信息管理方法、信息管理装置以及衬底处理系统的制作方法

专利名称：信息管理方法、信息管理装置以及衬底处理系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于管理从处理半导体衬底或玻璃衬底等的衬底处理 装置发送来的信息的信息管理方法及装置、或者具有衬底处理装置和信 息管理装置的衬底处理系统、或者显示存储在信息管理装置中的信息的 方法和包含该信息的衬底处理系统。
背景技术：
一般而言，这种衬底处理系统包括对衬底实施处理的多个衬底处理 装置、以及用于监视该多个衬底处理装置的运行状态和管理生产历史等 信息(数据)的群控服务器(信息管理装置)。因此，信息管理装置管 理从衬底处理装置发送来的温度、压力、气体等的测量值或运行状况等 各种信息。通过这样的信息管理装置来谋求半导体生产效率的提高。用 户使用终端设备来取得由信息管理装置所管理的信息。

发明内容
但是，在现有的衬底处理系统中，在有些情况下，终端设备为了从 信息管理装置取得信息而需要时间。
本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于缩短终端设备从 信息管理装置取得信息的时间。
本发明的第 一信息管理方法，其根据包含从处理衬底的衬底处理装 置发送来的装置信息或者事件信息的电文来管理信息，将包含装置信息 的电文被发送来的时刻的上述衬底处理装置的装置信息存储到第一装 置信息存储单元，并且在包含事件信息的电文被发送出时，比较该事件 信息与存储上述装置信息的条件，当两者一致时，使上述装置信息和上 述事件信息产生的时刻相关联而存储在第二装置信息存储单元中。
5本发明的第二信息管理方法，其当包含上述事件信息的电文被发送 出时，对该事件信息与条件存储单元中的条件进行比较，当上述事件信 息与上述条件一致时，在存储于上述第一装置信息存储单元中的、上述 所设定的移动对象的装置信息上附加上述事件信息产生的时刻而存储 在第二装置信息存储单元中，其中，该条件存储单元设定有使存储在第 一装置信息存储单元中的装置信息移动到第二装置信息存储单元中的 移动条件以及移动对象的装置信息。
本发明的信息显示方法，其在具有操作画面的操作终端上显示信 息，当从用于处理衬底的衬底处理装置发送出包含事件信息的电文时， 上述操作终端参照该事件信息与条件存储单元中的条件，对在上述所设 定的移动对象的装置信息上附加上述事件信息产生的时刻而将其存储 的第二装置信息存储单元进行检索，比较进行了该检索的结果信息与上 述所设定的装置信息，当两者一致时将上述装置信息显示在上述操作画 面中，其中，该条件存储单元设定有使存储于第一装置信息存储单元中 的装置信息移动到第二装置信息存储单元中的移动条件以及移动对象 的装置信息。
根据本发明，当终端设备从信息管理装置取得信息时，能够缩短检 索所需要的时间。进而，利用在衬底处理装置处理衬底时所生成的各种 信息，能够缩短进行数据分析(例如，寻找在衬底处理装置中产生的异 常的原因等)和数据加工(例如，从衬底处理装置发送来的生产信息的 图表化等)的时间。


图l是表示存储在现有的群控服务器中的装置信息及其结构、和所 存储的装置信息的取得方法的图。
图2是表示本发明实施方式的村底处理系统1的结构的图。 图3示出本发明实施方式的村底处理装置10的立体图。 图4示出本发明实施方式的衬底处理装置10的侧面透视图。 图5示出以PMC 14为中心的村底处理装置10的功能结构。图6是以控制装置16为中心示出终端设备6的硬件结构的图。
图7是表示由群控服务器4所执行的群控程序40、以及由终端设备6
所执行的终端程序60的功能结构的图。
图8是示意地示出群控程序40的当前信息存储部402和装置信息
DB400的存储结构的图，(A)例示出当前信息存储部402， (B)例示
出装置信息DB400。
图9是表示本发明实施方式的群控服务器4的工作(S10)的流程图。
图1 O是例示出终端设备6所显示的障碍信息画面的图。
图11是表示群控程序40的当前信息存储部402的存储结构的变形例
和项目信息DB412的存储结构的图，(A )例示出当前信息存储部402， (B)例示出项目信息DB412。
具体实施例方式
首先，根据图l说明本发明的背景。
图l是表示存储在现有的群控服务器中的装置信息及其结构、和所 存储的装置信息的检索方法的图。
图l的(A)是例示出从衬底处理装置发送来的电文的图。如图l的 (A)所例示的那样，各电文包含发送出的时刻、发送源的衬底处理装 置的名称(装置名称)、项目类别、以及该项目的信息(测量值等)。 群控服务器接收从多个衬底处理装置发送来的电文，从该电文取得装置 信息，并存储单元信息。
图l的(B)是示意地示出存储单元信息的结构的图。如图l的(B) 所示，装置信息存储在数据库(DB)中。DB包含项目管理表、测量数 据管理表以及装置管理表。在项目管理表中，管理与项目类别对应的各 项目。在装置管理表中，管理各衬底处理装置。在测量数据管理表中， 管理与在项目管理表中管理的项目和在装置管理表中管理的装置相关 联的信息(测量值等)、以及电文中所包含的时刻(相当于图l中(A) 的"时间")。
该DB结构的优点如下。即l)即使在增加了项目时，也不会对DB结构带来影响(例如，变为必须增加新表等)；2)即使在增加了衬底 处理装置时也不会对DB结构带来影响；3)即使各衬底处理装置具有不 同的项目，装置信息由测量数据管理表所管理；4)测量数据管理表中 仅存储与衬底处理装置所包含的项目相关的信息(测量值等)，因此不 存在无用的数据区域。
图l (C)示出存储在DB中的装置信息的取得方法。例如在确认障 碍产生时刻的衬底处理装置(障碍产生装置)的状态时，作为操作终端 的终端设备参照DB的项目管理表、测量数据管理表以及装置管理表， 将这三个表作为图l (C)所例示出的表而重新构成，在图l (C)的表 中，对于障碍产生装置，检索各时刻的各项目的测量值。在此，在各时 刻并不一定存储所有项目的测量值，所以在所期望的时刻没有存储测量 值时，需要返回到测量值被存储的时刻。
具体而言，终端设备需要从所期望的时刻到测量值被存储的时刻按 每个项目进行测量值的补足工作。例如，终端设备在时刻12: 00: 04 能够检测温度chl的值(690.0)，但不能够检测温度ch2以及气体chl的 值，为了检索温度ch2的值以及气体chl的值，需要返回到时刻12: 00: 02。
这样，该DB结构具有以下缺点。即1 )将相互关联的多个表作为 数据检索用的1个表而重新构成会耗费时间；2 )补足测量值会耗费时间。 以下，在上述背景的基础上说明本发明实施方式的衬底处理系统。 图2是表示本发明实施方式的衬底处理系统1的结构的图。 如图2所示，衬底处理系统I具有多个衬底处理装置IO- 1 ~ 10-n、 群控服务器4以及终端设备6。衬底处理装置IO-1 ~ 10-n、群控服务器 4以及终端设备6能够例如经由LAN 、 WAN等网络12连接而能够相互进 行数据的收发。在没有特定示出衬底处理装置IO- 1 ~ 10-n等存在多个 的结构部分中的某一个时，有时仅简单略记为衬底处理装置10等。
衬底处理装置10根据处理组态表(recipe)等来执行衬底的处理。 具体而言，处理组态表记载了用于处理村底的顺序，衬底处理装置IO 根据该顺序进行装置内构成元件的控制。另外，衬底处理装置10经由网络12对群控服务器4发送包含如下信息的电文，即与村底处理装置IO 的处理相关的包括温度信息、压力信息、气体信息等生产信息的信息(以 下记为"装置信息")。进而，衬底处理装置10对群控服务器4发送包 含如下信息的电文，即例如表示障碍产生的信息(出错信息)、表示 衬底处理中的预定工作的信息(运行信息)等产生频率少的信息或者突 发性地产生的信息(以下记载为"事件信息")。
衬底处理装置10作为一例，将半导体器件(IC)的制造方法中的处 理装置作为要实施的半导体制造装置而构成。在以下的说明中，说明应 用对衬底进行氧化、扩散处理、CVD处理等的纵式装置作为衬底处理装 置的实施例。对于衬底处理装置10的详细结构将在后面具体说明。
群控服务器4 (信息管理装置)接收从衬底处理装置10发送来的电 文，进行包含在电文中的装置信息或者事件信息的保存和管理。另外， 群控服务器4也可以实现为具有多个数据库(DB)。群控服务器4的功 能和DB结构将在后面详细"i兌明。
终端设备6检索由群控服务器4所存储的信息，将检索结果显示在画 面上，从而构成对用户提供信息的接口。更具体而言，终端设备6经由 键盘或鼠标等接受用户的请求，从群控服务器4取得信息，将该信息显 示在画面上。终端设备6不需要置于配置有衬底处理装置10的场所(例 如无尘车间)，例如也可以置于事务所等与配置有衬底处理装置10的场 所不同的场所。
接着，说明衬底处理装置10的详细结构。
图3示出本发明实施方式的衬底处理装置IO的透视图。图4示出本发 明实施方式的衬底处理装置10的侧面透视图。
如图3和图4所示那样，作为收容了由硅等构成的晶片(衬底)200 的晶片载体而使用了环形带(hoop)(衬底容纳器。以下称为容器 (pot) 。
) llO的本发明实施方式的衬底处理装置lO具有框体lll。作 为在框体111的正面壁111 a的正面前方部设有作为以可维修的方式设置 的开口部的正面维纟务口 103，并分别i殳有用于开闭该正面维修口 103的正 面维修窗104、 104。在框体lll的正面壁llla上开设容器输入输出口 (村底容纳器输入输出口) 112以使框体111内外连通，容器输入输出口112通过前面闸门
(衬底容纳器输入输出口开闭机构)113而开闭。在容器输入输出口112的正面前方一侧设有负载台(衬底容纳器交接台)114,负载台114构成为载置容器110而使其对位。容器110在负载台114上由工序内输送装置
(未图示)输入，并且从负载台114上输出。
在框体111内的前后方向的大致中央部处的上部设有旋转式容器搁架(衬底容纳器载置搁架)105，旋转式容器搁架105构成为用于保管多个容器IIO。也就是说，旋转式容器搁架105具有垂直设置且在水平面内间歇旋转的支柱116、以及在支柱116的上中下层各位置以放射状支承的多片搁架板(衬底容纳器载置台)117，多片搁架板117以在多处分别载置容器110的状态而保持多个容器110。
框体lll内的负载台114和旋转式容器搁架105之间设有容器输送装置(衬底容纳器输送装置)118,容器输送装置118具有以保持容器110的状态并可升降的容器电梯(衬底容纳器升降机构)118a和作为输送机构的容器输送机构(衬底容纳器输送机构)118b,容器输送装置118通过容器电梯118a和容器输送机构118b的连续工作，在负载台114、旋转式容器搁架105、容器开口机(衬底容纳器盖体开闭机构)121之间输送容器IIO。
框体111内的前后方向的大致中央部处的下部，子框体119被设为位于后端。在子框体119的正面壁119a,开设了一对用于将晶片200向子框体119输入输出的晶片输入输出口 (衬底输入输出口 ) 120,它们在垂直方向上在上下两层并排设置，位于上下层的晶片输入输出口120、 120分别被设有一对容器开口机121、 121。容器开口机121具有载置容器110的载置台122、 122、用于拆装容器110的盖子(盖体)的盖子拆装机构(盖体拆装机构)123、 123。容器开口机121通过盖子拆装机构123来拆装载置于载置台122上的容器110的盖子，从而开闭容器110的晶片出入D 。
子框体119构成从容器输送装置118或旋转式容器搁架105的设置空间流体性地隔绝的转移室124。在转移室124的前侧区域设有晶片转移机构(衬底转移机构)125，晶片转移机构125具有可使晶片200沿水平方向旋转或直接移动的晶片转移装置(衬底转移装置)125a以及用于使晶片转移装置125a升降的晶片转移装置电梯(衬底转移装置升降机构)125b。如图4示意性地所示出那样，晶片转移装置电梯l 25b设置于耐压框体111右侧端部和子框体119的转移室124前方区域右端部之间。通过晶片转移装置电梯125b以及晶片转移装置125a的连续工作，将晶片转移装置125a的镊子(tweezers)(衬底保持体)125c作为晶片200的载置部，对晶舟(衬底保持工具)217填装(装料)或去除(不装料)晶片200。
在转移室124的后侧区域设有容纳晶舟217而使其等待的等待部126。在等待部126的上方^1有处理室202。在处理室202的下端部由炉口门(炉口开闭机构)147所开闭。
如图3示意性地所示出的那样，耐压框体111右侧端部和子框体119的等待部126右端部之间设有用于使晶舟217升降的晶舟电梯(衬底保持工具升降机构)115。在作为与晶舟电梯115的升降台连结的连结工具的支架128上在水平方向上安装有作为盖体的密封盖219，密封盖219在垂直方向支承晶舟217，可封闭处理室202的下端部。晶舟217具有多根保持部件，在使多张(例如50 125张左右)晶片200的中心对齐，在垂直方向排列的状态下使它们分别保持水平。
如图3示意性地所示那样，在转移室124的晶片转移装置电梯125b侧以及与晶舟电梯115侧相反一侧即左侧端部设有清洁单元134,该清洁单元134具有用于提供作为经过净化的气氛或者惰性气体的清洁气体133的供给扇、以及防尘过滤器，虽未图示，但在晶片转移装置125a和清洁单元13 4之间设有作为使晶片的圆周方向的位置匹配的衬底匹配装置的缺口对准装置135。
从清洁单元134吹出的清洁气体133在缺口对准装置135、晶片转移装置125a、以及位于等待部126的晶舟217中流通之后，由未图示的通道所吸入，排向框体111的外部或者循环到作为清洁单元134的吸入侧的一次侧(提供侧)，再次由清洁单元134吹入转移室124内。接着，说明控制设于衬底处理装置10内的进行衬底处理装置10内的
各装置的控制的处理模块控制器(PMC) 14。
图5示出以PMC14为中心的衬底处理装置10的功能结构。如图5所示，PMC14包括CPU140、 ROM142、 RAM144、存储数据的硬盘驱动器(HDD) 158、进行与未图示的显示器等显示单元和键盘等输入装置之间的数据收发的输入输出接口 (IF) 146、经由网络12控制与群控服务器4等之间的数据通信的通信控制部156、温度控制部150、气体控制部152、压力控制部154以及进行与温度控制部150等的1/0控制的1/0控制部148。这些构成元件经由总线160而相互连接，数据在构成元件之间经由总线160而被输入输出。
在PMC14中，CPU140根据预定的组态表处理衬底。具体而言，CPU140将控制数据(控制指示)输出到温度控制部150、气体控制部152以及压力控制部154等。在ROM142、 RAM144以及HDD158中存储有序列程序、由输入输出IF146所输入的数据、经由通信控制部156所输入的数据等。
温度控制部150通过设于上述处理室202的外周部的加热器338来控制该处理室202内的温度。气体控制部152根据来自设置在处理室202的气体管道340上的MFC (质量流控制器)342的输出值来控制提供到处理室202内的反应气体的提供量等。压力控制部154根据设置在处理室202
室202内的压力。输送控制部159控制容器开口才几121、晶舟电梯115以及晶片输送机构等输送系统。这样，温度控制部150等根据来自CPU140的控制指示进行村底处理装置10的各部分(加热器338、 MFC342以及气阀348等)的控制。
因此，CPU140启动序列程序，依照该序列程序调入并执行组态表的指令，从而设定有控制参数的目标值等的步骤被依次执行，经由1/0控制部148而对温度控制部150、气体控制部152、压力控制部154以及输送控制部159发送用于处理衬底的控制指示。温度控制部150等依照控制指示来控制衬底处理装置10内的各部分(加热器338、 MFC342以及气阀
12348等)。由此进行晶片200的处理。
CPU140 (发送单元)经由通信控制部156对群控服务器4发送具有如下信息的电文，即具有温度信息、压力信息、气体信息等生产信息的衬底处理装置10的装置信息或事件信息。例如，CPU140在某一生产信息发生变化时，将具有反映该变化信息的装置信息的电文进行发送。另外，CPU140将具有与衬底处理装置10的事件和障碍有关的信息(事件信息)的电文发送给群控服务器4。事件是指例如晶舟217的上升开始时、上升结束时、下降开始时以及下降结束时等。在产生了这样的事件时，晶舟电梯115的位置传感器的通断被切换，并且发出切换信号。
图6是以控制装置16为中心示出终端设备6的硬件结构的图。
如图6所示，终端设备6包括具有CPU18以及存储器20等的控制装置16、经由网络12与外部计算机进行数据的收发的通信接口 (IF) 22、硬盘驱动器等存储单元26、具有液晶显示器等显示单元以及键盘和鼠标等指示设备的显示输入装置24。这样，终端设备6例如作为个人计算机等通用计算机而得以实现。群控服务器4具有上述的控制装置16、通信IF22以及存储单元26。另外，群控服务器4构成为经由通信IF22而连接在终端设备6的显示输入装置24上。
接着，说明群控服务器4的功能和DB结构以及终端设备6的功能。
图7是示出由群控服务器4所执行的群控程序40、以及由终端设备6所执行的终端程序60的功能结构的图。
如图7所示，群控程序40包括装置信息DB400、当前信息存储部402、定义信息存储部404、通信部406、电文接受部408以及装置信息登记部410。群控程序40被装入群控服务器4的存储器20中，在控制装置16上工作的未图示OS上执行。
在群控程序40中，当前信息存储部402 (第一装置信息存储单元)存储各衬底处理装置10的最新装置信息。具体而言，当前信息存储部402根据从衬底处理装置10发送来的电文，存储发送来该电文的时刻的装置信息。在装置信息中包含装置识别信息、温度信息、压力信息、气体信息等生产信息以及对于各生产信息的测量数据。当前信息存储部402(第一装置信息存储单元)对于根据电文取得的各村底处理装置10的所有装
置信息，存储其测量值。当前信息存储部402由存储器20所实现。
装置信息DB400(第二装置信息存储单元)对于各衬底处理装置IO，将装置信息与时刻相关联来进行存储。具体而言，装置信息DB400将作为装置信息一部分的、由后述的定义信息存储部404所定义的装置信息按产生所定义的事件信息的各时刻进行存储。装置信息DB400由存储器20和存储单元26的至少 一者所实现。对于装置信息DB400和当前信息存储部402所存储的装置信息的结构将于后面详述。
定义信息存储部404可变更地存储有定义信息。在定义信息中包含如下信息，即读出存储在当前信息存储部402中的装置信息而存储在装置信息DB400中的条件(存储条件)以及由终端设备6所显示的装置信息等。例如，作为积蓄条件，包含预定事件的。另外，例如作为终端设备6所显示的装置信息，包含"温度chl""温度ch2""气体chl"等生产信息的类别以及各生产信息的测量值。定义信息存储部404也可以存储多个定义信息，此时群管理程序40优选的是按各定义信息具有装置信息DB400。
通信部406进行与衬底处理装置10之间通信所需要的通信处理。具体而言，通信部406经由通信IF22按照预定的顺序取得从衬底处理装置IO发送来的电文，并向电文接受部408输出。
电文接受部408接受从通信部406输出的电文，在该电文具有装置信息的情况下，将该装置信息存储在当前信息存储部402中。具体而言，电文接受部408更新在当前信息存储402所存储的装置信息中从通信部406输出的电文所包含的装置信息的测量值。例如，电文接受部408将电文所包含的装置信息的测量值改写为当前信息存储部402所存储的测量值。由此，在当前信息存储部402中存储有发送出电文的时刻、即最新的衬底处理装置10的装置信息。
另外，电文接受部408在从通信部406接受到的电文包含事件信息时，将该事件信息输出到装置信息登记部410。
装置信息登记部410参照定义信息存储部404，依照存储在定义信息存储部404中的存储条件将存储在当前信息存储部402中的装置信息登 记到装置信息DB400。具体而言，当从电文接受部408输出的事件信息 和在定义信息存储部404中作为存储条件而存储的事件信息一致时，装 置信息登记部410将作为事件信息发送源的衬底处理装置10的装置信息 从当前信息存储部402读出，将所读出的装置信息的至少一部分与事件 产生的时刻相对应地登记到装置信息DB400中。在此，装置信息登记部 410参照存储在定义信息存储部404中的定义信息，仅读出所定义的装置 信息，对该信息加工以使其统一为预定的数据形式后进行登记。由此， 在每当在衬底处理装置10中作为存储条件的事件产生时，在产生时刻的 村底处理装置10的装置信息被存储在装置信息DB400中。
终端程序60具有用户接口 (UI)部600、装置信息取得部602以及画 面生成部604。终端程序60被装入终端设备6的存储器20中，在控制装置 16上工作的未图示的OS上被执行。
在终端程序60中，UI部600 (显示单元)接受经由显示输入装置24 所输入的内容，并向装置信息取得部602输出。例如，UI部600接受村底 处理装置10的名称、标识符(ID)等识别信息以及时刻。另夕卜，UI部600 在显示输入装置24上显示由画面生成部604所生成的障碍信息画面(后 述)等。
装置信息取得部602根据从UI部600输出的识别信息和时刻检索存 储在装置信息DB400中的装置信息，取得由该识别信息所识别的衬底处 理装置10的该时刻的装置信息。装置信息取得部602对画面生成部604 输出所取得的装置信息。
画面生成部604参照定义信息存储部404 ，取得所定义的装置信息的 类别以及各装置信息的测量值。画面生成部604根据该装置信息的类别 生成障碍信息画面的画面结构。进而，画面生成部604将由装置信息取 得部602所取得的装置信息合成到障碍信息画面的画面结构，生成障碍 信息画面。画面生成部604将所生成的障碍信息画面输出到UI部600。障 碍信息画面将在后面详述。
图8是示意性地示出群控程序40的当前信息存储部402和装置信息DB400的存储结构的图，(A)例示出当前信息存储部402， ( B )例示 出装置信息DB400。
如图8 (A)所例示的那样，在当前信息存储部402中，对于各衬底 处理装置10存储着包含所有类别及其测量值的装置信息。在当前信息存 储部402中存储着各衬底处理装置10的各装置信息的最新测量值。因此， 存储在当前信息存储部402中的装置信息仅在测量值发生了变更的情况 下更新。
在图8中例示出显示有3个类别的情况，但实际上显示出不限于3个
的数目的类别。
如图8 (B)所例示的那样，在装置信息DB400中，对于各衬底处理 装置10存储着包含由定义信息存储部404所定义的类别及其测量值的装 置信息。每当满足在定义信息存储部404所定义的存储条件时，该装置 信息就进行存储。各时刻的装置信息为多个类别及其测量值被统一成1 个数据的形式。例如，类别及其测量值由"/"等连结记号所连结，这样连 结的信息被包含在1个装置信息内。
以下，详细说明本发明实施方式的村底处理系统l的工作。
首先，说明衬底处理装置10的衬底处理。
如图3和图4所示那样，当容器110被提供给负载台114时，容器输入 输出口112借助于前面闸门113而开放，负载台114上的容器110利用容器 输送装置118从容器输入输出口 112输入到框体111的内部。
所输入的容器110利用容器输送装置118自动地输送到旋转式容器 搁架105中指定的搁架板117而被交付，在被暂时保管后、从搁架板117 输送到一方的容器开口机121而被交付，在被暂时保管后从搁架板117 输送到 一 方的容器开口机121而被转移到载置台122,或者直接输送到容 器开口机121而被转移到载置台122。此时，容器开口机121的晶片输入 输出口120由盖子拆装机构123所关闭，清洁气体133在转移室124中流通 而被充满。例如，在转移室124中氮气作为清洁气体133而充满，当氧气 浓度为20ppm以下时，设定为远远低于框体lll的内部(大气气氛)的 氧气浓度。载置于载置台122上的容器110,其开口侧端面压在子框体119的正 面壁119a处的晶片输入输出口120的开口边缘部，并且其盖子由盖子拆 装机构123所卸下，晶片出入口被打开。
当容器1 IO被容器开口机121打开时，晶片200利用晶片转移装置 125a的镊子125c从容器110通过晶片出入口而被拾取，利用未图示的缺 口对准装置135对晶片进行了匹配后，被输入到位于转移室124后方的等 待部126，被装填(装料)到晶舟217。将晶片200交付给晶舟217后的晶 片转移装置125a返回到容器110,将下一晶片200装填到晶舟217。
在该一方(上方或下方)的容器开口机121的晶片转移机构125对晶 舟217进行的晶片的填装作业中，在另一方(下方或上方)的容器开口 机121上利用容器输送装置118使其他的容器110从旋转式容器搁架105 开始输送而转移，同时进行利用容器开口机121的容器110的打开作业。
当预先指定的多张晶片200填装到晶舟217时，由炉口门147所关闭 的处理室202的下端部被炉口门147打开。接着，保持了晶片200组的晶 舟217，其密封盖子219利用晶舟电梯115而上升，输入到处理室202内(装 料)。
在装料后，由处理室202根据预定的组态表对晶片200实施处理。在 处理后，去除未图示的缺口对准装置135中的晶片的匹配工序，采用大 致与上述相反的顺序，将晶片200和容器110输出到框体的外部。
衬底处理装置10在这样的衬底处理之间，将具有温度信息、压力信 息、气体信息等衬底处理装置10的装置信息的电文发送给群控服务器4。 进而，每当事件产生时，衬底处理装置10将事件信息发送给群控服务器 4。
接着，说明本发明实施方式的群控服务器4的工作。 图9是示出本发明实施方式的群控服务器4的工作(S10)的流程图。 如图9所示，在群控服务器4 (群控程序40)中，通信部406判断是 否从衬底处理装置10接受到了电文。群控服务器4在接受到电文时，进 入到步骤102 (S102)的处理，若未接受到电文则结束处理。
在步骤102(S102)中，通信部406将电文输出到电文接受部408，电文接受部408判断所输出的电文中是否包含事件信息。当电文中包含 事件信息时，群控服务器4进入到步骤106 (S106)的处理，当电文中未 包含事件信息时，进入到步骤104 (S104)的处理。
在步骤104(S104)中，电文接受部408更新存储在当前信息存储部 402中的装置信息中的、该电文中所包含的装置信息的数据。在数据更 新后，群控服务器4返回到步骤100 (S100)的处理。
在步骤106(S106)中，电文接受部408对装置信息登记部410输出 电文中所包含的事件信息，装置信息登记部410判断该事件信息是否被 指定为存储条件。当该事件信息被指定为存储条件时，群控服务器4进 入到步骤108 (S108)的处理，若不是这样则返回到步骤IOO (S100)的 处理。
在步骤108(S108)中，装置信息登记部410读出存储在当前信息存 储部402中装置信息，即与事件信息发送源的衬底处理装置IO相关的信 息，使该装置信息与事件产生时刻相关联，并存储到装置信息DB400中。 在存储后，群控服务器4返回到步骤100 (S100)的处理。
以上说明了如下情况，即在群控服务器4中，来自衬底处理装置 10的装置信息中最新的信息暂时被存储在当前信息存储部402中，在存 储于当前信息存储部402的信息中，仅将与由定义信息存储部404的定义 信息所定义的事件相关的信息存储在装置信息DB400中，但是，群控服 务器4的工作不限于此。
例如，也可以是如下情况在群控服务器4中，预先参照定义信息 存储部404的定义信息，在当前信息存储部402仅存储来自衬底处理装置 IO的装置信息中由定义信息所定义的装置信息，在装置信息DB400中仅 存储如下信息，即存储在当前信息存储部402的信息中与由定义信息 存储部404的定义信息所定义的事件相关的信息。
接着，说明使用了终端设备6的关于衬底处理装置10的信息的浏览。 图IO是例示出显示在终端设备6中的障碍信息画面的图。 图10 ( A)是在定义信息存储部404中作为定义信息所指定的类别与 存储在装置信息DB400中的所期望时刻的装置信息的类别 一致时的例子。如图IO (A)所例示出的那样，在障碍信息画面中包含障碍内容以
及障碍产生时的装置信息，在该装置信息中包含由定义信息存储部404 所定义的类别以及障碍产生时的测量值。在此，与所定义的所有类别相 应的测量值被显示出来。
在定义信息存储部404中所存储的定义信息可进行变更。因此，当 定义信息发生了变更时，有时由定义信息所指定的类别与所期望时刻的 装置信息的类别并不一致。
图10 ( B )示出在定义信息存储部404中作为定义信息所指定的类别 与存储在装置信息DB400中的所期望时刻的装置信息的类别不 一致时 的例子。如图IO (B)所例示的那样，在检索时刻的定义信息中，定义 了类别"压力"，但在所期望时刻的定义信息中未定义类别"压力"时， 该时刻的类别"压力，，的测量值并未存储在装置信息DB400中。此时， 障碍信息画面的类别"压力"栏内不显示测量值，该栏为空栏的状态。
这样，即使在定义信息发生了变更的情况下，终端设备6能够显示 衬底处理装置10的装置信息中与所存储的类别相关的信息。虽然存储在 装置信息DB400中，但是与在检索时的定义信息中没有定义的类别相关 的测量值由终端设备6从群控服务器4中取得，但是并未显示在障碍信息 画面上。
如上所述，本发明的衬底处理系统l包括群控服务器4，其根据从 衬底处理装置10发送来的电文保存衬底处理装置10的最新装置信息，在 衬底处理装置10中产生事件的定时将装置信息中所指定的类别及其测 量值存储在装置信息DB400中；以及终端设备6，其检索存储在群控服 务器4的装置信息DB400中的装置信息。因此，各时刻的装置信息具有 所定义的类别的测量值，终端设备6能够根据时刻信息检索单元信息， 并不需要在检索时追溯时间以补足类别的测量值。由此，检索时间被缩 短，因此能够提高例如数据分析作业等作业的效率。
接着，说明群控程序40的当前信息存储部402的存储结构的变形例 以及项目信息DB412的存储结构。在项目信息中包含装置信息和事件信 息。
19图1 l是示出群控程序40的当前信息存储部402的存储结构的变形例 以及项目信息DB412的存储结构的图，(A)例示出当前信息存储部402， (B)例示出项目信息DB412。
如图ll (B)所例示出的那样，项目信息也可以包含与处理组态表 相关的信息(例如处理组态表的名称)、晶片图、02浓度等。即，项目 信息也可以包含各村底处理装置10的处理信息。例如，晶舟217的上升 开始时和上升结束时，在处理组态表的名称、晶片图、02浓度等发生变 化时，用户能够使用终端设备6取得关于晶舟217的上升前后的时刻的信 息，从而确认其差别。晶片图、02浓度等不过是例示，也可以存储其他 类别。
本发明的衬底处理装置10不仅适用于半导体制造装置，还适用于处 理LCD装置等的玻璃衬底的装置。另外，本发明的衬底处理装置10也适 用于其他衬底处理装置即曝光装置、涂覆装置、干燥装置、加热装置等。 另外，本发明的衬底处理装置10并不限于炉内处理，还能够进行用于 CVD、 PVD、形成氧化膜、氮化膜的处理、以及包含形成具有金属的膜 的处理的成膜处理。进而，本发明的衬底处理装置10能够进行退火处理、 氧化处理、氮化处理、扩散处理等。
另外，本发明还包含以下的实施方式。
本发明的信息管理装置，包括第一装置信息存储单元，其根据从 用于处理衬底的衬底处理装置发送的电文，存储该电文被发送出的时刻 的上述衬底处理装置的装置信息；第二装置信息存储单元，其将装置信 息与时刻相关联来进行存储；条件存储单元，其存储要移动的装置信息 的设定和存储该装置信息的条件；以及登记单元，当存储在上述条件存 储单元中的条件被满足时，将该条件被满足的时刻与存储于上述第一装 置信息存储单元中的同该设定相一致的装置信息相关联来登记在上述 第二装置信息存储单元中。
本发明的第一衬底处理系统，其包括用于处理衬底的多个衬底处理 装置、用于处理从上述衬底处理装置发送的电文的信息管理装置、以及 与上述信息管理装置相连接的终端设备，上述衬底处理装置包括发送单元，该发送单元将包含装置信息或事件信息的电文发送给上述信息管理
装置，上述信息管理装置包括第一装置信息存储单元，其根据从上述
发送单元发送的电文，存储该电文被发送出的时刻的上述衬底处理装置
的装置信息；第二装置信息存储单元，其将装置信息与时刻相关联来进 行存储；条件存储单元，其存储用于存储装置信息的条件；以及登记单 元，当存储在上述条件存储单元中的条件与上述事件信息一致时，将该 条件被满足的时刻与存储于上述第一装置信息存储单元中的装置信息 相关联来登记在上述第二装置信息存储单元中，上述终端设备包括对存 储在上述第二装置信息存储单元中的装置信息进行检索的检索单元。
本发明的第二衬底处理系统，其在第一衬底处理系统中还在上述终 端设备上设有显示单元，参照存储在上述条件存储单元和上述第二装置 信息存储单元中的装置信息，当该所存储的装置信息与上述条件存储单 元的内容一致时将其显示在上述显示单元上。
本发明的第三衬底处理系统，其在第一衬底处理系统中，上述衬底 处理装置具有对存储在第二装置信息存储单元中的装置信息进行检索 的检索单元、以及对由上述检索单元所检索到的装置信息进行显示的显
示单元。
本发明的第 一数据检索方法，将从装置发送的最新数据预先存储在 所要存储的第一存储单元内，当接收到预先设定的预定数据时，将存储 在上述第一存储单元中的数据的至少 一 部分数据附加上述预定数据产 生的时刻而存储到第二存储单元中，对该存储的数据进行检索。
本发明的第二数据检索方法，将从装置发送的最新数据预先存储在 所要存储的第一存储单元内，参照设定了预定数据和仅在产生该预定数 据时移动到第二存储单元的数据的参数，当接收到上述预定数据时，将 存储在上述第 一存储单元中的数据的至少 一部分数据存储到上述第二 存储单元中，并对该存储的数据进行检索。
本发明的第一数据检索系统包括第一存储单元，其将从处理装置 发送的数据改写而保存；第二存储单元，其根据预定数据和设定了当接 收到该预定数据时从上述第 一存储单元移动的数据的参数，存储在上述第一存储单元中存储的数据；以及终端装置，其检索该存储的数据。
本发明的第二数据检索系统，其在第 一数据检索系统中还在上述终 端装置上设有显示单元，检索上述参数和上述所存储的数据，当该存储 的数据与上述参数的内容一致时将其显示在上述显示单元上。
本发明的第三数据检索系统，其在第一数据检索系统中，上述处理 装置具有对存储在第二存储单元中的数据进行检索的检索单元，以及对 由上述检索单元所检索到的数据进行显示的显示单元。
权利要求
1.一种信息管理方法，其根据包含从处理衬底的衬底处理装置发送的装置信息或者事件信息的电文来管理信息，其特征在于将包含装置信息的电文被发送的时刻的上述衬底处理装置的装置信息存储到第一装置信息存储单元中，并且在包含事件信息的电文被发送出时比较该事件信息与存储上述装置信息的条件，当两者一致时，使上述装置信息和上述事件信息产生的时刻相关联而存储在第二装置信息存储单元中。
2. 根据权利要求l所述的信息管理方法，其特征在于当包含上述事件信息的电文被发送出时，比较该事件信息与条件存 储单元中的条件，其中该条件存储单元设定有使存储在第一装置信息存 储单元中的装置信息移动到第二装置信息存储单元中的移动条件和移 动对象的装置信息，当上述事件信息与上述条件一致时，在存储于上述 第一装置信息存储单元中的装置信息即上述设定的移动对象的装置信 息上附加上述事件信息产生的时刻来存储在第二装置信息存储单元中。
3. —种信息显示方法，其在具有操作画面的操作终端上显示信息， 其特征在于当从处理村底的衬底处理装置发送出包含事件信息的电文时，上述 操作终端参照该事件信息与条件存储单元中的条件，其中该条件存储单 元设定有使存储于第一装置信息存储单元中的装置信息移动到第二装 置信息存储单元中的移动条件和移动对象的装置信息，在上述设定的移 动对象的装置信息上附加上述事件信息产生的时刻来对所存储的第二 装置信息存储单元进行检索，比较进行该检索后的结果信息与上述设定 的装置信息，若两者一致则将上述装置信息显示在上述操作画面上。
4. 一种信息管理装置，其特征在于，包括第一装置信息存储单元，其根据从处理衬底的村底处理装置发送的 第二装置信息存储单元，其将装置信息与时刻相关联来进行存储；条件存储单元，其存储要移动的装置信息的设定和储存该装置信息的条件；以及登记单元，当存储在上述条件存储单元中的条件被满足时，将该条 件被满足的时刻与存储在上述第 一装置信息存储单元中的同该设定相 一致的装置信息相关联来登记在上述第二装置信息存储单元中。
5. —种衬底处理系统，包括用于处理衬底的多个衬底处理装置； 和用于处理从上述衬底处理装置发送的电文的信息管理装置，其特征在于上述衬底处理装置具有发送单元，该发送单元将包含装置信息或事 件信息的电文发送给上述信息管理装置， 上述信息管理装置包括第一装置信息存储单元，其根据从上述发送单元发送的电文来存储 该电文被发送出的时刻的上述衬底处理装置的装置信息；第二装置信息存储单元，其将装置信息与时刻相关联来进行存储； 条件存储单元，其存储要移动的装置信息的设定和储存该装置信息 的条件；以及登记单元，当存储在上述条件存储单元中的条件被满足时，将该条 件被满足的时刻与存储在上述第 一装置信息存储单元中的同该设定相 一致的装置信息相关联来登记在上述第二装置信息存储单元中。
6. —种衬底处理系统，包括用于处理衬底的多个衬底处理装置； 用于处理从上述衬底处理装置发送的电文的信息管理装置；以及与上述 信息管理装置相连接的终端设备，其特征在于上述衬底处理装置具有发送单元，该发送单元将包含装置信息或事 件信息的电文发送给上述信息管理装置， 上述信息管理装置包括第一装置信息存储单元，其根据从上述发送单元发送的电文来存储 该电文被发送出的时刻的上述村底处理装置的装置信息；第二装置信息存储单元，其将装置信息与时刻相关联来进行存储； 条件存储单元，其存储要移动的装置信息的设定和储存该装置信息的条件；以及登记单元，当存储在上述条件存储单元中的条件被满足时，将该条 件被满足的时刻与存储在上述第 一装置信息存储单元中的同该设定相 一致的装置信息相关联来登记在上述第二装置信息存储单元中，上述终端设备包括对存储在上述第二装置信息存储单元中的装置信 息进行检索的检索单元。
7.根据权利要求5或者权利要求6所述的衬底处理系统，其特征在于上述衬底处理装置还包括对存储在上述第二装置信息存储单元中 的装置信息进行检索的检索单元；和用于显示由上述检索单元检索到的 装置信息的显示单元。
8. —种衬底处理装置，其为权利要求5至7中任意一项所述的衬底处 理系统中的衬底处理装置。
9. 根据权利要求6所述的衬底处理系统，其特征在于 上述终端设备还包括显示单元，上述终端设备参照上述条件存储单元的内容和存储在上述第二装置信息存储单元中的装置信息，若上述第 二装置信息存储装置所存储的装置信息与上述条件存储单元的内容相 一致，则显示在上述显示单元上。
全文摘要
一种信息管理方法、信息管理装置以及衬底处理系统。衬底处理系统具有群控服务器和终端设备。群控服务器包括根据从衬底处理装置发送的数据，存储发送出该数据的时刻的衬底处理装置的装置信息的当前信息存储部(402)、将装置信息与时刻相关联来进行存储的装置信息DB(400)、用于存储装置信息被存储的条件的定义信息存储部(404)、以及当存储在定义信息存储部(404)中的条件被满足时，将该条件被满足的时刻与存储在当前信息存储部(402)中装置信息相关联来登记在装置信息DB(400)中的装置信息登记部(410)。终端设备包括对存储在装置信息DB(400)中的装置信息进行检索的装置信息取得部(602)。能缩短终端设备从信息管理装置取得信息所需要的时间。
文档编号H01L21/00GK101630631SQ200910137468
公开日2010年1月20日 申请日期2009年4月29日 优先权日2008年7月15日
发明者屋敷佳代子, 岩仓裕幸, 浅井一秀, 越卷寿朗 申请人:株式会社日立国际电气