定制化虚拟图案填充方法
【专利摘要】本发明提供一种定制化虚拟图案填充方法，所述定制化虚拟图案填充方法包括用户版图导入步骤、版图图层映射转换步骤、虚拟图案填充步骤、版图合并步骤以及最终版图输出步骤。其中，所述版图图层映射转换步骤在所述虚拟图案填充步骤之前将用户版图图层映射转换为标准版图图层映射，并在所述虚拟图案填充步骤之后将标准版图图层映射转换为用户版图图层映射；以及所述虚拟图案填充步骤采用标准虚拟图案实用程序进行虚拟图案填充。本发明所提供的定制化虚拟图案填充方法能够基于用户需求快速并准确地创建合格的定制化虚拟图案填充方案，不仅效率高，而且质量有保证。
【专利说明】
定制化虚拟图案填充方法
技术领域
[0001]本发明涉及半导体技术领域，具体而言涉及一种定制化虚拟图案填充方法。【背景技术】
[0002]随着半导体技术趋向于40纳米模式以下，可制造性设计(Design for Manufacture, DFM)自动填充虚拟图案起到越来越重要的作用。它可以帮助改善图案密度分布、统一器件性能、增强光刻/刻蚀工艺窗口等。有时，不仅需要提供内部标准虚拟图案实用程序(du_y utility)，还需要为用户提供基于用户需求的定制化专用虚拟图案实用程序。对于这样的需求，现有的方法是重新创建虚拟图案脚本，并且因为不同层设置还需针对用户专用虚拟图案实用程序做质量评估(Quality Assessment, QA)，这将耗费大量的时间。
【发明内容】
[0003]针对现有技术的不足，本发明提供一种定制化虚拟图案填充方法，所述定制化虚拟图案填充方法包括用户版图导入步骤、版图图层映射转换步骤、虚拟图案填充步骤、版图合并步骤以及最终版图输出步骤。其中，所述版图图层映射转换步骤在所述虚拟图案填充步骤之前将用户版图图层映射转换为标准版图图层映射，并在所述虚拟图案填充步骤之后将标准版图图层映射转换为用户版图图层映射；以及所述虚拟图案填充步骤采用标准虚拟图案实用程序进行虚拟图案填充。
[0004]在本发明的一个实施例中，所述版图图层映射转换步骤进一步包括输入用户版图图层映射转换步骤和输出虚拟图案版图图层映射转换步骤。其中，所述输入用户版图图层映射转换步骤将所述用户版图导入步骤所导入的用户版图从用户版图图层映射转换为标准版图图层映射；以及所述输出虚拟图案版图图层映射转换步骤将所述虚拟图案填充步骤后所输出的虚拟图案版图从标准版图图层映射转换为用户版图图层映射。
[0005]在本发明的一个实施例中，所述版图图层映射转换步骤在转换时改变版图图层的数字编号。
[0006]在本发明的一个实施例中，所述用户版图导入步骤所导入的用户版图未采用标准版图图层映射，而采用用户版图图层映射。
[0007]在本发明的一个实施例中，所述用户版图图层映射指的是用户专用图层映射。
[0008]在本发明的一个实施例中，所述虚拟图案填充步骤直接引用合格的标准虚拟图案实用程序代码并且不对所述代码进行任何修改。
[0009]在本发明的一个实施例中，所述标准虚拟图案实用程序具有按照设计规则设计的标准图层映射表。
[0010]在本发明的一个实施例中，所述虚拟图案填充步骤进行虚拟图案填充后得到的虚拟图案版图仅包括采用标准版图图层映射的虚拟图案。
[0011]在本发明的一个实施例中，所述版图合并步骤将所述用户版图与经所述输出虚拟图案版图图层映射转换步骤后得到的虚拟图案版图进行合并。
[0012] 在本发明的一个实施例中，所述最终版图输出步骤输出的最终版图为合并采用所述用户专用图层映射的填充虚拟图案和原始用户版图的版图。
[0013] 本发明所提供的定制化虚拟图案填充方法能够基于用户需求快速并准确地创建合格的定制化虚拟图案填充方案，不仅效率高，而且质量有保证。【附图说明】
[0014] 本发明的下列附图在此作为本发明的一部分用于理解本发明。附图中示出了本发明的实施例及其描述，用来解释本发明的原理。
[0015]附图中:
[0016]图1示出了基于模型的虚拟图案实用程序质量评估的流程图；以及
[0017] 图2示出了根据本发明实施例的定制化虚拟图案填充方法的流程图。【具体实施方式】
[0018] 在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本发明更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本发明可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
[0019] 应当理解的是，本发明能够以不同形式实施，而不应当解释为局限于这里提出的实施例。相反地，提供这些实施例将使公开彻底和完全，并且将本发明的范围完全地传递给本领域技术人员。
[0020] 在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本发明的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、 整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。
[0021] 为了彻底理解本发明，将在下列的描述中提出详细的步骤以及详细的结构，以便阐释本发明提出的技术方案。本发明的较佳实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述夕卜，本发明还可以具有其他实施方式。
[0022] 虚拟图案填充方法通常需要将版图文件导入到软件中，借助软件来调用虚拟图案填充脚本以生成合适的虚拟图案。其中，图形数据库系统(Graphic Database System，⑶S)是最为常用的版图文件格式，可以用于备份、导入、导出、流片等。在⑶S文件中，版图中的层以数字编号来表示。而在软件例如电子设计自动化(Electronic Design Automat1n, EDA)中，层一般会有名称，便于用户使用。因此，例如在⑶S文件导入EDA软件，或EDA软件导出GDS文件时，GDS文件中的层的数字编号与EDA软件中的层名称之间需要进行映射。层映射关系可以定义在EDA软件能够识别的工艺文件或映射文件中。通常可以提供按照设计规则设计的标准图层映射表，即标准版图图层映射。
[0023] 在现有的虚拟图案填充方法中，层映射、虚拟图案填充、输出设置以及密度图 (density map)等功能都混合在一个脚本中。当面对用户需求为用户提供定制化虚拟图案填充方案时，需要从内部对脚本代码进行大量修改，以基于标准虚拟图案实用程序创建用户专用虚拟图案实用程序。例如，对于虚拟图案内部代码中的映射部分和输出设置部分等进行大量修改，这将产生超高负荷。与此同时，修改后形成的虚拟图案核心代码需要重新进行完整的质量评估，以确保其不存在违反设计规则等问题。图1示出了基于模型的虚拟图案实用程序质量评估的流程图，如图1所示，完整的质量评估过程相当复杂，其将耗费大量的时间。
[0024]基于上述问题，本发明的实施例提供了一种定制化虚拟图案填充方法，该方法包括用户版图导入步骤、版图图层映射转换步骤、虚拟图案填充步骤、版图合并步骤以及最终版图输出步骤。其中，版图图层映射转换步骤在虚拟图案填充步骤之前将用户版图图层映射转换为标准版图图层映射，并在虚拟图案填充步骤之后将标准版图图层映射转换为用户版图图层映射；虚拟图案填充步骤采用标准虚拟图案实用程序进行虚拟图案填充。
[0025]具体地，版图图层映射转换步骤可以进一步包括输入用户版图图层映射转换步骤和输出虚拟图案版图图层映射转换步骤。
[0026]图2示出了根据本发明实施例的定制化虚拟图案填充方法200的流程图。如图2 所示，定制化虚拟图案填充方法200包括用户版图导入步骤201、输入用户版图图层映射转换步骤202、虚拟图案填充步骤203、输出虚拟图案版图图层映射转换步骤204、版图合并步骤205以及最终版图输出步骤206。
[0027]其中，在用户版图导入步骤201中所导入的用户版图未采用标准版图图层映射， 而采用了用户版图图层映射。用户版图图层映射可以包括用户专用图层映射。换言之，对应于同一层，该用户版图图层映射所采用的层的数字编号与标准版图图层映射中采用的层的数字编号不同。因此，需要适合于该用户版图图层映射的虚拟图案实用程序。
[0028]根据本发明的实施例，在输入用户版图图层映射转换步骤202中，将在用户版图导入步骤201中所导入的用户版图从用户版图图层映射转换为标准版图图层映射。具体地，该转换可以包括改变用户版图图层映射所采用的层的数字编号，以使其从用户版图图层映射转变为标准版图图层映射。这样，后续的虚拟图案填充步骤203可以直接引用合格的标准虚拟图案实用程序代码，并得到仅包括采用标准版图图层映射的虚拟图案的虚拟图案版图，该虚拟图案版图可以称为第一虚拟图案版图。由于虚拟图案填充步骤203引用的是合格的标准虚拟图案实用程序代码而不需要进行任何修改，因而提高了工作效率。
[0029]根据本发明的实施例，输出虚拟图案版图图层映射转换步骤204将虚拟图案填充步骤203后所输出的虚拟图案版图从标准版图图层映射转换为用户版图图层映射。由于虚拟图案填充步骤203采用合格的标准虚拟图案代码，因此生成的第一虚拟图案版图为标准版图图层映射。与输入用户版图图层映射转换步骤202相对地，输出虚拟图案版图图层映射转换步骤204可以改变第一虚拟图案版图的标准版图图层映射所采用的层的数字编号， 将其转换回用户版图图层映射，从而形成采用用户版图图层映射的第二虚拟图案版图。
[0030]根据本发明的实施例，版图合并步骤205可以将用户版图与经输出虚拟图案版图图层映射转换步骤后得到的虚拟图案版图进行合并，即将原始用户版图与上述第二虚拟图案版图进行合并。这样，最终版图输出步骤206所输出的最终版图可以为合并采用用户专用图层映射的填充虚拟图案和原始用户版图的版图。
[0031]基于本发明实施例的上述定制化虚拟图案填充方法通过层映射关系的转换而直接引用合格的标准虚拟图案实用程序代码，不仅可以快速容易地创建合适的定制化虚拟图案实用程序，还避免了繁琐的质量评估过程，从而进一步提供了工作效率。实验证明，与现有技术相比，基于本发明实施例的上述定制化虚拟图案填充方法可以使创建定制化虚拟图案实用程序的时间减少60%，并且可以使使定制化虚拟图案实用程序检验合格的时间减少 80%〇
[0032]在本实施例中，综合上述各个步骤模块形成的流程图可以通过一个脚本(例如: cshell script)来组织实现，关于该脚本的具体内容在此并不进行限定。
[0033]本发明已经通过上述实施例进行了说明，但应当理解的是，上述实施例只是用于举例和说明的目的，而非意在将本发明限制于所描述的实施例范围内。此外本领域技术人员可以理解的是，本发明并不局限于上述实施例，根据本发明的教导还可以做出更多种的变型和修改，这些变型和修改均落在本发明所要求保护的范围以内。本发明的保护范围由附属的权利要求书及其等效范围所界定。
【主权项】
1.一种定制化虚拟图案填充方法，其特征在于，所述定制化虚拟图案填充方法包括用 户版图导入步骤、版图图层映射转换步骤、虚拟图案填充步骤、版图合并步骤以及最终版图 输出步骤，其中，所述版图图层映射转换步骤在所述虚拟图案填充步骤之前将用户版图图层映射转换 为标准版图图层映射，并在所述虚拟图案填充步骤之后将标准版图图层映射转换为用户版 图图层映射；以及所述虚拟图案填充步骤采用标准虚拟图案实用程序进行虚拟图案填充。2.如权利要求1所述的定制化虚拟图案填充方法，其特征在于，所述版图图层映射转 换步骤进一步包括输入用户版图图层映射转换步骤和输出虚拟图案版图图层映射转换步 骤，其中，所述输入用户版图图层映射转换步骤将所述用户版图导入步骤所导入的用户版图从 用户版图图层映射转换为标准版图图层映射；以及所述输出虚拟图案版图图层映射转换步骤将所述虚拟图案填充步骤后所输出的虚拟 图案版图从标准版图图层映射转换为用户版图图层映射。3.如权利要求2所述的定制化虚拟图案填充方法，其特征在于，所述版图图层映射转 换步骤在转换时改变版图图层的数字编号。4.如权利要求2所述的定制化虚拟图案填充方法，其特征在于，所述用户版图导入步 骤所导入的用户版图未采用标准版图图层映射，而采用用户版图图层映射。5.如权利要求4所述的定制化虚拟图案填充方法，其特征在于，所述用户版图图层映 射指的是用户专用图层映射。6.如权利要求1所述的定制化虚拟图案填充方法，其特征在于，所述虚拟图案填充步 骤直接引用合格的标准虚拟图案实用程序代码并且不对所述代码进行任何修改。7.如权利要求6所述的定制化虚拟图案填充方法，其特征在于，所述标准虚拟图案实 用程序具有按照设计规则设计的标准图层映射表。8.如权利要求6所述的定制化虚拟图案填充方法，其特征在于，所述虚拟图案填充步 骤进行虚拟图案填充后得到的虚拟图案版图仅包括采用标准版图图层映射的虚拟图案。9.如权利要求1所述的定制化虚拟图案填充方法，其特征在于，所述版图合并步骤将 所述用户版图与经所述输出虚拟图案版图图层映射转换步骤后得到的虚拟图案版图进行 合并。10.如权利要求1所述的定制化虚拟图案填充方法，其特征在于，所述最终版图输出步 骤输出的最终版图为合并采用所述用户专用图层映射的填充虚拟图案和原始用户版图的 版图。
【文档编号】G06F17/50GK105989210SQ201510090145
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2015年2月27日
【发明人】樊强
【申请人】中芯国际集成电路制造(上海)有限公司