一种离子风集电极的制造方法与流程

文档序号:11588178阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种离子风集电极的制造方法,其利用覆铜基板,并采用光刻技术或热转印技术与化学溶解基板相结合的方法来快速制作离子风集电极,成本低廉,工艺可操作性强,且生产效率高,并且可根据个人实验需求快速做出风孔形状和大小不同的集电极铜网,短时间内即可得到所需集电极,因此能够解决集电极制作成本高、等待周期长且无法根据所需风孔形状迅速制造出不同类型的集电极来满足实验要求等问题。

技术研发人员:王长宏;黄嘉中;陈宏铠;苏晓键;冯杰;黎杰扬
受保护的技术使用者:广东工业大学
技术研发日:2017.04.21
技术公布日:2017.08.11
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