一种用于光致发光测试的VCSEL结构外延材料结构及制备方法与流程

文档序号:21315730发布日期:2020-06-30 20:44阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于光致发光测试的vcsel结构外延材料结构,其特征在于,所述结构包括经过裁剪的vcsel结构外延材料样品,蓝膜和基底,

所述vcsel结构外延样品直立设置,且通过蓝膜粘贴固定在基底上。

2.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,所述vcsel结构外延材料样品的的宽度为1-2cm。

3.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,所述vcsel结构外延材料为砷化镓、砷化铝镓、砷化铟、砷化铟稼、砷化铝铟、磷化铝铟、磷化铟镓、磷化镓中的任意一种。

4.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,所述基底由半导体材料制成。

5.根据权利要求4所述的结构,其特征在于,所述基底为方根粗糙度为0-50nm的砷化镓、碳化硅、氮化镓、蓝宝石或硅片中的任意一种。

6.一种如权利要求1-5任一所述的用于光致发光测试的vcsel结构外延材料结构的制备方法,其特征在于,按照以下步骤进行:

(1)在vesel结构外沿材料的边沿处按照固定宽度切割下一条外沿材料;

(2)对切割下的外沿材料在长度方向上继续按照固定长度切割,切割下的vcsel结构外延材料为vcsel结构外延材料样品;

(3)将vcsel结构外延材料样品直立设置,下端设置蓝膜;

(4)将vcsel结构外延材料样品通过蓝膜粘贴在基底上;

(5)对制备的vcsel结构外延材料结构利用光致发光激光器进行光致发光测试。

7.根据权利要求6所述的用于光致发光测试的vcsel结构外延材料结构的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中切割宽度为1-2cm。

8.根据权利要求6所述的用于光致发光测试的vcsel结构外延材料结构的制备方法,其特征在于,步骤(5)中所用的光致发光激光器发出的入射光束的波长为300nm-600nm或900-1100nm。

9.根据权利要求6所述的用于光致发光测试的vcsel结构外延材料结构的制备方法,其特征在于,步骤(5)中所用的光致发光激光器发出的入射光束与vcsel结构外延材料结构样品的顶面呈入射角为15度-90度的范围入射。


技术总结
本发明公开了一种用于光致发光测试的VCSEL结构外延材料结构,所述结构包括经过裁剪的VCSEL结构外延材料样品,蓝膜和基底,所述VCSEL结构外延样品直立设置,且通过蓝膜粘贴固定在基底上。本发明还提供了一种上述VCSEL结构外延材料结构的制备方法。本发明提供的一种用于光致发光测试的VCSEL结构外延材料结构及制备方法,通过对VCSEL结构外延材料的裁剪并采用通过蓝膜将其固定在基底上的形式,解决了VCSEL结构外延材料因厚度较厚无法直接进行光致发光测试的问题。

技术研发人员:张杨;李弋洋
受保护的技术使用者:中科芯电半导体科技(北京)有限公司
技术研发日:2018.12.20
技术公布日:2020.06.30
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