具有载台的电子显微镜的制造方法与工艺

本发明涉及一种电子显微镜，且特别涉及一种具有载台的电子显微镜。

背景技术：
一般而言，要观察物质的纳米几何形态最常用的方法为使用原子力显微镜(atomicforcemicroscopy，AFM)及电子显微镜(electronmicroscope)等设备。使用原子力显微镜测量时，需通过探针来测量待测物的几何形态，此种测量方式不仅探针针尖容易损坏、测量时间长，且样品测量范围较小，电子显微镜则无上述问题。以扫描式电子显微镜(scanningelectronmicroscope，SEM)而言，其可用于观测液态样品。观测液态样品时需驱动液体流经用于承载样品的薄膜以带走样品的代谢物，或以此液体为媒介添加测量所需药剂至样品，其中，如何避免薄膜因液体的扰动而损坏及如何依观测需求控制流经样品的液体的温度，是为能否顺利观测液态样品的关键。此外，为了驱动所述液体流动而额外增设的驱动源会增加电子显微镜的设备体积及成本。

技术实现要素：
本发明提供一种电子显微镜，可有效率地对待测物进行稳流及温控，且可简化电子显微镜的设备体积及成本。本发明的电子显微镜包括载台、第一驱动单元、稳流单元及电子源。载台承载待测物。第一驱动单元驱动第一液体沿第一流动路径流动，其中第一流动路径通过待测物。稳流单元配置于第一流动路径上以对第一液体进行稳流，其中第一液体依序流经稳流单元及载台。电子源提供电子束至待测物。在本发明的一实施例中，上述的载台包括主体及薄膜。主体具有第一流道，其中第一流道内具有稳流斜面。薄膜配置于主体且承载待测物，其中待测物位于第一流道内，第一液体沿第一流道流动而依序通过稳流斜面及待测物。在本发明的一实施例中，上述的载台包括主体及薄膜。主体具有第一流道及第二流道，其中第一流道及第二流道彼此叠设。薄膜配置于主体且承载待测物，其中待测物位于第一流道内，第一液体沿第一流道流动而通过待测物，第二液体沿第二流道流动而调整第一液体的温度。在本发明的一实施例中，上述的稳流单元具有两通道，第一液体依序流经一通道及待测物，第二液体依序流经另一通道及载台而调整第一液体的温度，稳流单元分别对第一液体及第二液体进行稳流。在本发明的一实施例中，上述的电子显微镜包括第一腔体，其中载台配置于第一腔体内，第一驱动单元为抽真空模块，抽真空模块对第一腔体进行抽真空，并驱动第一液体流经待测物。在本发明的一实施例中，上述的电子显微镜包括夹具，其中夹具适于夹置载台且具有第一导流结构，当夹具夹置载台时，第一导流结构连通载台，第一流动路径通过第一导流结构。在本发明的一实施例中，第二液体沿第二流动路径流经载台而调整第一液体的温度，夹具具有第二导流结构，当夹具夹置载台时，第二导流结构连通载台，第二流动路径通过第二导流结构。在本发明的一实施例中，上述的夹具包括座体、两夹持组件及两把手。座体适于承载载台。两夹持组件可动地配置于座体上。两把手相互枢设且分别可动地连接于两夹持组件，其中两把手适于相对枢转而带动两夹持组件夹置或释放载台。在本发明的一实施例中，上述的载台内具有第一温度感应元件。在本发明的一实施例中，上述的稳流单元内具有第二温度感应元件。本发明的电子显微镜包括载台及电子源。载台包括主体及薄膜。主体具有第一流道，其中第一流道内具有稳流斜面。薄膜配置于主体且承载待测物，其中待测物位于第一流道内，第一液体沿第一流道流动而依序通过稳流斜面及待测物。电子源提供电子束至待测物。在本发明的一实施例中，上述的电子显微镜包括凸状结构，其中凸状结构位于第一流道内而构成稳流斜面。在本发明的一实施例中，上述的电子显微镜还包括稳流单元，其中第一液体依序流经稳流单元及载台，稳流单元对第一液体进行稳流。本发明的电子显微镜，包括载台及电子源。载台包括主体及薄膜。主体具有第一流道及第二流道，其中第一流道及第二流道彼此叠设。薄膜配置于主体且承载待测物，其中待测物位于第一流道内，第一液体沿第一流道流动而通过待测物，第二液体沿第二流道流动而调整第一液体的温度。电子源提供电子束至待测物。在本发明的一实施例中，上述的电子显微镜包括温控单元，其中温控单元控制第二液体的温度。本发明的电子显微镜包括载台、稳流单元及电子源。载台具有薄膜，其中薄膜承载待测物。稳流单元具有两通道，其中第一液体依序流经一通道及待测物，第二液体依序流经另一通道及载台而调整第一液体的温度，稳流单元分别对第一液体及第二液体进行稳流。电子源提供电子束至待测物。在本发明的一实施例中，上述的稳流单元分别施加压力至两通道，以对第一液体及第二液体进行稳流。在本发明的一实施例中，上述的各通道内具有气体，稳流单元通过气体的压力对第一液体或第二液体进行稳流。在本发明的一实施例中，上述的电子显微镜包括温控单元，其中温控单元连接于稳流单元并控制流经两通道的第一液体及第二液体的温度。在本发明的一实施例中，上述的温控单元包括致冷芯片、散热鳍片组及散热风扇。致冷芯片连接于稳流单元。散热鳍片组连接于致冷芯片。散热风扇配置于散热鳍片组的一侧。本发明的电子显微镜，包括第一腔体、载台、抽真空模块及电子源。载台配置于第一腔体内且承载待测物。抽真空模块对第一腔体进行抽真空，并驱动第一液体流经待测物。电子源提供电子束至待测物。在本发明的一实施例中，上述的电子显微镜包括容纳单元及第二腔体，其中抽真空模块包括抽真空装置，抽真空装置连接于第一腔体且对第一腔体进行抽真空，容纳单元用于容纳第一液体且连通载台，第二腔体连接于抽真空装置与容纳单元之间，载台连接于第二腔体与容纳单元之间，抽真空装置对第二腔体进行抽真空，以通过第二腔体与容纳单元之间的压力差而驱动第一液体从容纳单元往载台流动。在本发明的一实施例中，上述的电子显微镜包括容纳单元，其中容纳单元容纳第一液体且具有多个导管，这些导管连通载台且分别具有不同管径，第一液体透过这些导管的其中的任一从容纳单元流出。基于上述，在本发明电子显微镜中，第一液体通过稳流单元进行稳流之后流至载台内，并也可进一步通过载台内的稳流斜面再次进行稳流，以更好的降低第一液体流经载台内的待测物时的扰动程度，让使用者能够通过电子显微镜顺利地观测待测物。此外，载台内除了具有供所述第一液体流动的第一流道，载台内更可进一步具有叠设于第一流道且供第二液体流动的第二流道，以通过第二液体来调整第一液体的温度，使待测物更好的能够在预期的适当温度下被观测。另外，并可进一步利用电子显微镜既有的抽真空装置来驱动第一液体流动，如此则不需额外配置泵作为第一液体的驱动源，而可简化电子显微镜的设备体积及成本。为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。附图说明图1是本发明一实施例的电子显微镜的部分构件示意图。图2是图1的载台的部分结构剖视图。图3是图2的载台一实施例于薄膜处的局部放大图。图4是本发明一实施例的稳流单元的具体结构。图5是图4的稳流单元的局部剖视图。图6是本发明一实施例的温控单元的具体结构。图7是图1的载台被夹具夹置的一实施例。图8是图7的夹具及载台的局部放大图。图9是本发明再一实施例的电子显微镜的部分构件示意图。其中附图标记为：100、200：电子显微镜100a、200a：控制单元110、210：载台112：薄膜113：基底114：主体114a：上层结构114b：下层结构114c：第一流道114d：第二流道116：凸状结构120、220：第一驱动单元130、230：稳流单元132：通道132a：腔室140：电子源150a、250a：第一腔体160、260：第二驱动单元170、270：温控单元172：致冷芯片174：散热鳍片组176：散热风扇178：热管180、280：收集单元190：夹具190a：座体190b：夹持组件190c：把手192：第一导流结构194：第二导流结构250b：第二腔体290：容纳单元292：导管B：球接部C：夹持部D：方向E：电子束F：过滤器G：气体H1、H2：开口L：液体M1、M3：差压计M2：压力计P1：第一流动路径P2：第二流动路径I：稳流斜面R：导轨部S1：第一温度感应元件S2：第二温度感应元件T：牵引部V1、V2、V3：阀门具体实施方式图1是本发明一实施例的电子显微镜的部分构件示意图。请参考图1，本实施例的电子显微镜100例如为扫描式电子显微镜且包括载台110、第一驱动单元120、稳流单元130及电子源140。其中，载台110配置于第一腔体150a内且具有薄膜112，薄膜112用于承载待测物(例如生物细胞液态样品等)，第一腔体150a为真空腔体以利待测物的观测。电子源140用于提供电子束E至待测物以进行观测。第一驱动单元120例如为泵且驱动第一液体沿第一流动路径P1流动，其中第一液体沿第一流动路径P1通过薄膜112上的待测物，第一液体带走待测物的代谢物并收集至收集单元180，或以第一液体为媒介添加样品测量所需药剂至待测物。第一驱动单元120例如是电性连接于电子显微镜100的控制单元100a，并通过控制单元100a的控制而作动。稳流单元130配置于第一流动路径P1上而位于第一腔体150a外，第一液体流经稳流单元130及载台110，稳流单元130用于对第一液体进行稳流，降低第一液体的扰动程度。稳流单元130也例如是电性连接于控制单元100a，并通过控制单元100a的控制而作动。在一实施例中，例如是将连接于稳流单元130的管路设置为从第一腔体150a外部穿越第一腔体150a的外壁而进入第一腔体150a内部，以使第一液体通过第一驱动单元120的驱动而透过所述管路到达第一腔体150a内的载台110。图2是图1的载台的部分结构剖视图。请参考图2，进一步而言，载台110包括主体114，主体114例如包括上层结构114a及下层结构114b，且在上层结构114a处具有位于第一流动路径P1上的第一流道114c，第一流道114c通过薄膜112而使待测物位于第一流道114c内。载台110还包括凸状结构116，凸状结构116位于第一流道114c内而在第一流道114c内构成稳流斜面I，第一液体会沿第一流道114c流动而通过稳流斜面I及薄膜112上的待测物。由此设计方式，第一液体除了在到达载台110前通过稳流单元130进行稳流，还在进入载台110后通过稳流斜面I进一步稳流再流至薄膜112处，避免薄膜112因第一液体过度扰动而损坏。图3是图2的载台一实施例于薄膜处的局部放大图。详细而言，本实施例的薄膜112例如是通过半导体工艺而形成于基底113上的硅氮化物层，且此基底113例如为硅基底。电子束E可通过所述硅氮化物层而作用于待测物。在其它实施例中，薄膜112可为其它适当材质且可通过其它适当方式制作而成...