本实用新型涉及半导体装备技术，具体说是一种离子源。
背景技术：
离子源是通过向弧光室主阴极加压，将充入弧光室的惰性气体经辉光放电电离成等离子体，经离子光学系统引出带正电的离子束，经过下游端的中和阴极向离子束发射与束电流等量的电子流进行电荷中和，生成高能高速的中性离子束。
弧光室的上方为发射面板，发射面板的中心设置条形槽，气体自弧光室的侧板上的气体入口进入后，被灯丝(filament)电离后形成等离子体，最后经上方的发射面板输出；现有技术的灯丝固定方式一般采用将灯丝的电极插入灯丝夹上的灯丝孔内，该方式利用灯丝电极与灯丝孔的尺寸配合来保证灯丝的连接与固定；而由于工作时灯丝的温度极高，可达到2000度以上，因此，造成了接触状态的不稳定。
技术实现要素：
为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种灯丝夹结构，具体技术方案如下：
一种离子源弧光室的灯丝夹结构，圆形基座上方设置源体腔，源体腔内设置加热坩埚，源体腔的上方设置弧光室，弧光室内设置灯丝和反射板，弧光室的最上方为发射面板；所述源体腔的外壁设置固定座，灯丝夹通过所述固定座固定在源体腔上；所述灯丝夹的夹体上设置长条形孔和灯丝固定孔，自长条形孔至夹体的上端设置开槽，长条形孔和灯丝固定孔间设置通孔；两个灯丝夹间设置绝缘隔环，绝缘隔环的位置与所述通孔对应；灯丝的电极插入所述灯丝固定孔内；螺栓穿过所述通孔和绝缘隔环后由螺母紧固。
所述长条形孔的两端为圆弧型。
所述夹体通过螺栓固定在固定座上。
本实用新型的优点是：由于采用了二次紧固结构，保证了灯丝的稳定连接，因此，离子源工作稳定，可靠性提高。
附图说明
图1为离子源的结构示意图；
图2为灯丝夹的结构示意图；
图3为灯丝与灯丝夹的连接示意图；
图中，1为圆形基座，2为源体腔，3为弧光室，4为发射面板，5为条形槽，6为气体进口端，7为定位凸台，8为拉簧，9为固定杆，10为灯丝支架，11为灯丝，12为反射板，13为电极，14为灯丝固定孔，15为长条形孔，16为绝缘隔环，17为螺栓，18为螺母，19为开槽，101为固定座。
具体实施方式
下面结合附图具体说明本实用新型，如图所示，圆形基座1上方设置源体腔2，源体腔2内设置加热坩埚，源体腔2的上方设置弧光室3，弧光室3的最上方为发射面板4；所述源体腔的上方设置定位凸台7，所述定位凸台7上设置通孔，固定杆9穿过所述通孔，固定杆9的上方挂钩压在发射面板4的上方，固定杆9的下方与拉簧8连接，拉簧8固定在圆形基座1上；所述固定杆9为多个，沿发射面板4的纵向轴线对称设置。
所述源体腔2的外壁设置固定座，灯丝夹10通过所述固定座固定在源体腔2上；所述灯丝夹的夹体上设置长条形孔15和灯丝固定孔14，自长条形孔15至夹体的上端设置开槽19，长条形孔15和灯丝固定孔14间设置通孔；两个灯丝夹间设置绝缘隔环16，绝缘隔环16的位置与所述通孔对应；灯丝11的电极13插入所述灯丝固定孔14内；螺栓17穿过所述通孔和绝缘隔环16后由螺母18紧固。
所述长条形孔的两端为圆弧型。
所述夹体通过螺栓固定在固定座上。