光调制的场效应晶体管和集成电路的制作方法

文档序号:15591831发布日期:2018-10-02 19:02阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种光调制的场效应晶体管和集成电路,其中该光调制的场效应晶体管包括:半导体层;源区和漏区,所述源区设置在所述半导体层之中或所述半导体层之上,所述漏区设置在所述半导体层之中或所述半导体层之上;形成在所述半导体层之上的栅结构;形成在所述半导体层之上的发光结构,其中,所述发光结构用于产生光子以激发所述半导体层中的电子‑空穴对。本发明的光调制的场效应晶体管和集成电路,将发光结构设置在半导体上,在不影响器件关态电流的前提下,利用光照极大地改善器件的导通电流。

技术研发人员:王敬;陈文捷;梁仁荣;许军
受保护的技术使用者:清华大学
技术研发日:2016.12.09
技术公布日:2018.10.02
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