1.一种粗调低能宽带离子束均匀性的方法，包括以下步骤：
(a)下载菜单数据，检测和设置能量模式；
(b)初始化所有调节参数，调节离子源、引出及聚焦参数确保setcup杯束流最大；
(c)收回setcup杯，通过逐级比较法拉第阵列两端测束杯束流，调节平行透镜电流，确保宽带束在法拉第阵列中央；
(d)实时检测法拉第阵列均匀性，调节离子源、引出、水平及垂直聚焦参数；
(e)调节局部磁场或电场调节单元，移动法拉第测量束剖面，反复迭代直至达标。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，实时检测法拉第阵列均匀性来调节到靶束流均匀性，在法拉第阵列均匀性达到目标值后才执行移动法拉第测量束剖面。