基于干涉效应的非易失性像素单元的制作方法

文档序号:11836735阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于干涉效应的非易失性像素单元,其特征在于,所述像素单元包括多个亚像素单元,所述亚像素单元包括反射层(1)、位于反射层(1)上的第一透明层(2)、位于第一透明层(2)上的相变层(3);多个亚像素单元中的第一透明层(2)的光学常数不完全相同或厚度不完全相同。

2.根据权利要求1所述的非易失性像素单元,其特征在于,所述相变层(3)上方还有第二透明层(4),所述第一透明层(2)和第二透明层(4)均由导电材料构成。

3.根据权利要求2所述的非易失性像素单元,其特征在于,所述第一透明层(2)选自ITO,ZnO,AZO等材料;所述第二透明层(4)选自ITO,ZnO,AZO等材料。

4.根据权利要求1所述的非易失性像素单元,其特征在于,所述亚像素单元还包括位于相变层(3)一侧或两侧的透明电极(5),透明电极(5)与相变层(3)相连。

5.根据权利要求1所述的非易失性像素单元,其特征在于,所述任意两个亚像素单元中的第一透明层(2)的光学常数或厚度不相同。

6.根据权利要求1所述的非易失性像素单元,其特征在于,所述多个亚像素单元中的相变层(3)不完全相同。

7.根据权利要求4所述的非易失性像素单元,其特征在于,所述任意两个亚像素单元中的相变层(3)不相同。

8.根据权利要求1,以及权利要求2所述的非易失性像素单元,其特征在于,亚像素元的面积为0.01μm2~0.25mm2

9.根据权利要求1所述的非易失性像素单元,其特征在于,所述相变层(3)由相变材料构成,所述相变材料选自GeSbTe、GeTeAsSi、GeTe、GeTeBi、GeTeAs、InTe、AsSbTe、SeSbTe、GeSbTeN、GeSbTeSn、AgInSbTe、GeSbTeO、AsTeAg、AuSbTe、AuInTe、SiTeGe、SiSbTe、SbTe等合金材料。

10.根据权利要求2所述的非易失性像素单元,其特征在于,所述像素单元包括4个亚像素单元,相变层(3)均由GeSbTe构成,第二透明(4)层厚度均为15nm,相变层(3)厚度为5nm,第一透明层(2)和第二透明(4)层均为ITO,4个亚像素单元中的第一透明层(2)厚度分别为33nm、145nm、165nm、255nm。

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