专利名称：侧面泵浦的激光光具座的制作方法
技术领域：
侧面泵浦的激光光具座技术领域[0001]本实用新型是固体激光器的关键部件，适用于侧面泵浦的中小功率固体激光器和用于单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳能电池的激光划片机。
背景技术：
[0002]用于太阳能电池划片的激光器，通常有三种灯泵激光器、半导体激光器(简称 LD)泵浦的激光器和光纤激光器。光纤激光器尽管光束质量好，体积结构小，但价格较高，10 瓦光纤激光器价格通常在8万左右，工业中的应用不到10% ；灯泵激光器价格便宜，结构简单，在激光加工设备中曾经大量使用，但受限于能量转换效率不高于6%，使用成本高，泵浦灯寿命短的缺点，近年来逐渐被LD泵浦的激光器取代；激光器的出光功率决定激光器的使用范围，激光划片机要求1064nm波长的激光功率不低于10瓦，过低的激光功率在划片中影响电池片的热分布，甚至降低电池片的光电转换效率。而激光器的出光功率不仅于LD泵浦源的功率有关，也严重依赖激光光具座的结构。一般固体激光器用于激光划片时，45度反射镜位于腔外，增加了整体长度，同时使激光扩束镜远离聚焦镜，增加了激光传输距离，影响聚焦效果，降低了功率密度。实用新型内容[0003]本实用新型的目的是简化激光光具座结构，减少激光传输过程中的能量损失，提高激光聚焦后的功率密度。本实用新型的激光光具座包括45度反射镜调整架、扩束镜调整架、输出镜调整架、LD侧面泵浦模块安装座、声光Q开关调整架、全反射镜调整架、指引红光调整架和支架，支架位于底部，45度反射镜调整架和指引红光调整架分别装设在两端，从 45度反射镜调整架向指引红光调整架的方向依次设置有扩束镜调整架、输出镜调整架、LD 侧面泵浦模块安装座、声光Q开关调整架和全反射镜调整架。[0004]优选的，上述激光光具座长度为1100mm。[0005]优选的，上述激光光光具座具有510mm的谐振腔长度。[0006]优选的，上述输出镜调整架上装设有输出镜，声光Q开关调整架离输出镜320mm。[0007]优选的，上述LD侧面泵浦模块安装座离输出镜210mm。[0008]优选的，上述45度反射镜调整架上装设有45度反射镜，45度反射镜中心高30mm。[0009]其中，指引红光调整架、全反射镜调整架、声光Q开关调整架、LD侧面泵浦模块安装座、激光输出镜调整架、激光扩束镜调整架和45度反射镜调整架，以及调整架之间的距离。全反射镜和输出镜之间的距离决定了激光器的谐振腔长度，声光Q开关和LD侧泵模块的在谐振腔中位置影响了激光输出光束的模式和质量。谐振腔长度为480mm，侧泵模块中心离输出镜210mm，声光Q开关位于模块和全反射镜之间，Q开关离全反射镜140mm。全反射镜和输出镜使用直径为20mm，厚度5mm的平面镜，全反射镜一面镀1064nm高反膜和650nm 高透膜，另一面镀650nm增透膜。红光中心高420nm，全反射镜、输出镜、声光Q开关、侧泵模块以及45度反射镜中心高与红光中心等高，中心高的基准是光具座支架。3[0010]本实用新型的有益效果是[0011](1)45度反射镜紧靠激光扩束镜，缩短激光传输距离，降低密封光路成本；[0012](2)激光扩束镜远离输出镜而靠近45反射镜，有利于激光束的聚焦效果，提高激光功率密度；[0013](3)结构简单，光路密封效果好，整体光路受外部影响小，激光器运行稳定性高。
[0014]图1是本实用新型的结构示意图；[0015]图2是本实用新型的45度反射镜调整架；[0016]图3是本实用新型的声光Q开关调整架扩；[0017]图4是本实用新型的指引红光调整架；[0018]图中标记1-45度反射镜调整架；2-扩束镜调整架；3-输出镜调整架；4_LD侧面泵浦模块安装座；5-声光Q开关调整架；6-全反射镜调整架；7-指引红光调整架；8-支架。
具体实施方式
[0019]
以下结合附图对本实用新型作进一步描述。[0020]在图1中，支架8上从左向右依次安装45度反射镜调整架1、扩束镜调整架2、输出镜调整架3、LD侧面泵浦模块安装座4、声光Q开关调整架5、全反射镜调整架6和指引红光调整架7。45度反射镜调整架1中心离左挡板30mm，45度反射镜的中心对准支架8底部的圆孔的中心，从激光器出来的激光经过扩束和45度反射后从圆孔射入聚焦镜，扩束镜的出光孔靠近45度反射镜的入光孔。[0021]图2中的反射镜中心高度为30mm，图3中的模块安装座上放置侧面泵浦的激光管模块，其出光中心高度为30mm，图2中的指引红光采用5mW650nm波长的激光器，出光中心高度为30mm。图1中输出镜调整架3放置在离左侧端面450mm处，LD侧面泵浦模块安装座4 中心距离左侧端面660mm，声光Q开关调整架5的中心距离左侧端面770mm，全反射镜调整架6的中心距离左侧端面960mm。图4中的红光用660nm激光二极管制作，红光辅助光路调離iF. ο[0022]以上所述之具体实施方式
为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本具体实施方式
，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.侧面泵浦的激光光具座，包括45度反射镜调整架(1)、扩束镜调整架O)、输出镜调整架(3)、LD侧面泵浦模块安装座(4)、声光Q开关调整架(5)、全反射镜调整架(6)、指引红光调整架(7)和支架(8)，其特征是，支架位于底部，45度反射镜调整架(1)和指引红光调整架(7)分别装设在两端，从45度反射镜调整架(1)向指引红光调整架(7)的方向依次设置有扩束镜调整架O)、输出镜调整架(3)、LD侧面泵浦模块安装座G)、声光Q开关调整架(5)和全反射镜调整架(6)。
2.根据权利要求1所述的侧面泵浦的激光光具座，其特征是，所述激光光具座长度为 1100mm。
3.根据权利要求1所述的侧面泵浦的激光光具座，其特征是，所述激光光光具座具有 510mm的谐振腔长度。
4.根据权利要求1所述的侧面泵浦的激光光具座，其特征是，所述输出镜调整架(3)上装设有输出镜，声光Q开关调整架(5)离输出镜320mm。
5.根据权利要求4所述的侧面泵浦的激光光具座，其特征是，所述LD侧面泵浦模块安装座⑷离输出镜210mm。
6.根据权利要求5所述的侧面泵浦的激光光具座，其特征是，所述45度反射镜调整架 (1)上装设有45度反射镜，45度反射镜中心高30mm。
专利摘要本实用新型是固体激光器的关键部件，适用于侧面泵浦的中小功率固体激光器和用于单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳能电池的激光划片机。本实用新型的目的是简化激光光具座结构，合理设计谐振腔的长度，将侧泵模块和声光Q开关放置在光腰上，提高泵浦光功率密度，减少激光传输过程中的能量损失，提高聚焦后的激光功率密度。
文档编号H01S5/022GK202285302SQ20112037339
公开日2012年6月27日 申请日期2011年10月8日 优先权日2011年10月8日
发明者于宝成, 于文兵, 吕品, 李国平, 王春梅 申请人:于文兵, 李国平, 王春梅