一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮的制作方法

本发明涉及硅片刻蚀装置技术领域，具体为一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮。

背景技术

硅片刻蚀工艺为了实现更好的刻蚀效果，一般都会在刻蚀装置上安装水膜设备，但是由于水膜在刻蚀过程中，水膜容易发生破水现象，从而造成刻蚀线不良，影响硅片质量。

对刻蚀工具进行观察，发现水膜破水现象的发生主要是由于刻蚀槽内粘液滚轮的原因，如说明书附图1所示，原装粘液滚轮设计为一整根带有细小锋利螺纹形状的柱体，安装在刻蚀槽的最前端，设计成螺纹状的目的是为了硅片背面更好的粘液，防止背面因气泡或粘液不好造成刻不透，但是现有技术中粘液滚轮存在一个较为明显的缺陷：当硅片经过此粘液滚轮时，滚轮转动，螺纹带液偶尔会碰到硅片边缘，造成水膜破水，溶液爬到硅片表面造成过刻，从而影响硅片刻蚀质量，导致不良片的产生，大大降低了经济效益。

为了解决上述问题，现有技术中，申请号为“201721009203.2”的一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮，如说明书附图2和附图3所示，包括圆柱体和螺纹套，所述圆柱体上套设有若干个螺纹套，且每两个螺纹套之间形成一个缺口，所述螺纹套与圆柱体活动连接，且每个缺口处的圆柱体上套设有圆柱套，所述圆柱体上开设有移动槽，所述螺纹套内壁上对应移动槽固定有移动块，所述圆柱套外径小于螺纹套外径。由于螺纹套是套设在圆柱体上的，所以螺纹套的直径较大，缺口处无螺纹的圆柱体直径较小，当硅片经过此滚轮处时，硅片边缘与缺口处无螺纹的圆柱体形成一个高度，这样硅片的边缘就不会与滚轮接触造成破水现象，大大降低了不良片的产生，减少了造片成本，值得推广。

但是上述该水膜刻蚀工艺用粘液滚轮在使用过程中，仍然存在以下较为明显的缺陷：1、采用螺纹的形式带动液面和电池片运动，由于螺纹有旋向，会导致液面和电池片在运动过程中发生朝着旋向方向的偏移，从而造成电池片的刻蚀效果变差；2、缺口的设置，导致同等长度的滚轮的带液效果变差，也就使得电池片在刻蚀槽上的运动速度降低，从而降低了同等时间内刻蚀电池片的数量，影响了生产效率；3、而且电池片下方的螺纹套，在使用过程中，可能会因为电池片运动时的偏移，仍然会带液碰到电池片边缘，造成水膜破水。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮，包括圆柱体，所述圆柱体中部垂直固定有若干片中部带液滚轮，所述圆柱体两端垂直固定有若干片端部带液轮盘，所述中部带液滚轮和端部带液轮盘的半径相同，所述中部带液滚轮和端部带液轮盘之间形成两个缺口，所述缺口中设置有多片间隙轮盘，所述间隙轮盘固定在圆柱体上，且多片间隙轮盘的半径依次增大或减小，且最大半径的间隙轮盘小于端部带液轮盘的半径。

优选的，所述间隙轮盘边缘处开设有凹槽，所述凹槽中固定有固定轴，所述固定轴上转动连接有拨液块。

优选的，所述间隙轮盘靠近端部带液轮盘处的半径依次减小。

优选的，所述中部带液滚轮包括内圆板和斜弧板，所述斜弧板设置于内圆板外围，且斜弧板呈倾斜设置。

优选的，左边的中部带液滚轮上的斜弧板朝向右侧倾斜，右边的中部带液滚轮上的斜弧板朝向左侧倾斜。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明采用平行设置的多片带液轮盘进行粘液带动，使得液面在被带动时，不会出现由于螺纹旋向导致的液面和电池片在运动过程中，发生朝着旋向方向偏移的情况，不会影响电池片的刻蚀效果；

2、本发明在缺口处添加有半径依次增大或减小的间隙轮盘，使得滚轮在转动过程中，可以进一步提升带液滚轮的带液效果，防止因为缺口的设置，导致电池片在刻蚀槽上的运动速度降低的情况；

3、本发明通过倾斜方向相对的斜弧板的设置，使得中部带液轮盘在带液转动时，不会使得电池片发生运动偏移时，还会接触到电池片边缘，避免了水膜破水的情况。

本发明通过多片带液轮盘的设置，不会出现由于螺纹旋向导致的液面和电池片在运动过程中，发生朝着旋向方向偏移的情况，而且可以防止因为缺口的设置，导致电池片在刻蚀槽上的运动速度降低的情况，并且不会使得电池片发生运动偏移时，还会接触到电池片边缘，避免了水膜破水的情况，实用性很强，非常值得推广。

附图说明

图1为原装粘液滚轮的结构示意图；

图2为现有技术中水膜刻蚀工艺用粘液滚轮的结构示意图；

图3为现有技术中水膜刻蚀工艺用粘液滚轮与电池片刻蚀状态示意图；

图4为本发明的粘液滚轮结构示意图；

图5为本发明的a区结构放大示意图；

图6为本发明的中部带液轮盘结构示意图。

图中：1圆柱体、2中部带液轮盘、21内圆板、22斜弧板、3端部带液轮盘、4缺口、5间隙轮盘、6凹槽、7固定轴、8拨液块、10电池片。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：

一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮，包括圆柱体1，圆柱体1作为主体，用来与动力装置连接，通过外部动力装置带动圆柱体1实现转动，圆柱体1中部垂直固定有若干片中部带液滚轮2，如说明书附图4所示，中部带液滚轮2设置有8片，8片中部带液滚轮2相互平行，圆柱体1两端垂直固定有若干片端部带液轮盘3，在圆柱体1的两端均设置有10片端部带液轮盘3，且10片端部带液轮盘3也相互平行，中部带液滚轮2和端部带液轮盘3的半径相同，即中部带液滚轮2和端部带液轮盘3的上、下端均处于同一水平面内，而且中部带液滚轮2和端部带液轮盘3的最上端均位于刻蚀槽液面。

中部带液滚轮2和端部带液轮盘3之间形成两个缺口4，缺口4中设置有多片间隙轮盘5，两个缺口4内的间隙轮盘5均设置有8片，间隙轮盘5固定在圆柱体1上，间隙轮盘5可以跟随圆柱体1一起同步转动，多片间隙轮盘5的半径依次增大或减小，在本实施例中，间隙轮盘5靠近端部带液轮盘3处的半径依次减小，越靠近中部带液滚轮2的间隙轮盘5的半径越大，且最大半径的间隙轮盘5小于端部带液轮盘3的半径，间隙轮盘5的最大半径处也不会大于端部带液轮盘3的半径，使得缺口4处在不会影响水膜破水的情况下，还不会导致电池片10在刻蚀槽上的运动速度降低，间隙轮盘5边缘处开设有凹槽6，凹槽6中固定有固定轴7，固定轴7上转动连接有拨液块8，可以活动的拨液块8的设置，可以使得缺口4处的带液效果更好，且不会影响电池片10的水膜。

如说明书附图6所示，中部带液滚轮2包括内圆板21和斜弧板22，斜弧板22设置于内圆板21外围，且斜弧板22呈倾斜设置，左边的中部带液滚轮2上的斜弧板22朝向右侧倾斜，右边的中部带液滚轮2上的斜弧板22朝向左侧倾斜，使得左侧中部带液滚轮2上的斜弧板22可以带液并且朝着右侧运动，右侧中部带液滚轮2上的斜弧板22可以带液并且朝着左侧运动，相对设置的斜弧板22可以带液朝着中部运动，有效的防止电池片10下方的中部带液滚轮2，在使用过程中因为电池片10运动时的偏移带液碰到电池片10边缘，避免造成水膜破水。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。