一种晶圆超净空间隔离盒的制作方法

本实用新型一种晶圆超净空间隔离盒，属于晶圆生产加工领域。

背景技术：

单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶圆。晶圆是最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸等规格。

晶圆的加工生产指的是在晶圆上进行电路的加工与制作，其基本处理步骤通常是晶圆先经过适当的清洗之后，接著进行氧化及沈积，最后进行微影、蚀刻及离子植入等反覆步骤。整个过程都在FAB无尘车间进行。

晶圆超净空间隔离盒担负着晶圆在无尘车间内各加工站点的周转与运作，同时与机械加工设备配合实现生产空间完全隔离的专用盒体，为晶圆的加工生产提供一个超净的无尘空间。盒体底盖设计有锁定与开启操作的转盘，转盘通过转动驱动底座内的两个支脚实现底盖的开启与锁定。底座的两个支脚长时间和转盘接触后会摩擦破损，摩擦产生的细小颗粒也会污染晶圆盒超净环境，破损后会影响盒体的正常工作。

其次，现有的盒体的侧壁把柄没有保护措施，人在搬运过程中吧发生歪斜，导致盒体滑落，损害晶圆。

技术实现要素：

本实用新型针对上述不足提供了一种晶圆超净空间隔离盒。

本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型所述的一种晶圆超净空间隔离盒，包括盒体，所述盒体的底部设有底座，所述的底座上设有凸起的中心圆座，沿中心圆座的径向两侧延伸出支脚，支脚尾部设有圆柱体，所述的圆柱体可旋转。

本实用新型所述的晶圆超净空间隔离盒，所述的盒体上侧壁设有提取把手。

本实用新型所述的晶圆超净空间隔离盒，所述的把手包括扣架，把柄，防滑孔；所述的扣架的两端设有卡扣，扣架的架身上设有把柄，把柄内设有防滑孔。

本实用新型所述的的晶圆超净空间隔离盒，所述的底座转盘可旋转圆柱体由PEEK材质制成。

有益效果

本实用新型提供的晶圆超净空间隔离盒，减少了转盘与底座的摩擦，减少了细小颗粒的生成。

本实用新型提供的晶圆超净空间隔离盒，采用安全可靠的把柄，方便拿取盒体，保证安全。

附图说明

图1本实用新型的盒体示意图；

图2是本实用新型的底座结构示意图；

图3是本实用新型的底座剖面结构示意图；

图4是本实用新型的把手结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的和技术方案更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围：

一种晶圆超净空间隔离盒，包括盒体，所述盒体的底部设有底座1，所述的底座上设有凸起的中心圆座2，沿中心圆座的径向两侧延伸出支脚3，支脚尾部设有圆柱体4，圆柱体4可旋转。圆柱体4为独立的旋转柱体，当上方转盘旋转其接触面与圆柱体4接触将摩擦面的摩擦力转变为旋转的转动面，继而代减少了摩擦。

晶圆超净空间隔离盒转盘上的可旋转圆柱体4由金属Peek材质制成。

盒体上侧壁设有提取把手；把手包括扣架5，把柄6，防滑孔7；所述的扣架的两端设有卡扣8，扣架5的架身上设有把柄6，把柄内设有防滑孔7。卡扣8的顶端设有圆形的接触柱9.

底座由PEEK材质制成。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。