；
若上述程式为标准命名但命名有误，用黄色标识上述程式，并转到下一上述程式；
若上述程式为标准命名且命名无误，则从上述程式名析出参数目标值，检查实际设置值与之是否相符，以及检查程式名未列出但需要监控的参数是否正确：
若上述程式为标准命名且命名无误且程式名未列出但需要监控的参数都正确，则用绿色标识待检查参数及程式名；否则，用绿色标识正确参数，用红色标识错误参数和程式名。
较佳的实施例中，如图3所示，上述步骤s3包括：
步骤s31、先定义待收集参数名数组和待收集参数数组；
步骤s32、根据上述待检查程式文件的文件格式定位每个上述程式的起始位置；
步骤s33、根据上述待检查程式文件的文件格式逐行遍历上述待检查程式文件，并从上述待检查程式文件的每一行中析出参数名，判断析出的参数名是否位于待收集参数名数组中：
若判断结果为是，将当前行的参数值置于上述待收集参数数组对应位置；
若判断结果为否，则转到当前上述程式下一行。
在一个具体实施例中，本发明一种自动化程式管理装置可设置于客户端，其与机台服务器采用分布式c/s(客户端/服务器)结构，可采用ftp技术连接机台服务器，实现用户选择机台下载程式，以避免用户直接操作服务器文件可能造成的危害，接收单元1提供一操作界面以供用户输入选择命令，用户只需在界面中选择待检查程式所在机台服务器(待检查的目标机台服务器)输入选择命令，下载单元2可自动从所选机台服务器下载待检查程式文件，用户通过客户端的下载单元2从目标机台导出待检查程式文件后，只需在自动化程式管理装置的自动化程式正确性管理软件界面中点击“导入”，自动化程式管理装置(或者说自动化程式管理软件)即可自动从程式文件中收集待检查参数、自动检查程式正确性。
其中，待检查程式文件以半格式化文本流形式存储，格式复杂：文件头定义了文件包含几个程式组，程式组间以程式组行分界；程式组行定义了程式组名、程式组中包含了几个程式，程式间以程式名行分界；程式包含若干参数组，以参数组行分界；参数组行定义了参数组名、参数组中包含了几个参数行；参数行定义了参数名、参数值。
由于现有技术中，离子注入机台的自动化程式的数据收集过程通常使用“炸弹攻击”算法，像轰炸机投放炸弹一样，只能炸固定目标，无法炸移动目标。例如，现需要收集程式的能量、剂量、源种，分别对应程式第3、5、8行，那么只需要按顺序取每个程式的第3、5、8行即可得到能量、剂量、源种，这是半导体行业eap(事件分析程序)的标准算法。但是，如果在程式原第二行与原第三行之间新增一项参数，那么能量、剂量、源种三项将分别对应新版本程式第4、6、9行。如果按照原算法，取到的参数将不是能量、剂量、源种，所以此时应修改程序，取程式第4、6、9行，所以该算法有参数位置敏感、维护频繁、易错报据等缺点，其具体算法流程如图4所示。
故本发明采用了“导弹攻击”策略，像攻击机发射导弹一样，可以攻击移动目标。具体的，先定义待收集参数名数组和待收集参数数组；然后根据上述文件格式，找到每个程式的起始位置，并根据文件格式逐行遍历该程式，从行中析出参数名，判断是否位于待收集参数名数组中：如果是，则将当前行的参数值置于待收集参数数组对应位置；如果否，则转到程式下一行。那么，即使目标参数位置变化，该算法不需任何修改也能准确地取到目标参数。算法流程如5所示。
综上上述，本发明提出一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置及方法，由机台端(包括多个离子注入机台)、自动化程式管理装置(其设有程式管理软件)组成。能够实现程式正确性复检自动化，100％检出程式错误。采用“导弹攻击”策略从程式中收集待检查参数，防止程式结构变化造成的误报警、未报警，同时能降低程序维护频度。
通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。
对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。