专利名称：一种工作平台移动机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及机械和半导体制造行业中的工作平台，尤其涉及一种工作平台的
移动机构。
背景技术：
目前，在机械和半导体行业中，为了实现工作平台的移动，最常用的技术手段采用 电机丝杆传动，如机床的工作平台也采用电机丝杆传动。电机丝杆传动可以实现较为精确 的位置传动，定位精度和重复定位精度较高，误差小。工作平台移动平稳。在一定空间范围 里可以实现较大的行程。 但是，对于以下情况用电机丝杆传动就很难实现。当安装的空间很小，以至于小到 无法安装电机。当要求有较大的行程，但要求安装的距离远远小于行程的距离。或者当要 求工作平台经常在断电和断气的情况下维修，以上情况若用这种工作平台移动机构就可以 较易实现。
实用新型内容本实用新型解决的技术问题是在工作平台的狭小的安装空间中，为工作平台提供
一种新型结构的移动机构，可以在有较大的行程，但要求安装的距离远远小于行程的距离
的场合使用，同时可以实现在断电和断气的情况下对工作平台的维修需求。
—种工作平台移动机构，其特征在于，包括基础框架1，若干个固定盘，气浮3，导
轨4，若干个支架，工作平台6，若干个拉杆，支撑板8，固定螺栓9，支撑架组件11 ，若干个轴
套，气缸组件14，固定座16 ，滚轮组件21 ，其中， 气浮3通过螺栓与导轨4均安装在基础框架1上； 第一定位螺栓13依次穿过气缸组件14和第二轴套12后，安装在基础框架1上； 另一个第一定位螺栓13依次穿过气缸组件14和第一拉杆15后用螺母固定； 固定座16安装在基础框架1上用螺栓固定，第一固定盘19和第一轴套20通过螺 栓连接后，螺栓再次穿过第一拉杆15与固定座16固定； 固定螺栓9依次套上两个第一轴套20后穿过第二拉杆7，用两个螺母将固定螺栓 9固定，螺栓依次套上两个第一轴套20后穿过第一固定盘19后，再次穿过第二拉杆7和第 二固定盘2后固定； 滚轮组件21通过螺栓安装在工作平台6上，工作平台6组件安装在气浮3上，通 过螺栓穿过第二固定盘后固定； 第三支架5通过螺栓安装在基础框架1上，螺栓穿过第三支架5、支撑板与工作平 台8固定； 第二支架17通过螺栓安装在基础框架1上，第二定位螺栓18穿过第二支架17、支 撑板8与工作平台6固定； 第一支架10通过螺栓安装在基础框架1上，支撑架组件11通过螺栓安装在第一支架10上。 所述的一种工作平台移动机构，其特征在于所述的气缸组件14可以绕第一定位 螺栓13作旋转运动。所述的第一拉杆15可以绕固定座16旋转。所述的第一拉杆15在气 缸组件14推动下可以绕固定座16旋转。所述的第二拉杆7可以绕固定螺栓9旋转。所述 的第二拉杆7在第一拉杆15推动下可以绕固定螺栓9旋转。所述的第二拉杆7可以推动 工作平台6作水平运动。 所述的一种工作平台移动机构，其特征在于所述的滚轮组件21包括，轮22，衬套 23，右轮边24，定位垫片25，底座26，轴承27，螺栓28，左轮边29 ; 滚轮螺栓28依次穿过左轮边29、轮22、轴承27和衬套23及右轮边24用开槽沉 头螺钉28固定。内六角圆柱头螺钉穿过定位垫片25及底座26后再次穿过螺栓28固定。 所述的右轮边24及左轮边29起定位作用。所述的气缸组件14可以绕第一定位螺栓13作 旋转运动。 所述的气缸组件14可以推动第一拉杆15在绕固定座16旋转。所述的第一拉杆 15推动第二拉杆7绕固定螺栓9旋转。所述的第二拉杆7可以推动工作平台6作水平运 动。滚轮组件21可以沿导轨作水平运动。所述的工作平台移动时，气浮3会把工作平台浮 起。 本实用新型的有益效果是整个移动机构装置结构紧凑，体积小，重量轻，当空间小 到无法安装电机时仍可以安装本实用新型提供的移动机构。该机构定位精度高，此机构有 较大的行程，安装的距离远远小于行程的距离，在断电和断气的情况下具有维修简便的优 点。
图1是工作平台移动机构主视示意图； 图2是工作平台移动机构俯视示意图； 图3是工作平台移动机构右视示意图； 图4是工作平台移动机构滚轮组件主视示意图； 图5是工作平台移动机构滚轮组件俯视示意图。 标号说明1.基础框架2.第二固定盘3.气浮4.导轨5.第三支架6.工作平台7.第二拉杆8.支撑板9.固定螺栓10.第一支架11.支撑架组件12.第二轴套13.第一定位螺栓14.气缸组件15.第一拉杆16.固定座17.第二支架18.第二定位螺栓19.第一固定盘20.第一轴套21.滚轮组件22.轮23.衬套24.右轮边25.定位垫片26.底座27.轴承28.滚轮螺栓29.左轮边1001.大理石平板
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作详细说明。[0035] 结合图1、图2、图3、图4、图5，本实用新型包括整个调整装置包括基础框架1， 第二固定盘2，气浮3，导轨4，第三支架5，工作平台6，第二拉杆7，支撑板8，固定螺栓9，第 一支架IO，支撑架组件ll，第二轴套12，第一定位螺栓13，气缸组件14，第一拉杆15，固定 座16，第二支架17，第二定位螺栓18，第一固定盘19，第一轴套20，滚轮组件21，轮22，衬套 23，右轮边24，定位垫片25，，底座26，轴承27，螺栓28，左轮边29。 本实施例中的工作平台移动机构的具体结构是将气浮3通过螺栓固定安装在基 础框架1上，将导轨4通过螺栓固定安装在基础框架1上，第一定位螺栓13依次穿过气缸 组件14和第二轴套12后，安装在基础框架1上。第二个第一定位螺栓13依次穿过气缸组 件14和第一拉杆15后用螺母固定。固定座16用螺栓固定安装在基础框架1上，螺栓依次 穿过第一固定盘19和第一轴套20后， 再次穿过第三支架5和固定座16固定。固定螺栓9依次套上两个第一轴套20后 穿过第二拉杆7，用两个螺母将固定螺栓9固定。螺栓依次套上两个第一轴套20后穿过第 一固定盘19后，再次穿过第二拉杆7和固定盘2后固定。将滚轮组件21安装在工作平台 6上，用螺栓固定。将工作平台6组件安装在气浮3上，用螺栓固定。螺栓穿过第二固定盘 2后固定。第三支架5安装在基础框架1上，用螺栓固定。螺栓穿过第三支架5和支撑板8 用螺母固定。螺栓穿过支撑板8及工作平台6后固定。第二支架17安装在基础框架1上， 用螺栓固定。第二定位螺栓18穿过第二支架17和支撑板8用螺母固定。螺栓穿过支撑板 8及工作平台6后固定，第一支架10安装在基础框架1上，用螺栓固定。支撑架组件11安 装在第一支架10上，用螺栓固定。本例滚轮组件21的安装方法是螺栓28依次穿过左轮 边29、轮22、轴承27和衬套23及右轮边24用开槽沉头螺钉28固定。内六角圆柱头螺钉 穿过定位垫片25及底座26后再次穿过螺栓28固定。 气缸组件14可以绕第一定位螺栓13作旋转运动。第一拉杆15可以绕固定座16 旋转。第一拉杆15在气缸组件14推动下可以绕固定座16旋转。第二拉杆7可以绕固定 螺栓9旋转。第二拉杆7在第一拉杆15推动下可以绕固定螺栓9旋转。第二拉杆7可以 推动工作平台6作水平运动。 滚轮组件21的右轮边24及左轮边29起定位作用。气缸组件14可以绕第一定位 螺栓13作旋转运动。气缸组件14可以推动第一拉杆15在绕固定座16旋转。 第一拉杆15推动第二拉杆7绕固定螺栓9旋转。第二拉杆7可以推动工作平台 6作水平运动。滚轮组件21可以沿导轨作水平运动。工作平台移动时，气浮3会把工作平 台6浮起。 滚轮组件21的工作平台6放置到标准的大理石平板1001上，用百分表测量大理 石平板的平行度，若平行度不好，在底座26垫铜箔，继续调整平行度，直到满足要求为止。 测量工作平台组件两滚轮内侧边的距离H1。测量两导轨4内侧边的距离H2，同时用百分表 测量每一边两个轮子内侧边平行度，若不平行在底座26侧面垫铜箔，最终调整平行。比较 Hl与H2是否相等，若不相等，调整导轨的距离使其相等。给气缸组件通气，工作平台就会沿 着导轨作平稳运动。 在上述工作平台移动机构的基础上，可以增加电磁阀、传感器、软件及硬件等设 施。通过控制器来控制气缸的行程。这样可以实现自动控制。 在光刻机整机集成过程中，一些工件的移动就需要工作平台移动机构，要求工作平台移动机构结构紧凑，体积小，重量轻，可以在狭小的空间内安装，(空间小到无法安装电 机)。定位精度高，此移动机构有较大的行程，但安装的距离远远小于行程的距离。在断电 和断气的情况下易维修。工作平台移动机构就是这样一个符合要求的装置。根据需求，设 计了一个工作平台移动机构。 以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用于限制本发明。凡在本发明的精 神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求一种工作平台移动机构，其特征在于，包括基础框架(1)，若干个固定盘，气浮(3)，导轨(4)，若干个支架，工作平台(6)，若干个拉杆，支撑板(8)，固定螺栓(9)，支撑架组件(11)，若干个轴套，气缸组件(14)，固定座(16)，滚轮组件(21)其中，气浮(3)通过螺栓与导轨(4)安装在基础框架(1)上；第一定位螺栓(13)依次穿过气缸组件(14)和第二轴套(12)后，安装在基础框架(1)上；另一个第一定位螺栓(13)依次穿过气缸组件(14)和第一拉杆(15)后用螺母固定；固定座(16)安装在基础框架(1)上用螺栓固定，第一固定盘(19)和第一轴套(20)通过螺栓连接后，螺栓再次穿过第一拉杆(15)与固定座(16)固定；固定螺栓(9)依次套上两个第一轴套(20)后穿过第二拉杆(7)，用两个螺母将固定螺栓(9)固定，螺栓依次套上两个第一轴套(20)后穿过第一固定盘(19)后，再次穿过第二拉杆(7)和第二固定盘(2)后固定；滚轮组件(21)通过螺栓安装在工作平台(6)上，工作平台(6)组件安装在气浮(3)上，通过螺栓穿过第二固定盘后固定；第三支架(5)通过螺栓安装在基础框架(1)上，螺栓穿过第三支架(5)、支撑板与工作平台(8)固定；第二支架(17)通过螺栓安装在基础框架(1)上，第二定位螺栓(18)穿过第二支架(17)、支撑板(8)与工作平台(6)固定；第一支架(10)通过螺栓安装在基础框架(1)上，支撑架组件(11)通过螺栓安装在第一支架(10)上。
2. 如权利要求1所述的一种工作平台移动机构，其特征在于所述的气缸组件(14)可 以绕第一定位螺栓(13)作旋转运动。
3. 如权利要求l所述的一种工作平台移动机构，其特征在于所述的第一拉杆(15)可 以绕固定座(16)旋转。
4. 如权利要求3所述的一种工作平台移动机构，其特征在于所述的第一拉杆(15)在 气缸组件(14)推动下可以绕固定座(16)旋转。
5. 如权利要求1所述的一种工作平台移动机构，其特征在于所述的第二拉杆(7)可 以绕固定螺栓(9)旋转。
6. 如权利要求5所述的一种工作平台移动机构，其特征在于所述的第二拉杆(7)在 第一拉杆(15)推动下可以绕固定螺栓(9)旋转。
7. 如权利要求5所述的一种工作平台移动机构，其特征在于所述的第二拉杆(7)可 以推动工作平台(6)作水平运动。
8. 如权利要求1所述的一种工作平台移动机构，其特征在于所述的滚轮组件(21)包 括，轮(22)，衬套(23)，右轮边(24)，定位垫片(25)，底座(26)，轴承(27)，螺栓(2S)，左轮 边(29);滚轮螺栓(28)依次穿过左轮边(29)、轮(22)、轴承(27)和衬套(23)及右轮边(24) 用开槽沉头螺钉(28)固定。内六角圆柱头螺钉穿过定位垫片(25)及底座(26)后再次穿 过螺栓(28)固定。
9. 如权利要求1所述的一种工作平台移动机构，其特征在于所述的气缸组件(14)可以绕第一定位螺栓(13)作旋转运动。
10. 如权利要求1所述，一种工作平台移动机构，其特征在于所述的气缸组件(14)可以推动第一拉杆(15)在绕固定座(16)旋转。
11. 如权利要求10所述的一种工作平台移动机构，其特征在于 所述的第一拉杆(15)推动第二拉杆(7)绕固定螺栓(9)旋转。
12. 如权利要求11所述的一种工作平台移动机构，其特征在于所述的第二拉杆(7)可以推动工作平台(6)作水平运动。滚轮组件(21)可以沿导轨 作水平运动。
专利摘要本实用新型属于半导体制造业中的工作平台移动机构，该移动机构包括基础框架、若干个固定盘、气浮、导轨、支架、工作平台、若干个拉杆、支撑板、固定螺栓、支撑架组件、轴套、气缸组件、固定盘和滚轮组件。该移动机构的气缸组件可以绕定位螺栓作旋转及伸缩运动，第一拉杆可以绕固定座旋转，第一拉杆在气缸组件推动下可以绕固定座旋转，第二拉杆可以绕固定螺栓旋转，第二拉杆在第一拉杆推动下可以绕固定螺栓旋转，第二拉杆可以推动工作平台作水平运动。该工作平台可以在有较大的行程，但要求安装的距离远远小于行程的距离的场合使用，同时可以实现在断电和断气的情况下对工作平台的维修需求。
文档编号H01L21/677GK201466012SQ20092006749
公开日2010年5月12日 申请日期2009年2月4日 优先权日2009年2月4日
发明者吴荣基, 赵正龙 申请人:上海微电子装备有限公司