专利名称：子母垃圾桶的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及集成电路工艺装置领域，特别涉及一种子母垃圾桶。
背景技术：
半导体制造工艺主要是进行多次光刻工艺、刻蚀工艺以及成膜工艺等，从而在晶圆表面堆叠出具有特殊结构的半导体元件。其中，成膜工艺包括物理气相沉积工艺、化学气相沉积工艺以及热氧化工艺等。其中，物理气相沉积工艺是一种用于沉积金属、金属合金或其他固态化合物的高真空沉积工艺。其又可分为蒸镀工艺和溅镀工艺两种形式。其中，蒸镀工艺通过蒸镀源在高温时所具备的饱和蒸汽压来进行薄膜的沉积；溅镀工艺通过等离子所产生的离子来轰击靶材(target)，进而被轰击出来的靶材的原子沉积于晶圆表面而形成薄膜。半导体制造工艺中，物理气相沉积工艺是用于金属和金属氧化物淀积的最普遍工艺。物理气相沉积工艺在物理气相沉积腔室中进行，不管是蒸镀工艺还是溅射工艺， 在进行物理气相沉积工艺的过程中，都会将一定的金属或者金属化合物沉积到反应腔室的内壁或者反应腔室内的机台上。而如果反应腔室的内壁，特别是反应腔室内的机台上存有一定金属膜，将影响机台的性能，进一步降低物理气相沉积工艺的可靠性。例如，若其中的加热器机台上存在金属膜，将影响加热性能，如加热不均，同时，由于加热不均，又将引起晶圆之间的的粘连和破碎，降低物理气相沉积工艺的可靠性。因此，为了去除反应腔室的内壁或者反应腔室内的机台上沉积的金属膜，物理气相沉积工艺腔室需要经常清洗。现有的清洗方法是利用氯气与金属膜反应，然后通过无尘布擦拭，从而去除物理气相沉积工艺腔室内沉积的金属膜。由此，使用过的无尘布上往往沾有一定量的氯气。而现有工艺中，使用后的无尘布并没有特定的放置装置，通常就直接放在一个袋子中，在袋子的开闭过程中以及袋子可能出现破损的情况下，无尘布上沾有的氯气将释放出来，污染半导体制造工艺中所用的洁净室。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种子母垃圾桶，以解决现有的放置无尘布的装置， 不能防止其上沾有的杂质释放出来的问题。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种子母垃圾桶，所述子母垃圾桶包括外桶；设置于所述外桶内部的内容器，所述内容器的壁上设置有通孔；与所述外桶匹配的第一桶盖，所述第一桶盖上设置有置物口 ；与所述置物口匹配的第二桶盖。可选的，在所述的子母垃圾桶中，所述置物口包括靠近所述内容器的下端口与远离所述内容器的上端口，所述上端口的直径大于所述下端口的直径，所述第二桶盖与所述上端口匹配。可选的，在所述的子母垃圾桶中，所述第一桶盖与所述外桶铰接。可选的，在所述的子母垃圾桶中，所述第二桶盖与所述第一桶盖铰接。[0011]可选的，在所述的子母垃圾桶中，所述第二桶盖与所述置物口铰接。可选的，在所述的子母垃圾桶中，所述外桶的外壁上设置有把手。可选的，在所述的子母垃圾桶中，所述内容器上设置有拉手。可选的，在所述的子母垃圾桶中，所述内容器与所述外桶间具有间隙。可选的，在所述的子母垃圾桶中，所述外桶的内壁上设置有支撑所述内容器的支撑装置。利用本实用新型提供的子母垃圾桶放置无尘布时，在子母垃圾桶内装一些水，已知杂质氯气溶解于水，由此，在打开关闭桶盖的过程中，可防止无尘布上沾有的杂质释放出来，从而避免了对洁净室的污染。具体的，所述无尘布通过置物口放入内容器内，然后将第二桶盖盖合在置物口上。 当需要再次放置无尘布时，可打开第二桶盖，通过置物口将无尘布放入子母垃圾桶内。由于所述置物口设置于第一桶盖上，必然地，所述置物口的直径比所述第一桶盖小，通过所述置物口将所述无尘布放入子母垃圾桶内，相比于打开第一桶盖以放置无尘布，可使得子母垃圾桶内部与外部的接触机会更少，进一步防止无尘布上沾有的杂质释放出来。
图1是本实用新型实施例的子母垃圾桶的示意图；图2是本实用新型实施例的使用中的子母垃圾桶的示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的子母垃圾桶作进一步详细说明。 根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参考图1，其为本实用新型实施例的子母垃圾桶的示意图。如图1所示，子母垃圾桶1包括外桶10 ；设置于所述外桶10内部的内容器11，所述内容器11的壁上设置有通孔(图1中未示出)；与所述外桶10匹配的第一桶盖12，所述第一桶盖12上设置有置物口 13 ；与所述置物口 13匹配的第二桶盖14。进一步的，所述通孔可设置于所述内容器11的侧壁上或者底壁上或者同时设置在侧壁和底壁上。请参考图2，其为本实用新型实施例的使用中的子母垃圾桶的示意图。如图2所示，利用本实施例提供的子母垃圾桶1放置无尘布3时，在子母垃圾桶1内装一些水2，已知杂质氯气溶解于水，由此，在打开关闭桶盖的过程中，可防止无尘布3上沾有的杂质释放出来，从而避免了对洁净室的污染。具体的，所述无尘布3通过置物口 13放入内容器11内，然后将第二桶盖14盖合在置物口 13上。当需要再次放置无尘布时，可打开第二桶盖14，通过置物口 13，将无尘布放入子母垃圾桶1内。由于所述置物口 13设置于第一桶盖12上，必然地，所述置物口 13的直径比所述第一桶盖12小，通过所述置物口 13将所述无尘布3放入子母垃圾桶1内，相比于打开第一桶盖12以放置无尘布3，可使得子母垃圾桶1内部与外部的接触机会更少，进一步防止无尘布3上沾有的杂质释放出来。此外，由于所述无尘布3通过置物口 13放入内容器11内，当需要将子母垃圾桶1 内放置的大量无尘布3取出，做后续处理时，可将内容器11从外桶10中取出，然后将大量的无尘布3 —次性从所述内容器11中倒出，可方便地达到取出无尘布3的目的，并且通过内容器11上设置的通孔，可将内容器内的水留在外桶内，从而也不会从子母垃圾桶1中带出大量的水，节省了用水成本。需要说明的是，本实用新型中以无尘布为例详细说明，并不用于限定该子母垃圾桶，所述子母垃圾桶也可以用于承装其他杂物，例如其他擦拭布。此外，在本实施例中，使用子母垃圾桶时，子母垃圾桶内装入了水，是为了防止无尘布上沾有的杂质氯气释放；在本实用新型其它实施例中，若为了防止无尘布上沾有的其他类型的杂质释放，在使用子母垃圾桶时，可相应的在所述子母垃圾桶内装有一些可使所述杂质溶于其中的溶液。请继续参考图1，在本实施例中，所述置物口 13包括靠近所述内容器11的下端口 131以及远离所述内容器11的上端口 130，所述上端口 130的直径大于所述下端口 131的直径，所述第二桶盖14与所述上端口 130的尺寸匹配。通过将所述上端口 130的直径设置为大于所述下端口 131的直径，在打开所述第二桶盖14时，可有效抑制子母垃圾桶1内的气体排出，进一步防止无尘布上沾有的杂质释放出来。其中，所述上端口 130可以高出所述第一桶盖12，也可以与所述第一桶盖12持平； 当然，所述下端口 131可以低于所述第一桶盖12，也可以与所述第一桶盖12持平。在本实施例中，所述第一桶盖12可与所述外桶10铰接，即一种柔性连接，通过翻转所述第一桶盖12实现打开与关闭的功能。由此，当打开第一桶盖12时，便不需要专门的空间放置第一桶盖12，也可防止第一桶盖12丢失。基于同样的考虑，所述第二桶盖14可与所述第一桶盖12铰接，或者与所述置物口 13铰接。当然，在本实用新型的其他实施例中， 所述第一桶盖12也可与所述外桶10活动连接，同样，所述第二桶盖14也可与所述第一桶盖12或者置物口 13活动连接。进一步的，所述外桶10的外壁上设置有把手15，由此，可方便地搬运子母垃圾桶 1。所述内容器11上设置有拉手16，由此，当需要将所述内容器11从所述外桶10中取出或者将所述内容器11放入所述外桶10中时，可通过所述拉手16方便地进行操作。进一步的，所述拉手16位于所述内容器11的上端，即远离所述内容器11的底壁的一端。由此，当需要将所述内容器11从所述外桶10中取出或者将所述内容器11放入所述外桶10中时， 可方便快捷地找到所述拉手16，从而更为方便地进行上述操作。请继续参考图1，所述内容器11与所述外桶10间具有间隙100。当需要将所述内容器11从所述外桶10中取出或者将所述内容器11放入所述外桶10中时，可避免所述内容器11 与外桶10之间产生摩擦，从而提高子母垃圾桶1的使用寿命。在本实施例中，所述外桶10的内壁上设置有支撑所述内容器11的支撑部件17，从而使得所述内容器11与所述外桶10间具有间隙100。所述支撑部件17可位于所述外桶10的侧壁上，也可位于所述外桶10的底壁上。上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
权利要求1.一种子母垃圾桶，其特征在于，包括 外桶；设置于所述外桶内部的内容器，所述内容器的壁上设置有通孔； 与所述外桶匹配的第一桶盖，所述第一桶盖上设置有置物口 ； 与所述置物口匹配的第二桶盖。
2.如权利要求1所述的子母垃圾桶，其特征在于，所述置物口包括靠近所述内容器的下端口与远离所述内容器的上端口，所述上端口的直径大于所述下端口的直径，所述第二桶盖与所述上端口匹配。
3.如权利要求1或2所述的子母垃圾桶，其特征在于，所述第一桶盖与所述外桶铰接。
4.如权利要求1或2所述的子母垃圾桶，其特征在于，所述第二桶盖与所述第一桶盖铰接。
5.如权利要求1或2所述的子母垃圾桶，其特征在于，所述第二桶盖与所述置物口铰接。
6.如权利要求1或2所述的子母垃圾桶，其特征在于，所述外桶的外壁上设置有把手。
7.如权利要求1或2所述的子母垃圾桶，其特征在于，所述内容器上设置有拉手。
8.如权利要求1或2所述的子母垃圾桶，其特征在于，所述内容器与所述外桶间具有间隙。
9.如权利要求8所述的子母垃圾桶，其特征在于，所述外桶的内壁上设置有支撑所述内容器的支撑装置。
专利摘要本实用新型提供一种子母垃圾桶，所述子母垃圾桶包括外桶；设置于所述外桶内部的内容器，所述内容器的壁上设置有通孔；与所述外桶匹配的第一桶盖，所述第一桶盖上设置有置物口；与所述置物口匹配的第二桶盖。通过本实用新型提供的子母垃圾桶，可防止无尘布上沾有的杂质释放出来，从而避免了对洁净室的污染。
文档编号H01L21/00GK202058709SQ20112016054
公开日2011年11月30日 申请日期2011年5月19日 优先权日2011年5月19日
发明者周琦, 李秀军, 桂鲲 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司