一种激光器电极的制作方法

文档序号:7187060阅读:371来源:国知局
专利名称:一种激光器电极的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种激光器的放电电极的技术领域。
背景技术
在现有大功率直流激励二氧化碳激光器的放电结构中,由于激光器的电极和电极 座材料都用金属材料制成,处于真空环境中的电极和电极座在长时间直流高压工作状态下 会产生金属溅射。同时高压气体放电产生的高温腐蚀性气体极易在电极和电极座内表面产 生金属氧化物颗粒和粉末,从而导致光学谐振腔中放电管、光学元件受到污染,严重时会导 致谐振系统光学元件报废,进而影响激光器输出功率和光束质量稳定性。目前解决这一问 题只能采取被动的方式对激光器整个谐振腔(包括电极、放电管)进行拆卸清洗或更换,工 作量较大。因电极及电极座由金属材料制成,激光器工作时整个电极都带有高电压,激光器 操作和检修存在严重的安全隐患。 现有技术存在缺点是金属电极及电极座易污染整个谐振腔,激光器工作一定时间 后放电不稳定,谐振腔需清洗、准直、安装,维护成本较高,安全性绝缘性能差。

发明内容本实用新型目的是提供一种使激光器谐振腔无金属电极氧化和溅射而造成污染,
热态稳定性更好,放电更稳定的激光器电极。 本实用新型为实现上述目的,采用如下技术方案 —种激光器电极,包括电极座、电极针,电极针固定连接在电极座上,其特征在于 所述电极座为非金属材料。 比较好的是,本实用新型的非金属材料为玻璃材料。本实用新型的非金属材料还 可以为陶瓷材料。本实用新型的非金属材料也可以为树脂材料。 本实用新型采用上述技术方案,与现有技术相比具有如下优点本实用新型的电 极座采用非金属材料制造,使激光器谐振腔无金属电极氧化和溅射而造成污染,热态稳定 性更好,放电更稳定;同时安全性绝缘性能好,结构简单,易于制造和装配;延长谐振腔内 光学镜片寿命,降低使用成本。

图1是本实用新型的一种结构示意图。
具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的技术方案进行详细说明 如图1所示,一种激光器电极,包括电极座1、电极针2,电极针2固定连接在电极 座1上,其特征在于所述电极座2为非金属材料。 本实用新型的非金属材料为耐高压、耐高温、耐腐蚀材料,如玻璃材料、陶瓷材料、树脂材料等。
权利要求一种激光器电极,包括电极座(1)、电极针(2),电极针(2)固定连接在电极座(1)上,其特征在于所述电极座(2)为非金属材料。
2. 根据权利要求1所述的激光器电极,其特征在于上述非金属材料为玻璃材料。
3. 根据权利要求1所述的激光器电极,其特征在于上述非金属材料为陶瓷材料。
4. 根据权利要求1所述的激光器电极,其特征在于上述非金属材料为树脂材料。
专利摘要一种激光器的电极,涉及一种激光器的放电电极的技术领域。一种激光器电极,包括电极座、电极针,电极针固定连接在电极座上,其特征在于所述电极座为非金属材料。本实用新型的非金属材料可以为玻璃材料或陶瓷材料或树脂材料。本实用新型目的是提供一种使激光器谐振腔无金属电极氧化和溅射而造成污染,热态稳定性更好,放电更稳定的激光器电极。
文档编号H01S3/038GK201450220SQ200920043278
公开日2010年5月5日 申请日期2009年6月25日 优先权日2009年6月25日
发明者张梅松, 张立文, 杨和逸 申请人:南京东方激光有限公司
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