基于缺陷地结构共面波导的激光器的制作方法

技术特征：

技术总结
本公开提供了一种基于缺陷地结构共面波导的激光器，包括：介质层(1)；下表面镀金层(2)，设置在介质层(1)的下表面；上表面镀金层(3)包括两部分，中间设置为信号线(4)，两侧的地线上设置有缺陷，形成缺陷地结构(5)；激光器(6)，设置在信号线(4)的末端，激光器(6)的正极连接至缺陷地结构(5)。

技术研发人员：王建坤;黄永光;阚强
受保护的技术使用者：中国科学院半导体研究所
技术研发日：2018.12.29
技术公布日：2019.05.07