悬臂压电换能器的制作方法

文档序号:12485668阅读:来源:国知局
技术总结
本公开涉及悬臂压电换能器。压电换能器包括:锚定件(16a);半导体材料的梁(25),从锚定件(16a)开始在平行于第一轴(Y)的主方向上以悬臂方式延伸,并且具有平行于第一平面(XY)的面(25c),第一平面由第一轴(Y)和垂直于第一轴(Y)的第二轴(X)限定;以及压电层(26),在梁(25)的面(25c)上。梁(25、125、225、325)的垂直于第一轴(Y)的截面是非对称的,并且被成形为使得梁(25)响应于施加到锚定件(16)并且根据第一轴(X)定向的力,而呈现离开第一平面(XY)的变形。

技术研发人员:F·普罗科皮奥;A·弗兰吉
受保护的技术使用者:意法半导体股份有限公司
文档号码:201510860679
技术研发日:2015.11.30
技术公布日:2016.12.28

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