专利名称：基板支承用槽棒及使用该槽棒的基板载具的制作方法
技术领域：
本发明是关于一种平面显示器制程所用的基板载具，特别是关于一种基板支承用槽棒及使用该槽棒的基板载具。
背景技术：
平面显示器制程中，玻璃基板的运送与搬移需要特殊的载具。该载具一般具有多个槽体结构，以支承多个玻璃基板，使其可以同时运送。
一种现有技术的基板载具揭露于1996年3月4日公告的日本特公平08-021612号，其所揭示的基板载具包括如图1与图2所示的槽板2，该槽板2包括一板体21与多个自该板体21伸出的支承板22。该多个支承板22又包括向该基板载具内突伸的支承板22X与向该基板载具外突伸的支承板22Y。其中，该支承板22X的上表面末端具有突出部23，该突出部23的最高部位是平滑曲面。
该突出部23用以托持玻璃基板B，而且可减少基板B边缘与该槽板2摩擦所产生的粉屑。但是，该槽板2的设计无法解决静电累积问题，而且因为该槽板2是一板体结构，在结构设计上造成材料的浪费。
另一种现有技术的基板载具揭露于1995年10月21日公告的台湾专利第260822号，其所揭示的基板载具包括如图3所示的侧板3，该侧板3包括一背壁部31与多个自该背壁部31突出的棚架片32。该侧板3以金属体M做为骨架，该背壁部31的棚架片32与邻近棚架片32的部分是由树脂体形成，其中，该背壁部31中央纵方向的突出部3X是由防尘性树脂形成，其余部分则是由配合导电性物质的树脂形成。
该侧板3不易因摩擦而产生粉屑，同时具衰减静电累积的功能。但是，其整体结构较为复杂，增加制造成本。
发明内容为克服现有技术的基板载具使用材料较多的问题，本发明提供一种可节省材料使用量的基板支承用槽棒。
本发明还提供一种使用上述基板支承用槽棒的基板载具。
本发明解决技术问题所采用的技术方案是提供一种基板支承用槽棒，其包括一树脂体与一金属棒，该树脂体包括一具有轴向贯穿孔的柱状本体与自该本体一侧以间隔平行突出的多个支承板，该金属棒插设在该本体的贯穿孔内，以增加该槽棒的支承强度，其中，该支承板的末端具有突出部，该突出部用以托持基板。
本发明的基板载具包括至少两对基板支承用槽棒与两框架，各基板支承用槽棒包括一树脂体与一金属棒，该树脂体包括一具有轴向贯穿孔的柱状本体与自该本体一侧以间隔平行突出的多个支承板，该支承板的末端具有突出部，该突出部用以托持基板，该金属棒插设在该本体的贯穿孔内，以增加该槽棒的支承强度，该框架与该至少两对基板支承用槽棒构成箱形，而且该至少两对基板支承用槽棒连结在该框架上，并使其支承板相互对应形成收容基板的空间。
相较于现有技术，因本发明的槽棒为柱体结构，可节省大量树脂材料、降低成本。而且，因为支承板末端具有突出部，该基板仅与该突出部接触，而基板的边缘不与支承板与本体接触，可减少摩擦产生的粉屑。
图1是一种现有技术的基板支承用槽板的主视图。
图2是图1所示槽板的侧视图。
图3是又一种现有技术的基板支承用槽板的立体图。
图4是本发明基板支承用槽棒的立体分解图。
图5是本发明基板支承用槽棒与基板配合的示意图，其支承板与本体轴向垂直设置。
图6是本发明基板支承用槽棒与基板配合的示意图，其支承板与本体轴向倾斜设置。
图7是本发明基板载具的立体示意图。
图8是本发明基板载具的基板支承用槽棒与框架配合示意图。
具体实施方式如图4所示，本发明的基板支承用槽棒4包括一树脂体41与一金属棒43。该树脂体41包括一具有轴向贯穿孔413的柱状本体411与自该本体411一侧间隔平行突出的多个支承板415。
该本体411是具纵向开口的筒状结构，其横截面呈C形，以节省材料；该本体411也可设计为横截面为O形的圆筒结构。该金属棒43包括两端部431，而且各端部431具两平行的侧面(未标示)与一螺孔433。该金属棒43插设在该本体411的贯穿孔413内，以增加该槽棒4的支承强度。
一起参照图5，该支承板415是具有一定厚度的方形板，其相互间隔形成多个收容槽417。而且该支承板415的末端具有突出部4151，该突出部4151用以托持基板45。该突出部4151可为直径大于支承板415厚度的圆柱体，当然，也可仅使突出部4151的最高部位为平滑曲面。该支承板415与本体411轴向垂直设置。当然，也可如图6所示，将支承板415′倾斜设置。
该支承板415仅沿本体411一侧设置，可大量减少材料、节约成本。又因为基板45插入收容槽417时，仅有突出部4151与基板45的一底面接触，可减少摩擦产生的粉屑。
该树脂体41内通过掺杂碳纤维(Carbon Fiber)或碳粉末(CarbonPowder)等导电性物质而具导电性，又因为该金属棒43可导静电，因此整个槽棒4在使用中不会累积静电，从而具有静电防止功能。
一起参照图7，本发明的基板载具5采用一对框架51将如上所述的至少两对槽棒4安装在其相对侧面并构成箱形，进而形成收容基板45的空间。其中，该至少两对基板支承用槽棒4的支承板415相互对应，每组位于同一平面的收容槽417所对应形成的空间可收容一基板45。
再如图8所示，是本发明基板载具的框架51与槽棒4的连接示意图。其中，框架51与槽棒4连接处设有卡槽511与通孔513。该卡槽511是通过两平行侧面形成，而且该两侧面的间距与金属棒4端部431的两平行侧面的间距相当。该端部431插入框架51的凹槽511，再通过一螺丝(图未示)穿过通孔513并与螺孔433(图未示)配合，进而锁固该槽棒4在框架51上。该卡槽511可防止金属棒43相对于框架51的转动。为进一步防止树脂体41相对于金属棒43转动，也可通过螺丝或销钉将其固定。
因为本发明基板载具所采用的槽棒为柱体结构，而非现有技术槽板的板体结构，可节省大量树脂材料，降低成本。又因为槽棒的树脂体具有导电性，整个基板载具在使用中也具有防静电功能。
权利要求
1.一种基板支承用槽棒，其特征在于该槽棒包括一树脂体与一金属棒，该树脂体包括一具有轴向贯穿孔的柱状本体与自该本体一侧以间隔平行突出的多个支承板，该金属棒插设在该本体的贯穿孔内，该支承板的末端具有突出部，该突出部用以托持基板。
2.根据权利要求1所述的基板支承用槽棒，其特征在于该树脂体内掺杂有导电性物质。
3.根据权利要求2所述的基板支承用槽棒，其特征在于该导电性物质是碳纤维或碳粉末。
4.根据权利要求1所述的基板支承用槽棒，其特征在于该支承板是具有一定厚度的方形板，该突出部是直径大于支承板厚度的圆柱体。
5.根据权利要求1所述的基板支承用槽棒，其特征在于该突出部的最高部位是平滑曲面。
6.根据权利要求1所述的基板支承用槽棒，其特征在于该支承板与本体轴向垂直设置或倾斜设置。
7.根据权利要求1所述的基板支承用槽棒，其特征在于该本体是具有纵向开口的筒状结构，其横截面是C形。
8.根据权利要求1所述的基板支承用槽棒，其特征在于该本体是圆筒结构，其横截面是O形。
9.一种基板载具，其包括至少两对基板支承用槽棒与一对框架，其特征在于各基板支承用槽棒包括一树脂体与一金属棒，该树脂体包括一具有轴向贯穿孔的柱状本体与自该本体一侧以间隔平行突出的多个支承板，该金属棒插设在该本体的贯穿孔内，以增加该槽棒的支承强度，该框架与该基板支承用槽棒构成为箱形，而且该至少两对基板支承用槽棒的支承板连结在该框架上，并使其支承板相互对应形成收容基板的空间，该支承板的末端具有突出部，该突出部用以托持基板。
全文摘要
本发明公开一种基板支承用槽棒及使用该槽棒的基板载具。该基板支承用槽棒包括一树脂体与一金属棒，该树脂体包括一具有轴向贯穿孔的柱状本体与自该本体一侧以间隔平行突出的多个支承板，该金属棒插设在该本体的贯穿孔内，以增加该槽棒的支承强度，该支承板的末端具有突出部，该突出部用以托持基板。
文档编号H01L21/68GK1581458SQ03140130
公开日2005年2月16日 申请日期2003年8月6日 优先权日2003年8月6日
发明者黄俊凯, 田维正 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 沛鑫半导体工业股份有限公司