专利名称：：检测加热圈上交流电和射频共存的装置的制作方法
技术领域：
：本实用新型涉及一种半导体制造设备，特别是涉及一种半导体制造用设备上的检测装置。
背景技术：
：目前，在半导体制造过程中，往往需要在硅片上生成Si02薄膜。而这些用来在硅片上生成Si02薄膜的机台上需要设置加热器部件，在这些加热部件上交流电和射频都接在同一个回路加热线圈(sidecoil,特指机台上的一个回路组合件)上面。该回路加热线圈用来对机台特定部分进行加热，并且用来将射频导入到该特定部位。考虑到需要加热的位置和射频要导入的位置在机台的同一位置，且安装空间有限，故将交流加热线圈与射频导入线圈一同做在该回路加热线圈上面。如图1所示，交流电所接加热圈与射频所接射频圈紧密固定在一起，组成所说的加热线圈。正常情况下，交流电一直接在加热线圈上对被加热的陶瓷器件进行加热；当射频开启时，交流电从加热线圈上断开，射频导入到加热线圈上；当射频停掉的时候，交流电又重新接到加热线圈上。这样交流电和射频在加热线圈上交替出现，但不会同时出现。但是当出现控制交流电通断的器件坏掉等情况时，就会出现交流电和射频同时出现在加热线圈上的情况，时间久了加热线圈就会因过热被烧坏。目前，通过装在射频柜里的可编程逻辑控制器(PLC)来发出直流控制信号，这个信号来控制继电器的通断，从而来实现交流电和射频交替加载到加热线圈上的功能。目前设备存在的缺陷是这套东西只控制动作，没有反馈监控。当PLC或继电器出现问题时，无法及时发现当射频加到加热线圈上时交流电仍没有从加热线圈上断开。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种可以监控是否存在交流电和射频同时出现在加热线圈上的装置，能够保护加热线圈不因过热被烧坏。为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种检测加热圈上交流电和射频共存的装置，交流检测装置，其输入端连接至交流电接入加热线圈的连接点，所述输入端通过变压器连接到固态继电器的输入端，使得当接点的电压高于一特定值时，固态继电器导通，输出一电压至信号处理单元；射频检测装置，其输入端连接至加热线圈前端继电器的控制电路的连接点，当射频开启或关闭时输出一电压至信号处理单元；信号处理单元，连接交流检测装置和射频检测装置的输出端，对所述交流检测装置的输出电压和射频检测装置的输出电压进行逻辑运算，检测到是否存在交流电和射频共存的的情况。本实用新型的有益效果在于可以有效监控是否存在交流电和射频同时出现在加热线圈上，从而保护加热线圈不因长时间过热被烧坏。以下结合附图和实施例对本实用新型做进一步的详细说明。图1为目前交流电和射频都接在同一个回路加热线圈的示意图；图2为本实用新型实施例的示意图。具体实施方式如图2所示的本实用新型所述的实施例，当交流电和射频同时出现在加热线圈上时，机台可以发出报警。所以与报警装置相连接一个检测器，分别从加热器和射频接出一路信号作为监测器的两个输入信号，检测器的输出信号送给机台，作为机台的报警信号。<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>只有当交流电接到加热线圈上，且射频开启的时候，监测器没有输出，机台会发出报警，其他情况下输出都是+24V直流，机台没有报警。监测器的输入端——交流检测装置，从交流电接入加热线圈的两个连接点接出两条线，作为监测器交流电的输入线。把这两端接入监测器的交流输入端后，通过变压器变压，再连接到一个固态继电器的输入端，固态继电器导通时的输出端为24V直流，通过调节变压器使得当接点TB2-1与TB2-2(如图2中所示)之间的电压高于150V的时候，固态继电器导通，称继电器输出电压为V1。监测器的另一个输入端——射频检测装置，是用来表征射频的开/关状态，这个信号从继电器2(即加热圈前端继电器)上获得。当射频开启的时候，这两端上电压为零；当射频关闭的时候，这两端上有24V直流。将这两端接入监测器的直流输入端。在检测器内再对直流输入进来的信号取反，取反得到的信号称之为V2。本实施例所述的监测器内信号处理包括在得到V1和V2后，对V1、V2作"与"运算，得出的结果为V3。输入输出对应逻辑关系如下射频开启射频关闭VI1010V21100V31000通过逻辑数字集成电路实现将直流输入信号取反得到V2，并将V2和Vl作"与"运算，得出V3输出，以及对V3取反得出V4。监测器的输出端，V3信号是一个24V或者0V的直流信号。再对这个信号取反，将取反得到的信号称为V4，将V4连接到机台系统控制器，从而将监测器的信号送给主机台。将机台附属机台关联保护功能开启。这样当V4为24V直流时，机台处于正常状态；当V4为0V时，机台会有报警，这时就会知道交流电和射频同时加到加热线圈上了，要把机台停下来做故障检查。本实用新型并不限于上文讨论的实施方式。以上对具体实施方式的描述旨在于为了描述和说明本实用新型涉及的技术方案。基于本实用新型启示的显而易见的变换或替代也应当被认为落入本实用新型的保护范围。权利要求1.一种检测加热圈上交流电和射频共存的装置，其特征在于，包括交流检测装置，其输入端连接至交流电接入加热线圈的连接点，所述输入端通过变压器连接到固态继电器的输入端，使得当接点的电压高于一特定值时，固态继电器导通，输出一电压至信号处理单元；射频检测装置，其输入端连接至加热线圈前端继电器的控制电路的连接点，当射频开启或关闭时输出一电压至信号处理单元；信号处理单元，连接交流检测装置和射频检测装置的输出端，对所述交流检测装置的输出电压和射频检测装置的输出电压进行逻辑运算，检测到是否存在交流电和射频共存的的情况。2.如权利要求1所述的检测加热圈上交流电和射频共存的装置，其特征在于，所述射频检测装置当射频开启的时候，其两端上电压为零；当射频关闭的时候，其两端上有直流电压；所述射频检测装置将上述电压取反。3.如权利要求1所述的检测加热圈上交流电和射频共存的装置，其特征在于，所述的信号处理单元将所述交流检测装置的输出电压和射频检测装置的输出电压进行"与"运算，得到电压V3。4.如权利要求3所述的检测加热圈上交流电和射频共存的装置，其特征在于，所述的信号处理单元将所述电压V3取反得到电压V4。5.如权利要求4所述的检测加热圈上交流电和射频共存的装置，其特征在于，所述的信号处理单元连接到机台保护装置，当电压V4显示有交流电和射频共存时，关闭加热线圈。专利摘要本实用新型公开了一种检测加热圈上交流电和射频共存的装置，包括交流检测装置，其输入端连接至交流电接入加热线圈的连接点，所述输入端通过变压器连接到固态继电器的输入端；射频检测装置，其输入端连接至加热线圈前端继电器的控制电路的连接点，当射频开启或关闭时输出一电压至信号处理单元；信号处理单元，连接交流检测装置和射频检测装置的输出端，对所述交流检测装置的输出电压和射频检测装置的输出电压进行逻辑运算，检测到是否存在交流电和射频共存的情况。本实用新型可以有效监控是否存在交流电和射频同时出现在加热线圈上，从而保护加热线圈不因长时间过热被烧坏。文档编号H01L21/00GK201408745SQ200920073968公开日2010年2月17日申请日期2009年5月26日优先权日2009年5月26日发明者徐伯山,林振芳,斌陆申请人:上海华虹Nec电子有限公司