在衬底上制造oled的方法及其相关结构和装置制造方法

在衬底上制造oled的方法及其相关结构和装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种在衬底上制造OLED的方法及其相关结构和装置。一种在衬底上制造有机发光装置OLED的方法包含提供具有表面特征的模具、在所述模具上形成衬底、在所述衬底在所述模具中的同时在所述衬底上制造OLED，以及从上面制造有所述OLED的衬底上移除所述模具。
【专利说明】在衬底上制造OLED的方法及其相关结构和装置
[0001] 联合研究协议各方名称
[0002] 所要求的本发明是由达成联合大学公司研究协议的以下各方中的一或多者，以以 下各方中的一或多者的名义和/或结合以下各方中的一或多者而作出：密歇根大学董事 会、普林斯顿大学、南加州大学和环宇显示器公司（Universal Display Corporation)。所 述协议在所要求的本发明的有效 申请日期:当天或之前就生效，并且所要求的本发明是因在 所述协议的范围内进行的活动而作出。

【技术领域】
[0003] 本发明涉及用于制造柔性0LED发光装置的方法。

【背景技术】
[0004] 出于若干原因，利用有机材料的光学电子装置变得越来越受欢迎。用以制造这样 的装置的材料中的许多材料相对便宜，因此有机光学电子装置具有获得相对于无机装置的 成本优势的潜力。另外，有机材料的固有性质（例如其柔性）可以使其非常适合具体应用， 例如在柔性衬底上的制造。有机光学电子装置的实例包括有机发光装置（0LED)、有机光电 晶体管、有机光伏电池和有机光检测器。对于0LED，有机材料可以具有相对于常规材料的性 能优点。举例来说，有机发射层发射光的波长通常可以容易地用适当的掺杂剂来调整。
[0005] 0LED利用有机薄膜，其在电压施加于装置上时发射光。0LED正变为用于例如平 板显示器、照明和背光应用中的越来越引人注目的技术。美国专利第5, 844, 363号、第 6, 303, 238号和第5, 707, 745号中描述若干0LED材料和配置，所述专利以全文引用的方式 并入本文中。


【发明内容】

[0006] 本发明的一些实施例提供一种用于在衬底上制造有机发光装置（0LED)的方法， 其包含以下步骤：提供具有表面特征的模具；在所述模具上形成衬底；当所述衬底在所述 模具中时在所述衬底上制造0LED ;以及从上面制造有0LED的所述衬底上移除所述模具。
[0007] 在一些实施例中，通过将所述模具与所述衬底分开而从所述衬底移除所述模具。 在一些实施例中，通过使模具溶解而从所述衬底移除所述模具。
[0008] 在一些实施例中，所述模具是刚性的。在其它实施例中，所述模具是柔性的。在一 些实施例中，所述模具具有至少〇. 7Nm的抗弯刚度。
[0009] 在一些实施例中，所述模具的表面特征具有至少200nm的峰谷高度。
[0010] 在一些实施例中，所述模具的表面特征具有至少1微米的峰谷高度。
[0011] 在一些实施例中，所述模具的表面特征具有至多100微米的峰谷高度。
[0012] 在一些实施例中，所述方法进一步包含在形成所述衬底之前在所述模具上涂覆剥 1?涂层。
[0013] 在一些实施例中，直接在所述模具上形成所述衬底，没有任何中间层。
[0014] 在一些实施例中，通过在所述模具上涂覆涂层来形成所述衬底。在一些实施例中， 通过在制造0LED之前对模具施加液体并且随后使液体固化而形成涂层。
[0015] 在一些实施例中，所述方法进一步包含在制造0LED之前在所述衬底上涂覆屏障 层。
[0016] 在一些实施例中，所述方法进一步包含在从衬底上移除模具之前在0LED上沉积 屏障层。
[0017] 在一些实施例中，在从衬底上移除模具之后，上面制造有0LED的衬底是柔性的。
[0018] 在一些实施例中，在从衬底上移除模具之后，上面制造有0LED的衬底具有足够低 使得衬底可以围绕12英寸直径的辊子卷绕而不会断裂的抗弯刚度。
[0019] 在一些实施例中，涂层的材料和厚度会产生在未被模具支撑的情况下是柔性的衬 底。
[0020] 在一些实施例中，模具与衬底的热膨胀系数不匹配。
[0021] 在一些实施例中，所述模具包含孔，所述孔提供穿过模具到达衬底的接入。
[0022] 在一些实施例中，所述衬底的折射系数大于1.6。在一些实施例中，所述衬底的折 射系数大于1. 7。
[0023] 本发明的一些实施例提供一种结构，其包含：具有表面特征的模具；形成在所述 模具上的衬底，所述衬底是由透明材料形成的，并且具有使得衬底在没有模具的情况下是 柔性的厚度；以及制造在所述衬底上的有机发光装置。
[0024] 本发明的一些实施例提供一种具有安置在具有表面特征的衬底上的有机发光装 置（0LED)的装置。所述装置是通过包含以下步骤的过程准备的：提供具有表面特征的模 具；在所述模具上形成衬底；当所述衬底在所述模具中时在所述衬底上制造0LED ;以及从 上面制造有0LED的所述衬底上移除所述模具。
[0025] 本发明的一些实施例提供一种设备，所述设备包含：皮带；用以移动所述皮带的 机构；以及安置在所述皮带上的柔性模具，所述柔性模具具有表面特征。下面的元件沿着皮 带的路径依次安置：附接到衬底材料源的分配器；适于处理衬底材料的能量源；附接到有 机发光装置材料源的多个分配器；以及适于从皮带移除衬底材料和有机发光装置材料的机 构。
[0026] 在一些实施例中，所述衬底是透明的。
[0027] 在一些实施例中，所述模具的表面特征产生上面形成有表面特征的衬底，所述表 面特征是选自球面透镜、非球面透镜、沟槽、棱镜和在底部具有较大尺寸的不规则特征。
[0028] 在一些实施例中，所述装置是照明装置。

【专利附图】

【附图说明】
[0029] 并入本文中并且形成说明书的一部分的【专利附图】

【附图说明】了本发明的实施例，并且与描述 内容一起进一步用以解释本发明的原理并且使得相关领域的技术人员能够制作和使用本 发明。
[0030] 图1展示示范性有机发光装置。
[0031] 图2展示不具有单独电子传送层的示范性倒置的有机发光装置。
[0032] 图3是用于在模具上制造0LED的示范性过程的流程图。
[0033] 图4是用于制造0LED的示范性过程的流程图。
[0034] 图5是用于在模具上制造0LED的另一示范性过程的流程图。
[0035] 图6A-G是在图5中展示的0LED制造过程期间形成的瞬时结构的示范性视图。
[0036] 图7A-C是根据本发明的一些实施例的模具和移除过程的示范性视图。
[0037] 图8是在制造0LED的一些实施例中使用的传送带设备的示范性视图。

【具体实施方式】
[0038] -般来说，0LED包括安置在阳极与阴极之间并且电连接到阳极和阴极的至少一个 有机层。当施加电流时，阳极将空穴注入到有机层中，并且阴极将电子注入到有机层中。注 入的空穴和电子各自朝相反充电的电极迁移。当电子和空穴被局部化在相同分子上时，会 形成"激子"，激子是具有被激发的能量状态的局部化电子-空穴对。当激子经由光电发射 机制松弛时，会发射出光。在一些情况下，激子可以局部化在准分子或激基复合物上。还可 能发生例如热松弛等非放射性机制，但是非放射性机制通常被视为不期望的。
[0039] 举例来说，如在第4, 769, 292号美国专利中所揭示，初始0LED使用从其单重状态 发射光（"荧光"）的发射分子，所述美国专利的全文以引用的方式并入。荧光发射一般在 小于10纳米的时限中发生。
[0040] 更近些年来，已经展示了具有从三重状态发射光（"磷光"）的发射材料的0LED。 实例包含波尔多（Baldo)等人的"从有机电致发光装置的高效磷光发射（Highly Efficient Phosphorescent Emission from Organic Electroluminescent Devices)，'（自然，第 395卷，第151-154页，1998 ;( "Baldo-I"）和波尔多等人的"基于电致磷光的非常高效 的绿色有机发光装置（Very high-efficiency green organic light-emitting devices based on electrophosphorescence)"，应用物理学报，第 75 卷，第 3 期，第 4-6 页（1999) ("Baldo-II"），这些文章的全文以引用的方式并入本文中。第7, 279, 704号美国专利第 5-6栏更具体地描述了磷光，所述专利以引用的方式并入本文中。
[0041] 如本文所用，术语"有机"包括聚合材料以及小分子有机材料，其可以用以制造有 机光学电子装置。"小分子"是指不是聚合物的任何有机材料，并且"小分子"可能实际上相 当大。在一些情况下，小分子可以包括重复单元。举例来说，使用长链烷基作为取代基不会 将分子从"小分子"类别中去除。小分子还可以并入到聚合物中，例如作为聚合物主链上的 侧基或作为主链的一部分。小分子还可以充当树枝状聚合物的核心部分，所述树枝状聚合 物由建立在核心部分上的一系列化学壳层组成。树枝状聚合物的核心部分可以是荧光或磷 光小分子发射体。树枝状聚合物可以是"小分子"，并且据信当前在0LED领域中使用的所有 树枝状聚合物都是小分子。
[0042] 如本文所用，"顶部"意指离衬底最远，而"底部"意指离衬底最近。在将第一层描 述为"安置"在第二层"上"的情况下，第一层被安置为距衬底较远。除非规定第一层"与" 第二层"接触"，否则第一与第二层之间可以存在其它层。举例来说，即使阴极和阳极之间存 在各种有机层，仍可以将阴极描述为"安置在"阳极"上"。
[0043] 如本文所用，"溶液可处理"意指能够以溶液或悬浮液的形式在液体介质中溶解、 分散或输送和/或从液体介质沉积。
[0044] 当据信配位体直接促成发射材料的光敏性质时，配位体可以称为"光敏性的"。当 据信配位体并不促成发射材料的光敏性质时，配位体可以称为"辅助性的"，但辅助性的配 位体可以改变光敏性的配位体的性质。
[0045] 如本文所用，并且如本领域技术人员一般将理解，如果第一能级较接近真空能级， 那么第一"最高占用分子轨道"（HOMO)或"最低未占用分子轨道"（LUM0)能级"大于"或"高 于"第二HOMO或LUM0能级。由于将电离电位（IP)测量为相对于真空能级的负能量，因此 较高HOMO能级对应于具有较小绝对值的IP (负得较少的IP)。类似地，较高LUM0能级对 应于具有较小绝对值的电子亲和性（EA)(负得较少的EA)。在常规能级图上，真空能级在 顶部，材料的LUM0能级高于同一材料的HOMO能级。"较高"HOMO或LUM0能级表现为比"较 低" HOMO或LUM0能级靠近这个图的顶部。
[0046] 如本文所用，并且如本领域技术人员一般将理解，如果第一功函数具有较高绝对 值，那么第一功函数"大于"或"高于"第二功函数。因为通常将功函数测量为相对于真空能 级的负数，因此这意指"较高"功函数负得较多。在常规能级图上，真空能级在顶部，将"较 高"功函数说明为在向下方向上距真空能级较远。因此，HOMO和LUM0能级的定义遵循与功 函数不同的惯例。
[0047] 可以在以全文引用的方式并入本文中的美国专利第7, 279, 704号中找到关于 0LED和上文所述的定义的更多细节。
[0048] 图1展示了有机发光装置100。图不一定按比例绘制。装置100可以包括衬底110、 阳极115、空穴注入层120、空穴输送层125、电子屏障层130、发射层135、空穴屏障层140、 电子输送层145、电子注入层150、保护层155、阴极160和屏障层170。阴极160是具有第 一导电层162和第二导电层164的复合阴极。装置100可以通过依序沉积所描述的层来制 造。在以引用的方式并入的美国专利第7, 279, 704号的第6-10列中更详细地描述这些各 种层以及实例材料的性质和功能。
[0049] 这些层中的每一者有更多实例。举例来说，以全文引用的方式并入的美国专利第 5, 844, 363号中公开柔性并且透明的衬底-阳极组合。经p掺杂的空穴输送层的实例是以 50 : 1的摩尔比率掺杂有F4-TCNQ的m-MTDATA，如以全文引用的方式并入的美国专利申请 公布第2003/0230980号中所公开。以全文引用的方式并入的颁予汤普森（Thompson)等人 的美国专利第6, 303, 238号中公开发射材料和主体材料的实例。经n掺杂的电子输送层的 实例是以1 : 1的摩尔比率掺杂有Li的BPhen，如以全文引用的方式并入的美国专利申请 公布第2003/0230980号中所公开。以全文引用的方式并入的美国专利第5, 703, 436号和 第5, 707, 745号公开了阴极的实例，其包括具有例如Mg : Ag等金属薄层与上覆的透明、导 电、经溅镀沉积的IT0层的复合阴极。以全文引用的方式并入的美国专利第6, 097, 147号 和美国专利申请公布第2003/0230980号中更详细地描述屏障层的原理和使用。以全文引 用的方式并入的美国专利申请公布第2004/0174116号中提供注入层的实例。可以在以全 文引用的方式并入的美国专利申请公布第2004/0174116号中找到保护层的描述。
[0050] 图2展示了倒置的0LED 200。所述装置包括衬底210、阴极215、发射层220、空穴 输送层225和阳极230。装置200可以通过依序沉积所描述的层来制造。因为最常见0LED 配置具有安置在阳极上的阴极，并且装置200具有安置在阳极230下的阴极215,所以装置 200可以称为"倒置" 0LED。在装置200的对应层中，可以使用与关于装置100所描述的材 料类似的材料。图2提供了可以如何从装置100的结构省略一些层的一个实例。
[0051] 图1和2中所说明的简单分层结构是作为非限制实例而提供，并且应理解，可以结 合各种各样的其它结构使用本发明的实施例。所描述的具体材料和结构本质上是示范性 的，并且可以使用其它材料和结构。可以基于设计、性能和成本因素，通过以不同方式组合 所描述的各个层来实现功能性0LED，或可以完全省略若干层。还可以包括未具体描述的其 它层。可以使用与具体描述的材料不同的材料。尽管本文所提供的实例中的许多实例将各 种层描述为包含单一材料，但应理解，可以使用材料的组合（例如主体与掺杂剂的混合物） 或更一般来说，混合物。并且，所述层可以具有各种子层。本文中给予各个层的名称不意欲 具有严格限制性。举例来说，在装置200中，空穴输送层225输送空穴并且将空穴注入到发 射层220中，并且可以被描述为空穴输送层或空穴注入层。在一些实施例中，可以将0LED 描述为具有安置在阴极与阳极之间的"有机层"。此有机层可以包含单个层，或可以进一步 包含如例如关于图1和2所描述的多个不同有机材料层。
[0052] 还可以使用未具体描述的结构和材料，例如包含聚合材料的OLED (PLED)，例如在 以全文引用的方式并入的颁予弗兰德（Friend)等人的美国专利第5, 247, 190号中所揭示。 作为另一实例，可以使用具有单个有机层的0LED。0LED可以堆叠，例如如以全文引用的方 式并入的颁予福利斯特（Forrest)等人的第5, 707, 745号中所描述。0LED结构可以脱离 图1和2中所说明的简单分层结构。举例来说，衬底可以包括有角度的反射表面以改输出 奉禹合（out-coupling)，例如如颁予福利斯特等人的美国专利第6, 091，195号中所述的台式 结构，和/或如颁予布利维克（Bulovic)等人的美国专利第5,834,893号中所述的凹点结 构，所述专利以全文引用的方式并入。
[0053] 除非另外规定，否则可以通过任何合适方法来沉积各种实施例的层中的任一 者。对于有机层，优选方法包括热蒸镀、喷墨（例如以全文引用的方式并入的美国专利第 6,013,982号和第6,087，196号中所述）、有机气相沉积（0￥?0)(例如以全文引用的方式 并入的颁予福利斯特等人的美国专利第6, 337, 102号中所述）和通过有机蒸气喷射印刷 (0VJP)的沉积（例如以全文引用的方式并入的美国专利第7, 431，968号中所述）。其它合 适沉积方法包括旋涂和其它基于溶液的工艺。基于溶液的工艺优选在氮或惰性气氛中进 行。对于其它层，优选方法包括热蒸镀。优选的图案化方法包括通过掩模的沉积、冷焊（例 如以全文引用的方式并入的美国专利第6, 294, 398号和第6, 468, 819号中所述）和与例如 喷墨和0VJP等沉积方法中的一些方法相关联的图案化。还可以使用其它方法。可以修改待 沉积的材料，以使其与具体沉积方法相容。举例来说，可以在小分子中使用具支链或无支链 并且优选含有至少3个碳的例如烷基和芳基等取代基，来增强其经受溶液处理的能力。可 以使用具有20个或更多个碳的取代基，并且3-20个碳是优选范围。具有不对称结构的材 料可以比具有对称结构的材料具有更好的溶液可处理性，因为不对称材料可以具有更低的 再结晶倾向性。可以使用树枝状聚合物取代基来增强小分子经受溶液处理的能力。
[0054] 根据本发明实施例制造的装置可以进一步任选地包含屏障层。屏障层的一个用 途是保护电极和有机层免于因暴露于环境中的有害物质（包括水分、蒸气和/或气体等） 而受损。屏障层可以沉积在衬底、电极上，沉积在衬底、电极下或沉积在衬底、电极旁，或沉 积在装置的任何其它部分（包括边缘）上。屏障层可以包含单个层或多个层。屏障层可 以通过各种已知的化学气相沉积技术形成，并且可以包括具有单一相的组合物以及具有多 个相的组合物。任何合适材料或材料组合都可以用于屏障层。屏障层可以并入有无机化 合物或有机化合物或两者。优选的屏障层包含聚合材料与非聚合材料的混合物，如以全文 引用的方式并入本文中的第7,968, 146号美国专利、第PCT/US2007/023098号和第PCT/ US2009/042829号PCT专利申请案中所述。为了被视为"混合物"，构成屏障层的前述聚合材 料和非聚合材料应在相同反应条件下和/或在同时沉积。聚合材料对非聚合材料的重量比 率可以在95 : 5到5 : 95的范围内。聚合材料和非聚合材料可以由同一前体材料产生。 在一个实例中，聚合材料与非聚合材料的混合物基本上由聚合娃和无机娃组成。
[0055] 用于制造柔性0LED的方法
[0056] 在柔性衬底上构造柔性0LED发光装置既提供了益处也带来了难题。从透明塑料 材料比从常规玻璃衬底更容易获得高折射系数。这样可以实现塑料上的0LED的更好的输 出耦合效率。然而，柔性塑料膜很难处置。在制造过程期间要将柔性塑料膜保持平坦可能 很难。塑料衬底的另一难题是，塑料衬底往往具有粗糙表面和表面上的随机尖形。这些缺 陷可能容易导致上面生长的0LED装置中发生短路。然而，本文中描述的方法克服了这两个 难题。
[0057] 图3是用于在衬底上制造0LED的示范性方法的高级流程图，包含提供模具的步骤 300、形成衬底的步骤310、制造0LED的步骤320和从衬底和0LED上移除模具的步骤分330。 图3中展示的过程只是示范性的，而且可以包含额外的步骤或更少的步骤。
[0058] 步骤300包含提供模具。所述模具可以具有至少两个功能：i)在后面的过程步骤 中用作支撑件；以及ii)在有待在下一个步骤中形成在模具上的柔性衬底上产生期望的表 面特征。因此，所述模具可以经过设计以提供期望的表面特征。所述表面特征优选经过设 计以从0LED装置高效地提取光。
[0059] 模具上的表面特征经过设计以在下一个步骤中将形成的衬底上产生特征。有待制 造的表面特征可以是球面透镜、非球面透镜、沟槽、棱镜、在底部具有较大尺寸的不规则特 征，或者任何其它增强光提取的地貌特征。这对于0LED发光装置尤其有益。在一些实施例 中，透镜特征可以围绕垂直于模具的平坦表面的轴径向对称。球面透镜可以是H/R = 1的 半球形状，其中H和R是透镜的峰谷高度和半径（在平面中）。非球面透镜形状可以由例如 二次曲线、三次曲线、抛物线等多项式来定义。非球面透镜的形状可以形成为使得透镜高度 H 对半径 R 为 H/R > 1，H/R > 2。
[0060] 在一些实施例中，表面特征的峰谷高度H应当至少与0LED装置的厚度（?100nm) 相当。在其它实施例中，H应当至少与在此后沉积的0LED装置中产生的衬底中的光的波长 (真空中的波长除以衬底材料的折射系数）相当或者大于所述波长。举例来说，当衬底的 系数是2. 0时，H应当至少与200nm相当或者大于200nm。因此，在一些实施例中，H可以是 400nm或更大。这些最小尺寸是优选的，因为在较小尺寸时，光学性质和输出耦合可能不太 理想。还可能优选具有更大的最小尺寸，以帮助在模具上制造表面特征。在此些实施例中， 优选H可以是至少1 y m，至少5 y m、至少10 y m、至少50 y m或至少100 y m。用于H的这些 最小值是优选的，因为随着最小值变大，变得更加容易制造模具特征。但是，依据是否能接 受用光学方面的考虑和制造的容易来换取其它考虑，可以使用不同于本段中揭示的最小值 的最小值。
[0061] 在一些实施例中，表面特征的峰谷高度H应当至多300 ii m，并且优选至多100 ii m。 在用于H的值更大时，可能会发生不期望的效应。举例来说，如果使用单个厚涂层，则可能 形成气泡。虽然通过使用多个涂布步骤或者通过材料和过程参数的选择可以减轻这些效 应，但是这个减轻会涉及其自身的折中。此外，如果总厚度变得过大，那么柔性可能会减小， 这可能对于一些用途来说是不期望的。
[0062] 在一些实施例中，表面特征可以覆盖一定面积或者形成面积阵列。优选的是，邻近 表面特征之间的中心到中心的横向距离不大于H值的十倍。
[0063] 表面特征可以有规则地或者随机地布置。大小可以是统一的，或者是不同的。优 选表面特征以至少80%、至少90%或至少95%的填充因子堆积在一起。这里，填充因子的 定义是被表面特征占据的表面积（表面特征在底表面上的投影）与底部表面积的比率。 [0064] 在一些实施例中，所述模具可以是刚性的。这意味着，模具具有足够的刚性，足以 能够耐受（没有明显弯曲或变形）与半导体或标准的基于玻璃的平板显示器制造相关联的 正常处置，即，模具能够容易被拾起和到处移动，而不会断裂或明显弯曲。这允许所述过程 克服在制造0LED期间使形成在模具上的衬底保持平坦的难题。可以通过计算模具的抗弯 刚度D来确定模具的刚度。抗弯刚度的定义是使刚性结构弯曲成单位曲度所需要的力耦。 对于统一的衬底，可以用数学方式将抗弯刚度描述为：
[0065] D = Et3/12(l-U2) (1)
[0066] 其中D是抗弯刚度（以Nm为单位），E是杨氏模量（以NnT2为单位），ii是泊 松比率，并且t是衬底的厚度（以m为单位）。J. A.罗杰斯（J. A. Rogers)、G. R.博格特 (G. R. Bogart)、J?马特.瑞斯（J. Mater. Res. )，16 (1)，217, 2001 中描述了这个等式。衬底 的柔性越大，抗弯刚度就越低。如果已知了衬底的杨氏模量、泊松比率和厚度，那么理论上 可以计算任何衬底的抗弯刚度。
[0067] 可能难以根据材料性质或者根据教科书中提供的数据来计算薄膜的抗弯刚度。对 于复合膜或者多层膜来说尤其是这样。然而，一旦针对特定结构进行了测量，所属领域的技 术人员就容易能通过调整例如衬底厚度等参数来以可以合理预测的方式更改抗弯刚度。这 里我们集中关注用于确定抗弯刚度的悬臂法。所需要的设备是固定角度的曲率计。在垂直 于水平平台的边缘的方向上将矩形材料条带支撑在所述平台上。所述条带在其长度方向上 延伸，使得增加的部分伸出并且在其自身的重量下向下弯曲。当材料条带的尖端已经到达 穿过平台的边缘的平面并且在水平面下方倾斜0 =41.5°的角度时，伸出长度L等于样本 的弯曲长度C的两倍（在0 = 41. 5°时，C = 0? 5L)。
[0068] 弯曲长度（以m为单位）用C表示，其中C是材料的抗弯刚度与每个单位面积的 重量的比率的立方根：D = WC3,其中W是每个单位面积的重量（以NnT2为单位），其对于统 一条带用W = p tg表示，使得：
[0069] D = WC3 = P tgC3 (2)
[0070] 其中P是密度（以KgnT3为单位），g是重力加速度（9. 81ms_2)，并且t是衬底的 厚度（以m为单位）。
[0071] 这里我们使用等式1和2两者来确定要用来制作柔性电子装置的最佳模具衬底材 料/厚度的组合。下面的表1中展示了一些实例。E、y和P是材料性质，并且一旦选择 了材料就确定了这些材料性质。
[0072] 表 1
[0073]

【权利要求】
1. 一种在衬底上制造有机发光装置OLED的方法，其包括： 提供具有表面特征的模具； 在所述模具上形成衬底； 在所述衬底在所述模具中的同时在所述衬底上制造0LED;以及 从上面制造有所述0LED的所述衬底上移除所述模具。
2. 根据权利要求1所述的方法，其中通过将所述模具与所述衬底分离而从所述衬底上 移除所述模具。
3. 根据权利要求1所述的方法，其中通过使所述模具溶解而从所述衬底上移除所述模 具。
4. 根据权利要求1所述的方法，其中所述模具是刚性的。
5. 根据权利要求1所述的方法，其中所述模具具有至少0. 7Nm的抗弯刚度。
6. 根据权利要求1所述的方法，其中所述模具是柔性的。
7. 根据权利要求1所述的方法，其中通过在所述模具上涂覆涂层而形成所述衬底。
8. 根据权利要求1所述的方法，其中在从所述衬底上移除所述模具之后，上面制造有 所述0LED的所述衬底是柔性的。
9. 根据权利要求1所述的方法，其中所述模具包含提供穿过所述模具接入到所述衬底 的孔。
10. 根据权利要求1所述的方法，其中所述衬底的折射系数大于1. 6。
11. 根据权利要求1所述的方法，其中所述模具的所述表面特征具有至少200nm的峰谷 高度。
12. 根据权利要求1所述的方法，其中所述衬底是透明的。
13. 根据权利要求1所述的方法，其中所述模具的所述表面特征产生上面形成有选自 以下表面特征的所述衬底：球面透镜、非球面透镜、沟槽、棱镜、在底部具有较大尺寸的不规 则特征。
14. 一种结构，其包括： 具有表面特征的模具； 形成在所述模具上的衬底，所述衬底是由透明材料形成的并且所具有的厚度使得在没 有所述模具的情况下所述衬底是柔性的；以及 制造在所述衬底上的有机发光装置。
15. -种具有安置在具有表面特征的衬底上的有机发光装置0LED的第一装置，所述第 一装置是通过包括下面操作的过程准备的： 提供具有表面特征的模具； 在所述模具上形成衬底； 在所述衬底在所述模具中的同时在所述衬底上制造0LED;以及 从上面制造有所述0LED的所述衬底上移除所述模具。
【文档编号】H01L51/56GK104518176SQ201410521260
【公开日】2015年4月15日 申请日期:2014年9月30日 优先权日:2013年9月30日
【发明者】瑞清·马, 茱莉娅·J·布朗 申请人:环球展览公司