识别划片槽掩模版图中标记图形的方法和计算机设备与流程

文档序号:20965542发布日期:2020-06-02 22:16阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种识别划片槽掩模版图中标记图形的方法,其特征在于,包括以下步骤:

在划片槽掩模板版图中获取实际标记图形;

提取所述实际标记图形的实际特征点;

根据所述实际特征点,预测所述实际标记图形的实际边界框;

在划片槽掩模板数据包中获取预定标记图形的预定特征点,所述预定标记图形是与所述实际标记图形相关的图形;

根据所述预定特征点,预测所述预定标记图形的预定边界框;

确定所述实际边界框与经过矩阵变换后的预定边界框是否一致;

当所述实际边界框与经过矩阵变换后的预定边界框一致时,确定所述实际特征点与经过矩阵变换后的所述预定特征点是否一致;

当所述实际特征点与经过矩阵变换后的所述预定特征点一致时,确定所述实际标记图形正确。

2.根据权利要求1所述识别划片槽掩模版图中标记图形的方法,其特征在于,所述确定所述实际边界框与经过矩阵变换后的预定边界框是否一致,包括:

确定所述实际边界框的顶点,以及所述经过矩阵变换后的预定边界框的顶点;

获取所述实际边界框的顶点的第一坐标,以及所述经过矩阵变换后的预定边界框的顶点的第二坐标;

当所述第一坐标和所述第二坐标之间的差值低于差值阈值时,确定所述实际边界框与所述经过矩阵变换后的预定边界框一致。

3.根据权利要求2所述识别划片槽掩模版图中标记图形的方法,其特征在于,所述确定所述实际边界框与所述经过矩阵变换后的预定边界框是否一致之后,还包括:

在所述划片槽掩模板版图数据包中存储所述预定特征点的坐标。

4.根据权利要求1所述识别划片槽掩模版图中标记图形的方法,其特征在于,所述确定所述实际特征点与经过矩阵变换后的所述预定特征点是否一致,包括:

获取所述实际特征点的实际坐标集合;

获取所述经过矩阵变换后的预定特征点的预定坐标集合;

比对所述实际坐标集合和所述预定坐标集合;

当所述实际坐标集合和所述预定坐标集合相等时,确定所述实际特征点与经过矩阵变换后的所述预定特征点一致。

5.根据权利要求4所述识别划片槽掩模版图中标记图形的方法,其特征在于,所述实际标记图形包括n个实际特征点,所述预定标记图形包括n个预定特征点,n为正整数;

所述比对所述实际坐标集合和所述预定坐标集合,包括:

确定所述实际坐标集合中的第n个实际坐标;

在所述预定坐标集合中确定与所述第n个实际坐标对应的第n个预定坐标;

判断所述第n个实际坐标与第n个预定坐标是否满足以下公式:

(p’nxn-pnxn)2+(p’nyn-pnyn)2=0

当所述第n个实际坐标和所述第n个预定坐标满足以上公式时,确定所述第n个实际坐标和所述第n个预定坐标一致;

当每个实际坐标与所述每个实际坐标对应的预定坐标一致时,确定所述实际坐标和所述预定坐标一致;

其中,第n个实际坐标是第n个实际特征点的坐标,第n个预定坐标是第n个经矩阵变换后的预定特征点的坐标,p’nxn表示第n个实际坐标中的横坐标,pnxn表示第n个预定坐标中的横坐标,p’nyn表示第n个实际坐标中的纵坐标,pnyn表示第n个预定坐标中的纵坐标,n为正整数,n≤n。

6.根据权利要求1至5任一所述识别划片槽掩模版图中标记图形的方法,其特征在于,所述确定所述实际边界框与经过矩阵变换后的预定边界框是否满足预定条件之前,还包括:

通过变换矩阵对所述预定边界框进行至少一次矩阵变换,得到所述经过矩阵变换后的预定边界框。

7.根据权利要求6所述识别划片槽掩模版图中标记图形的方法,其特征在于,所述变换矩阵包括旋转变换矩阵,和/或,镜像变换矩阵。

8.根据权利要求1至7任一所述识别划片槽掩模版图中标记图形的方法,其特征在于,所述在划片槽掩模板数据包中获取预定标记图形的预定特征点,包括:

获取所述实际标记图形的编码值;

获取所述编码值对应的预定编码值;

根据所述预定编码值在所述划片槽掩模板数据包中查找得到所述预定特征点。

9.根据权利要求8所述识别划片槽掩模版图中标记图形的方法,其特征在于,所述根据所述实际标记图形,在划片槽掩模板数据包中获取预定标记图形的预定特征点,包括:

根据所述编码值在所述划片槽掩模板数据包中查找得到所述预定特征点。

10.一种计算机设备,其特征在于,所述计算机设备包括处理器和存储器,所述存储器中存储有至少一条程序或者指令,所述至少一条程序或者指令由所述处理器加载执行以实现如权利要求1至9任一所述的识别划片槽掩模版图中标记图形的方法。


技术总结
本发明涉及集成电路制造技术领域,具体涉及一种识别划片槽掩模版图中标记图形的方法和计算机设备。识别划片槽掩模版图中标记图形的方法,包括:获取预定标记图形的预定特征点;预测预定标记图形的预定边界框;获取与预定标记图形对应的实际标记图形;提取实际特征点;根据实际特征点预测实际标记图形的实际边界框;确定实际边界框与经过矩阵变换后的预定边界框是否一致;当边界框一致时,确定实际特征点与经过矩阵变换后的预定特征点是一致;当特征点一致时,确定实际标记图形正确。通过边界框粗比对和逐个特征点精比对相结合的手段,能够很大程度上减小工作量,提高识别的效率。

技术研发人员:张兴洲;张燕荣
受保护的技术使用者:上海华虹宏力半导体制造有限公司
技术研发日:2020.01.08
技术公布日:2020.06.02
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