技术特征：
技术总结
本发明提供一种能够准确地判别在基板处理装置中基板是否被正常处理的数据处理方法。数据处理方法包括：期间设定步骤(S102)，对由基板处理装置(20)得到的时序数据(7)求取上升期间、稳定期间及下降期间；以及评价值计算步骤(S103)，求取上升期间的评价值、稳定期间的评价值及下降期间的评价值作为时序数据(7)的评价值。在期间设定步骤中，求取从控制信号变化起至时序数据(7)收敛至包括目标水平的第一范围内的期间作为上升期间，求取从控制信号变化起至时序数据(7)收敛至包括初始水平的第二范围内的期间作为下降期间，求取上升期间与下降期间之间的期间作为稳定期间。
技术研发人员：犹原英司;山本麻友美
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2019.01.31
技术公布日：2019.08.16