技术特征：
技术总结
本发明公开了一种可调谐耦合腔半导体激光器，包括：FP腔；变形式回音壁微腔，与FP腔的第一端相连接，作为FP腔的一个反射端面，该变形式回音壁微腔与FP腔形成一耦合腔结构；以及电隔离槽，设置于FP腔与变形式回音壁微腔之间；其中，光从FP腔的第二端入射后进入变形式回音壁微腔中，在变形式回音壁微腔内经过若干反射后特定波长的光反射回FP腔中。该可调谐耦合腔激光器激射的耦合模在FP腔内模式的基模占比很高，从而降低光在FP腔中的损耗，同时使耦合腔激射模式更稳定、输出功率更高；同时，变形式回音壁微腔的等效反射率谱对腔中的增益变化不敏感，激射模式不容易跳变到相邻纵模，使得可调谐耦合腔激光器可获得大的波长调谐范围。
技术研发人员：郝友增;黄永箴;杨跃德;肖金龙;王福丽;汤敏;翁海中
受保护的技术使用者：中国科学院半导体研究所
技术研发日：2018.12.29
技术公布日：2019.04.16