1.一种计算机实现的方法，所述方法用于从利用光学检查装置捕获的结构的表面的多维图像数据中检测结构的变形，所述方法包括：
在处理器处提供所述多维图像数据，所述图像数据包括使用所述光学检查装置测量的多个数据点，每个数据点包括：
位置数据，其在至少两个维度上标识在所述表面上捕获了相应数据点的相应位置；和
特征值数据，其至少包括使用所述检查装置测量的相应数据点的相应特征值z；
用处理器将表面划分模型应用于所述图像数据，包括以下步骤：
将所述图像数据表示的所述表面划分为多个平行四边形形状的平面，以及
将每个所述平行四边形形状的平面分别细分为两个三角形平面；
用所述处理器计算每个所述三角形平面的近似特征值v，基于在相应的三角形平面内的一个或多个数据点的测量的特征值计算相应的三角形平面的近似特征值；
利用所述处理器基于所述特征值为多个数据点中的每一个计算调整后的特征值z，其中基于针对相应数据点的测量的特征值z和针对相应数据点在其内的三角形平面的计算的近似特征值v，计算针对相应数据点的调整后的特征值；
使用所述处理器基于每个数据点的调整后的特征值z，生成所述表面的处理后的多维图像，其中所述处理后的多维图像的数据集与提供的图像数据中的数据集不同；和
利用使用图形显示器的所述处理器输出所述表面的处理后的多维图像，其中所述处理后的多维图像以图形表示描绘了在细分的图像数据的相应三角形平面内检测到的表面的变形。
2.根据权利要求1所述的方法，其中计算用于包括在处理后的多维图像中的调整后的特征值z的步骤还包括：对于给定的三角形平面及其各个数据点中的每个，将计算的近似特征值v从每个所述相应数据点的测量的特征值z进行基线减去。
3.根据权利要求1所述的方法，其中根据三角平面等式并且基于与各个三角平面的各个顶点相对应的测量数据点，计算各个三角平面的近似特征值v。
4.根据权利要求1所述的方法，其中基于调整后的特征值z生成的处理后的多维图像以图形表示方式描绘了在给定三角形平面内发生的测量到的特征值z的变化，其相对于在包括多个三角形平面的区域上出现的测量特征值z的变化具有更大的重点。
5.根据权利要求1所述的方法，其进一步包含：
使用所述处理器生成表面划分模型，该表面划分模型指定多个平行四边形形状的平面的数量作为由图像数据表示的表面的尺寸和与要从图像数据中检测到的变形相对应的特征的尺寸的函数。
6.根据权利要求1所述的方法，其中提供步骤包括：
使用所述检查装置，使用所述光学检查装置测量所述多个数据点；和
生成所述多维图像数据。
7.根据权利要求6所述的方法，其中所述特征值数据是使用所述检查装置捕获的衍射辐射的色调的量度。
8.根据权利要求1所述的方法，其中所述平行四边形平面的形状为矩形。
9.根据权利要求1所述的方法，其中所述三角形平面是直角三角形平面。
10.根据权利要求1所述的方法，其中每个平行四边形平面还沿着在其两个顶点之间延伸的对角线划分，使得所述对角线限定两个相应的三角形平面的共享边缘。
11.根据权利要求1所述的特征值z，其中针对各个三角形平面计算的近似特征值v被表示为值、向量和等式中的一个或多个，并且从相应三角形平面内的一个或多个数据点的测量的特征值z计算。
12.根据权利要求12所述的方法，其中从位于相应三角形平面的三个顶点处的数据点的测量的特征值z计算相应三角形平面的近似特征值z。
13.一种用于从由光学检查装置捕获的结构的表面的多维图像数据检测所述结构的变形的系统，所述系统包括：
计算机可读存储介质；
通信接口；
显示器；
一个或多个处理器，其被配置为访问所述存储介质并与所述通信接口和所述显示器进行操作性通信；和
软件模块，其存储在所述存储介质上并且可由所述处理器执行，其中所述软件模块包括：
通信模块，其当由所述处理器执行时将所述处理器配置为使用所述通信接口接收包括使用所述光学检查装置测量的多个数据点的所述多维图像数据，所述数据点包括：位置数据，其在至少两个维度上标识在所述表面上捕获了相应数据点的相应位置；以及特征值数据，其至少包括使用所述检查装置测量的相应数据点的相应特征值z；
表面划分模块，其在由所述处理器执行时配置所述处理器以根据表面划分模型将由图像数据表示的表面划分为多个平行四边形形状的平面，并且分别细分每个平行四边形形状的平面为两个三角形平面；
特征检测模块，其当由所述处理器执行时将所述处理器配置为为每个三角形平面计算相应的近似特征值v，其中基于相应三角形平面内的一个或多个数据点的测量的特征值v计算相应三角形平面的近似特征值v，以及
其中所述特征检测模块还配置所述处理器以为多个数据点中的每一个计算调整后的特征值z，其中基于针对相应数据点的测量的特征值z和针对相应数据点在其内的三角形平面的计算的近似特征值v，计算针对相应数据点的调整后的特征值z；和
图像生成模块，其当由所述处理器执行时将所述处理器配置为基于每个数据点的所述调整后的特征值z生成所述表面的已处理多维图像，其中所述已处理多维三维图像的数据集不同于接收到的图像数据中的数据集，并且进一步配置所述处理器以使用所述显示器输出所述表面的所述已处理多维图像，其中所述已处理多维图像以图形表示描绘了在所述表面的相应三角形平面内的检测到的表面变形。
14.根据权利要求13所述的系统，其中根据三角平面等式并且基于与各个三角平面的各个顶点相对应的测量数据点，计算各个三角平面的近似特征值v。
15.根据权利要求13所述的系统，其中包括在所述已处理多维图像中的调整后的特征值z是通过对于给定的三角形平面将计算的近似特征值v从所述给定的三角形平面中的每个相应数据点的测量的特征值z进行基线减去计算的。
16.根据权利要求13所述的系统，其进一步包括：
光学检查装置，其被配置为测量多个数据点并生成所述多维图像数据。
17.根据权利要求13所述的系统，其中所述表面划分模块还配置所述处理器以生成表面划分模型，所述表面划分模型指定多个平行四边形形状的平面的数量作为由图像数据表示的表面的尺寸和与要从图像数据中检测到的变形相对应的特征的尺寸的函数。