一种ic装备人机交互界面可定制数据显示方法
【技术领域】
[0001]本发明公开一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法，本发明主要提供针对IC装备人机交互界面用户对数据显示的不同需求的设计方法。
【背景技术】
[0002]目前国内半导体厂投资已朝向12英寸晶圆方向发展，其晶圆生产工序日渐复杂，加工生产过程中所需的参数种类也越来越多。如何高效的组合，排列并显示出这些参数成为IC装备人机交互界面软件开发中的一个技术问题。
[0003]现有的IC装备软件大多针对单一机型开发相适应的人机交互界面。然而，当面对多种机型或用户需求改变时，其中的问题便会体现出来。这种只适用于单一机型的人机交互界面无法根据用户的需求进行灵活配置，往往需要设计人员对程序进行修改，增加了开发和维护成本。
【发明内容】
[0004]针对上述问题，本发明提供了一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法，以适应人机交互界面面向多种机型时的要求。
[0005]为实现上述目的，本发明采用的技术方案是:一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法，包括以下步骤:
[0006]在XML配置文件中配置IC装备参数并保存；IC装备人机交互界面加载并解析XML配置文件，根据IC装备参数创建控件；IC装备人机交互界面实时显示设备端发来的数据并发送控制命令至设备端。
[0007]所述IC装备参数包括晶圆加工设备反应腔温度和压力，反应气体及其体积,加工配方名称，配方运行时间，创建控件命令码。
[0008]所述数据包括所述IC装备参数包括晶圆加工设备反应腔温度和压力的当前值及设定值，反应气体体积的当前值及设定值，数据格式。
[0009]所述根据IC装备参数创建控件具体为IC装备人机交互界面根据参数中的创建控件命令码决定是否创建按钮控件并显示在IC装备人机交互界面上。
[0010]所述IC装备人机交互界面实时显示设备端发来的数据并发送控制命令至设备端包括以下步骤:IC装备人机交互界面实时显示设备端发来的数据，通过点击按钮控件将控制命令发送至设备端。
[0011]本发明具有以下有益效果及优点:
[0012]1.本发明使系统可根据用户需要进行定制。
[0013]2.本发明提供对IC装备人机交互界面数据的编辑方法，参数信息以xml文件的形式进行存储，用户可以通过对配置文件参数的编辑对显示信息进行读取和配置。
[0014]3.本发明便于管理，本发明可实现对IC装备人机交互界面软件设备端不同类别数据的统一管理。
[0015]4.本发明可以降低软件的二次开发成本，提高软件的可扩展性，可维护性和易操作性。
【附图说明】
[0016]图1是本发明的方法流程图；
[0017]图2是配置文件操作流程图；
[0018]图3是配置数据操作流程图。
【具体实施方式】
[0019]下面结合实施例对本发明做进一步的详细说明。
[0020]利用对XML文件操作、存储的方式实现对人机交互界面数据显示的配置。首先导入XML配置文件模板(用于配置被采集数据的XML文件，其中依照以往的配置惯例，已经列出了一些常用数据，方便操作者使用)，以树状图的形式对设备端被采集数据的内容和格式进行编辑。编辑好以后导入到XML配置文件模板中。重新启动设备，在设备初始化时按照XML配置文件中的内容准备数据，当IC装备人机交互界面软件向设备发出数据请求时，设备向IC装备人机交互界面软件返回数据。
[0021]所述的IC装备人机交互界面可定制数据显示方法，包括以下步骤:
[0022]步骤1，在配置文件中配置客户需求的在IC装备人机交互界面软件上需要显示的参数。
[0023]步骤2，将配置好的参数保存到配置文件。
[0024]步骤3，重启软件，加载参数配置文件。
[0025]步骤4，设备端向IC装备人机交互界面软件发送数据。
[0026]步骤5，根据返回数据创建指定控件及相关操作。
[0027]所述步骤I中，在配置文件中配置客户需求的在IC装备人机交互界面软件上需要显示的参数。这些参数包括设备端设置不常变化的参数(例如反应腔温度，反应腔压力)，设备端变化的参数(反应气体及其体积、加工配方名称、配方运行时间)和创建控件命令码等。
[0028]XML配置文件格式如下:
[0029]〈节点一〉
[0030]〈节点二〉
[0031]<节点三参数一名参数一当前值1参数一设定值1参数一数据格式参数一默认值创建控件命令码一 >〈/节点三>
[0032]<节点三参数二名参数二当前值1参数二设定值1参数二数据格式参数二默认值创建控件命令码二 >〈/节点三>
[0033]</ 节点二〉
[0034]</ 节点一〉
[0035]其中1为输入输出变量(INPUT/OUTPUT)，参数设定值是通过参数设定值的1从PM模块(工艺模块)、TM模块(传输模块)读取过来。
[0036]所述步骤2中，将配置好的参数保存到配置文件。所述步骤I中的数据配置结束后，将所有设置好的参数保存在XML配置文件中。
[0037]所述步骤3中，重启软件，加载参数配置文件。所述步骤2中的XML配置文件配置好了以后，重启软件，设备会自动加载该XML配置文件，使其中的设置有效。
[0038]所述步骤4中，设备端向IC装备人机交互界面软件发送数据。所述步骤3中设备端将数据准备好后，设备会向IC装备人机交互界面软件发送反应腔温度，压力，反应气体及其体积、加工配方名称、配方运行时间、创建控件命令码等数据，数据ID为参数名，属性包括参数设定值10,参数当前值10,参数格式,参数默认值,创建控件命令码。
[0039]所述步骤5中，创建指定控件。所述步骤4中IC装备人机交互界面接收设备端发送的发送反应腔温度，压力，反应气体，加工配方名称、配方运行时间、创建控件命令码等数据，数据ID为参数名，属性包括参数设定值10，参数当前值10，参数格式，参数默认值，创建控件命令码；根据数据内容中的创建控件命令码(设I为创建，O为不创建)创建相适应的文本框，按钮等控件，若设备端未能发送数据，或IC装备人机交互界面软件未能接收数据，则显示默认值。所述步骤5中，进行相关操作。创建文本框，按钮等控件后，将按钮事件赋予相应按钮，使其能够完成相关操作，例如将控制命令发送至设备端。
[0040]如附图1所示，概要流程图流程如下:
[0041]1，配置IC装备人家交互界面软件需要显示的参数(例如反应腔温度，反应腔压力)，设备端变化的参数(反应气体及其体积、加工配方名称、配方运行时间)和创建控件命令码等。
[0042]2，将配置好的参数保存到配置文件。
[0043]3，重新启动软件，加载配置文件。
[0044]4，IC装备人机交互界面根据参数中的创建控件命令码决定是否创建按钮控件并显示在IC装备人机交互界面上。
[0045]5，设备端向IC装备人机交互界面软件发送数据(例如反应腔温度及压力的当前值，设定值等)。
[0046]如附图2所示:配置文件操作流程图流程如下:
[0047]1，导入XML配置文件模板，确定需要显示的参数及参数信息(参数的名称，当前值，设定值，反应气体体积的当前值及设定值，数据格式等信息)。
[0048]2，通过使用XML文件操作技术以及windows图形化操作技术，将XML文件内容以树状图形式配置。
[0049]3，通过对树状图的操作，完成对参数及参数信息的配置。
[0050]4，将配置的内容保存到XML模板文件。
[0051]如附图3所示:配置数据操作流程图流程如下。
[0052]I，展开树状图中的某类数据的节点，开始编辑数据。
[0053]2，选中数据。
[0054]3，编辑数据的ID (例如参数名称)，属性(晶圆加工设备反应腔的传感器信息、数据格式、创建控件命令码)等信息。
【主权项】
1.一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法，其特征在于包括以下步骤: 在XML配置文件中配置IC装备参数并保存；IC装备人机交互界面加载并解析XML配置文件，根据IC装备参数创建控件；IC装备人机交互界面实时显示设备端发来的数据并发送控制命令至设备端。
2.根据权利要求1所述的一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法，其特征在于:所述IC装备参数包括晶圆加工设备反应腔温度和压力，反应气体及其体积，加工配方名称，配方运行时间，创建控件命令码。
3.根据权利要求1所述的一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法，其特征在于:所述数据包括所述IC装备参数包括晶圆加工设备反应腔温度和压力的当前值及设定值，反应气体体积的当前值及设定值，数据格式。
4.根据权利要求1所述的一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法，其特征在于:所述根据IC装备参数创建控件具体为IC装备人机交互界面根据参数中的创建控件命令码决定是否创建按钮控件并显示在IC装备人机交互界面上。
5.根据权利要求1所述的一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法，其特征在于:所述IC装备人机交互界面实时显示设备端发来的数据并发送控制命令至设备端包括以下步骤:IC装备人机交互界面实时显示设备端发来的数据，通过点击按钮控件将控制命令发送至设备端。
【专利摘要】本发明涉及一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法，包括以下步骤：在XML配置文件中配置IC装备参数并保存；IC装备人机交互界面加载并解析XML配置文件，根据IC装备参数创建控件；IC装备人机交互界面实时显示设备端发来的数据并发送控制命令至设备端。本发明便于管理，可实现对IC装备人机交互界面软件设备端不同类别数据的统一管理，并降低软件的二次开发成本，提高软件的可扩展性，可维护性和易操作性。
【IPC分类】G06F9-44
【公开号】CN104679499
【申请号】CN201310638665
【发明人】王晨曦, 刘明哲, 徐皑冬, 金妮
【申请人】中国科学院沈阳自动化研究所
【公开日】2015年6月3日
【申请日】2013年11月30日